新co雷射直接铜箔加工技术.doc

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1、新CO2雷射直接铜箔加工技术PCB基板的高密度化取决於层间连接的微小孔和线路之间，而且直接结合电子产品的性能，所以PCB基板的钻孔技术即成为制造PC8基板的主要关键技术之一。笔记型电脑及行动电话等携带式产品是最先采用高密度增层(BUILDUp)基板为基础的高科技消费性屋品。越来越要求低成本、高成品良率及高度能的需要，直接铜箔加工法可以补足现今雷射加工法之缺点，而开始被重视。1.雷射钻孔的现状及课题低成本、高成品良率、高产能在初期阶段所采用的雷射加工法大多是目前为大家所泛用的conformalmask方

2、法(在RCC基材的表面铜箔上，利用化学蚀刻出需要的加工孔径（开铜窗），再以约大於开铜窗孔径的50～100μm的雷射光束来加工)，而且也是较适用现有制程上；然而burst（continuePulse）加工为孔壁很容易变成圆弧状，所以一般都采用cycle（cyclePulse）加工较适宜。因为这样的因素使得加工速度变的较慢。Largewindow法(在RCC基材的表面铜箔上,利用化学蚀刻出约大於加工孔径100μm的铜窗)，此工法的目的是为了解决conformalmask方法的高速化所开发出来的。因为可适用

3、高速的burst加工，故现在已经成为生产的主流，而被广泛的应用。封装用基板则是利用高速burst加工，直接在纯树脂材料上加工，所以电镀前的表面处理等的高度技术及管理是必要的，因此也限定在一些特有的基板制造商。几乎所有buildup基板的BH（blindhole）钻孔都是使用CO2雷射来作成的，使用RCC材质的泛用buildup基板，其孔径的主要尺寸约在100～125μm之间，封装相关的基板，其孔径约在100μm以下，最近也有要求在60μm左右的水准。最近FR-4材质的适用性也在继续的增加中。通孔TH（

4、throughhole）加工等新的应用要求也有增加中。根据CO2雷射试验水准可以钻孔到孔径30μm，而实用的界限约在4O～50um之间。buildup基板在压合制程时，固有变形涨缩等现象，etchingwindow和内层Pad的位置偏移会变大。因此，只要内层Pad径一变小，成品率就会下降，所以就会被极小的线宽/线距所限制。上述的windowetching是同样和线路作成需要光阻涂布、曝光、显影、蚀刻而形成线路之制程，所以制程成本也是另一项课题。