激光等离子体极紫外光刻光源碎屑特性及减缓研究.pdf

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1、分类号：UDC：密级：红}编号：——激光等离子体极紫外光刻光源碎屑特性及减缓研究Characteristicsofdebrisandresearchofmitigationfromlaser-producedplasmasforextremeultravioletlithography学位授予单位及代码：鳖耋堡王盔堂(!Q!竖2学科专业名称及代码：笠塞王签塑堡(Q2Q2Q垒2论文起止时间：2Q12：生2Q!三：12申请学位级别：亟±长春理工大学硕士学位论文原创性声明／㈣本人郑重声明：所呈交的硕士学位论文，《激光等离子体极紫外光刻光源碎屑特性及减缓研究

2、》是本人在指导教师的指导下，独立进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体己经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均己在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。作者签名：丕定名乏丝丝年三月基妇长春理工大学学位论文版权使用授权书本学位论文作者及指导教师完全了解“长春理工大学硕士、博士学位论文版权使用规定”，同意长春理工大学保留并向中国科学信息研究所、中国优秀博硕士学位论文全文数据库和CNKI系列数据库及其它国家有关部门或机构送交学位论文的复印件和电子版，允许论文被

3、查阅和借阅。本人授权长春理工大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，也可采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编学位论文。作者签名：刎生年王月篮白导师签名：孑全藩豪J≯垒监年立月透日摘要极紫外光源作为下一代光刻光源很有希望于14nm技术节点导入半导体芯片的工业化生产，接替193nm深紫外光源，而对应的极紫外光刻技术将成为最主要的光刻技术方式。目前，阻碍激光等离子体极紫外光源投入大规模工业化生产的主要因素之一，是激光等离子体光源在工作过程中产生的碎屑污染问题。由于光源工作过程中激光与靶材相互作用产生高温高热等离子体，辐射出所需波段的

4、极紫外光，这个过程中会伴随产生具有相当动能的离子碎屑和中性碎屑，冲击破坏和污染收集极紫外光的多层膜收集镜，导致光源输出效率的不断降低，严重影响光源的长期工作稳定性。本论文拟通过对锡、钆靶材激光等离子体极紫外光源中离子碎屑动能、角分布等动力学特性的研究，分析激光等离子体极紫外光源碎屑的产生及传播规律；并采用填充背景气体、施加横向磁场等手段对离子和中性碎屑进行减缓研究，分析相关实验条件对光源碎屑减缓效果的影响，给出对光源碎屑减缓的优化条件。关键词：激光等离子体碎屑背景气体磁场ABSTRACTExtremeultravioletlightasthenext

5、generationlithographylightveryhopefulin14nlnnodeintoindustrializedproductionofsemiconductorchiptechnology,replacing193rimdeepultravioletlightsource，andthecorrespondingextremeultravioletlightetchingtechnologywillbecomethemainwayoflithography．Atpresent，theobstaclestoextremeultrav

6、ioletlaserplasmalightsourceintooneofthemainfactorsformOSSindustrialproduction，isthelaserplasmalightSOurCeintheworkprocessofelasticpollutionproblem．Duetotheinteractionbetweenlaserandtargetmaterialintheworkingprocessofthelightsourcetoproducehightemperatureandhightemperatureplasma

7、,radiatethewavelengthofultravioletlight，theprocesscarlproduceisaccompaniedbythekineticenergyofionparticlesandneutral，impactdamageandpollutiontocollectultravioletmulfilayermirrors，resultsinthedecreaseoflightsourceoutputefficiencycontinuously,seriouslyaffectthelightsourceoflong—t

8、ermstability．Inthispaperbasedonthetin．gadoliniumlaserp