欢迎来到天天文库
浏览记录
ID:50441589
大小:18.51 MB
页数:59页
时间:2020-03-06
《金属铜辅助刻蚀制备黑硅的研究.pdf》由会员上传分享,免费在线阅读,更多相关内容在学术论文-天天文库。
1、、漏1纖麵編顯義戀識豁:.'记‘恤.巧-/^v;甚会濟巧篇诗旣罗載置磅^#,占义蠻;或:f-'’''.'’'.-?’.:^:.’^:'-*.作4&,.?>.乂v接省:.,。>气>产石;rri寺.v肛.甚/^^、.公皆:’^驗:.试|^产■■穿巧'|'■馨--■■.:ly,參馨零I攀鄉赛炎壽0麵難等..、-?、..--..心::、:.、’心:; ̄;/V‘i:;;,;六^j;\為,挺:究生毕化论f:囊心報''■户.'等衝.怎冲请帮去學似覆梦心^;#I按?*:暂珊
2、lvi藝聲务謂據树..''、、…‘.,‘^';.聲>V一―、少義'.-,c,.作.批,;鴻勢分.^.—'、’-卢:皆讓屬铜辅助讀备鄰备咎的研究..?心追立长站V文題.推苗^草V.、喜嘴各义嘴托.爭璋嘉靡曼,;疼攝赛骑:苗南^'?难诗辩藏論法、觀/维馨聚态物理:识黎譯[始 ̄ ̄|.’''"‘吁^.:-;.'-'乃....’.,.^.;.:^當X蟲扣V咕;;*:於>.:也:證於、%斯戸,、'、.?;'?.-沾.人V;:‘器辕V.石苗嫌絲凤鴻辕詳.瓣y聲:濤.讀棋'■;:r
3、'''^.:v.^每這碱皆矜鸣奪證沒^游.:悉雙糟薄禱'、...-V..:嘗観.;游薦:載;^;碱S谋'''*'''''''■'"■-^"■■??■'■'■'■:■.1:.^v■/;lf-.'J矜苦冢客思霸獅纖鸿:i繳卿舉緣学号:MG1222067论文答辩日期:2015年5月18日指导教师户(签字)南京大学学位论文原创性声明本人郑重声明,,独立进行的研:所呈交的学位论文是本人在导师的指导下究工作所取得的成果,本论文。尽我所知,除文中已经注明引用的内容外不包含任何其
4、他个人或集体己经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体,均已在文中W明确方式说明并且表达了谢意。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。六/灯.//研究生签名;《抑.0期:南京大学学位论文使用授权声明木学位论文作者同意学校保留并向国家有关部口或机构送交学位论文的复,可W采用影印印件和电子文档、缩印或扫描等复制手段保存论文。本文电子文一档的内容和纸质论文的内容相致。除在保密期内的论文外,允许论文被查阅和借阅,可W公布(包括刊登)论文的全部或者部分内容。论文的公布(包括刊登)
5、授权南京大学研究生院办理。■玄w'i导师研究生签名:衰故日期:戊金属铜辅助刻蚀制备黑娃的研究作者:虞栋导师;张凤鸣教授南京大学物理学院固体微结构物理国家重点实验室DrtationforMasterDereeisseg-tudof;tchnSyCuassis1edchemicale:igforfabricatingnano-curedistrutsliconBDonYuygSupervisedbyProf.Fe打gmingZhangCollabo
6、rativeInnovationCenterofAdvancedMicrostrucutres,LabofSolidStateMicrostructures,SchoolofPhsicsy,NaninUniversitjgy南京大学研究生毕业论文中文摘要首巧用纸毕业论文题目:金属铜辅助刻蚀制备黑娃的研究凝聚态物理专业12级硕壬生姑名:虞採指导教师(接若、职称):张凤鸣教授摘要黑强的制备及其在太阳能电池上的有效应用一,是进步降低光伏电池制造成一^^。
7、本^及提升光电转换效率的有效途径之金属辅助刻蚀法是最近兴起的,具有操作方便、成本低廉、适合大规模制造的黑娃制备方法。本文对此方法进行了改进,利用金属铜辅助单步湿法刻蚀,在多晶撞及单晶插上成功制备出黑娃,并系统研究了其反应机理。相较于常用的金属辅助刻蚀法;(1,本文的研究意义在于)金属铜相较于银、金、错等其他贵金属成本更低;(2)金属铜易去除,不易残留于強片中形成杂质和新的复合中也(3)减反效果优异;(4)可制成多种;类形貌,并可通过反应条件进行调控。本文的主要内容包括:、、在多晶娃上,我们通过对双
8、氧水氨氣酸硝酸铜浓度及反应温度的调节,当反应6CTC,H0:H:CuN〇=2M:6M:0M来调控黑娃形貌温度为223)2.08[][巧[(]00nm ̄1)n时,刻蚀出的黑娃样品具有最低反射率,在30CKm波段内达到了5%的水平。此外,我们还研究了娃
此文档下载收益归作者所有