激光等离子体极紫外光源液滴锡靶发生器的研究

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1、ADissertationSubmittedinPartialFulfillmentoftheRequirementsfortheDegreeofMasterofEngineeringResearchofSnTargetGeneratorforLPPExtremeUltravioletCandidate:WangJingOptoelectronicInformationMajor:EngineeringSupervisor:Prof.WangXinbingHuazhongUniversityofScience&Tec

2、hnologyWuhan430074,P.R.ChinaDecember,2011独创性声明本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知，除文中已经标明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。学位论文作者签名：日期：年月日学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，即：学校有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的

3、复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。本人授权华中科技大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。保密□，在年解密后适用本授权书。本论文属于不保密□。（请在以上方框内打“√”）学位论文作者签名：指导教师签名：日期：年月日日期：年月日华中科技大学硕士学位论文摘要自IC诞生以来，其速度和成本一直遵循着摩尔定律进化，速度越来越快，而芯片所占面积越来越小，进而成本越来越低。芯片所占面积主要由光刻的工艺能达到的线宽决定，在IC光刻工艺中，线宽与光刻所用光源

4、的波长有着密切的关系。目前基于深紫外光源的光刻技术所能达到的线宽已越来越接近其极限。在下一代光刻技术中，13.5纳米的采用液滴靶的激光等离子体极紫外光源被看做是一种很有前途的光源。在激光等离子体极紫外光源中，液滴锡靶是相当重要的一部分。液滴锡靶的原理在于通过某种方式对锡射流进行扰动，在合适的条件下使锡流断裂，进而得到均匀的液滴锡靶，在得到液滴锡靶之后，通过激光轰击锡靶得到等离子体进而得到极紫外光。本论文主要就激光等离子体极紫外光源中的液滴锡靶发生器的设计制造做一些研究，通过对关键器件选型，搭建实验平台做一些调试，解决

5、系统调试中的一些细小的问题，为将来设计制造实用的液滴锡靶发生器积累经验、打下基础。论文主要论述了：（1）描述了用于极紫外光源的液滴锡靶发生器的参数要求及射流断裂的主要理论，并采用有限体积法从数值模拟上仿真了射流断裂为锡靶的形成过程。（2）描述了液滴锡靶发生器的主要结构，关键器件的选型、设计等，并搭建实验平台，调试得到均匀的液滴锡靶。（3）总结液滴锡靶发生器的设计调试过程中所遇到的问题以及解决方案，并对整个系统未来的改进提出了建议。关键词：极紫外光刻液滴有限体积法I华中科技大学硕士学位论文AbstractThespee

6、dandcostofIntegratedCircuithasfollowedMoore’slawforyearssinceit’sborn.Thespeedisfasterandfaster.Thecoreissmallerandsmaller.Thecostislowerandlower.Butthesizeofcoredependsonthelinewidththatlithographiccanoffered.Withthedevelopmentoflithographic,thelinewidthbasedo

7、nthedeepultraviolethasreacheditslimit.Inthenextgenerationlithographic,the13.5nmlaserproducedplasmaextremeultravioletsourcewhichuseafluidSntargethasbeenregardedaspromising.TheSntargetgeneratorinlaserproducedplasmaextremeultravioletsourceisaveryimportantpart.Them

8、aintechnologyoffluidSntargetisdisturbingaSnjetinsomewaytogettheSnjetbreakandthegettheSndroplet.AfterwegettheSndroplet,usealasertargetedontheSndroplettogettheplasmaandthenget