《物理蒸镀介绍》PPT课件.ppt

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1、物理蒸镀介绍清洗前處理去油技術—去除礦物油及動植物油＞礦物油—有機溶劑＞動植物油—鹼液去污技術—氧化物、毛邊、污點＞機械方法—乾溼式噴砂—氧化物、毛邊、污點＞化學方法—酸洗—氧化物水洗—高純度去離子水—去除鹼或酸脫水—去除殘留水分＞醇類烘乾＞熱風吹乾＞熱風循環吹乾清洗用治具之設計“大部分的獲利都是損失於不良的治具技術中”籃子必須能裝載及保護工件＞應使用不鏽鋼網＞以塑膠墊及隔板來整理和排列籃子＞以傾斜及非水平方式的支撐工具以減少水滴及化學品的殘存圓筒形工件應以垂直的方式放置儘可能使用在蒸鍍用治具直接進行清洗工作不可以將管狀工件套於管件內的情形，以避免管件內中發生液體殘

2、留。對於棒狀工件要用彈簧作為隔板進料之考慮點於進貨時檢視所有工件，項目如下：＞缺口、毛邊＞殘留之蠟質、油污、漆類、氧化物＞確認材質、硬度、所需鍍層之種類，欲鍍／需遮蔽之部份於檢視後將所有工件置於乾淨之治具中＞避免再受到其他的損傷，使作業程序連續化＞確認顧客訂單之要求事項，與製程有關之訊息及時程將清洗後之工件直接置於蒸鍍處理用之治具中＞準備下一個步驟，減少受損＞置於乾燥之處直到進行蒸鍍處理，保存時間不可超過24小時溼式之清洗技術原則〝當你就你已知的所有工件設計一條清洗線時，在第二天你就會遇到一些不適合用它的工件〞要善待環境，廢液回收，節約水資源脫脂，將油分離避免使它乳

3、化在不同的鹼液清洗槽間，施以短暫的水洗.溼式之清洗技術脫脂劑浸泡，氣泡攪拌洗蒸氣脫脂（必要時）以除去蠟質＞現已有不會污染環境的溶劑問世超音波鹼洗，再水洗超音波酸洗，再水洗＞去除研磨時所造成的燒痕以水沖洗HEPA熱風乾燥IPA清洗真空乾燥乾式清洗技術有許多新的技術不斷被發明乾冰、二氧化碳等微爆碳化物(Microblastingcarbides)＞改進表面附著力＞平衡鈷的百分比＞不需後續之濕式清洗＞需要額外檢視工件孔穴中是否有介質存留於其中電漿清洗技術RF電漿清洗—可用於蒸鍍前之工件清洗作業＞RF清洗係以惰性氣體除去工件表面的污染物＞電極場之設計十分重要高電壓輝光電漿清

4、洗＞係利用工件與腔體間偏壓與惰性氣體的關係＞當腔壁或治具不乾淨時會造成額外的污染由濺射作用所造成＞可用於加熱工件＞需要大於1000伏特存放儲存立即處理已清洗過之工件存放不要超過24小時＞氮氣正壓箱存放(有使人窒息之危險)＞烘箱65℃以避免水蒸氣附著＞真空存放(須注意油氣回流現象)＞要使用品質良好之手套並且訓練操作人員以正確地使用配合護手膏拭面紙等注意舒適性及皮膚炎等方面的問題蒸鍍後之保護＞工件仍然很清潔，在出貨運送前可能需要進行防蝕保護，要時常和顧客溝通確認！清洗系統的考慮點需了解你所需的尺寸、流通量的要求及廢液的流出過濾和監控化學溶液的品質以獲得最大的清洗效果和最

5、小的廢液量以去離子水清洗工件，重覆刷洗工件和重覆回收使用，以節省水資源利用噴水槍好好地將附著於沖洗槽壁上之污染物清除，以免其再附著於已清洗之工件上（若平常是在沖洗槽上方噴洗工件則此問題更嚴重）加熱的真空乾燥器，可能會導致蒸鍍前帶入輕微的污染問題將磁鐵棒置於方便取用的地方以用於移除落於清洗槽底的工件之用清洗後檢查最終清洗階段後及被覆或儲存前基材應加以檢查。檢查項目包括：＞乾燥點—水痕＞表面污染物如銹蝕物或鍍層。＞龜裂＞刮痕、刻痕＞磁性基材吸引之微粒。＞粉塵、線頭或毛髮。基材工件治具治具設計的理念和構想要以簡單及能減少蒸鍍問題及化學物質之損失為原則最後驗收要隨時了解和遵

6、守客戶驗收標準有些工件需要件進行蒸鍍後清理—這會有助於找出附著性方面的問題厚度量測＞球磨法-破壞式＞β射線反射試驗＞X-光螢光分析非破壞式須大量的資料和校正工作＞鑲埋、拋光、浸蝕，以掃瞄式電子顯微鏡附著力之測試＞膠帶試驗＞心軸彎曲試驗＞鑽石頭壓痕試驗檢驗＞球磨法檢驗顏色檢驗基材檢驗鍍完了之後細心檢視蒸鍍的結果，並確認各種檢驗技術初步檢驗檢視工件是否由於運送或是顧客本身所造成的損傷，否則一旦你進行蒸鍍則須負全責某些工件可以被進行硬度試驗，但大多數是不可以的，所以必須了解工件之材料及硬度並確認其熱處理條件要暸解其鍍層厚度的要求，許多鍍膜工廠對於不同的鍍膜厚度而有各種不同

7、的製程條件如果客戶不知道工件材質為何這個問題常常發生時利用x-光螢光分析加以確認瞭解碳化物硬銲材料及其熔點以減少變形量度並記錄工件尺寸以進行估價並重新排列整理以利運送保存包裝材料以便重覆使用真空抽氣一般須抽至5x10-5torr量測真空腔洩漏狀況虛漏乃有逸氣產生＞水蒸汽自腔體壁＞工件＞夾治具鍍膜品質不良的原因鍍膜被覆製程參數—電流大小、基板偏壓、氣體組成與分壓、基板溫度以TiN為例：＞銀色是指示N2的壓力太低＞金銀色是指示鍍膜溫度偏低＞青銅色是指示N2壓力太高＞棕金色或淺藍色是指示可能有油污＞紫色是指示夾具可能電解放出氣體(Outgassing)或N2的壓力太高