金属铜辅助刻蚀制备黑硅的研究.pdf

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4、他个人或集体己经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中Ｗ明确方式说明并且表达了谢意。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。六／灯．／／研究生签名；《抑．０期：南京大学学位论文使用授权声明木学位论文作者同意学校保留并向国家有关部口或机构送交学位论文的复，可Ｗ采用影印印件和电子文档、缩印或扫描等复制手段保存论文。本文电子文一档的内容和纸质论文的内容相致。除在保密期内的论文外，允许论文被查阅和借阅，可Ｗ公布（包括刊登）论文的全部或者部分内容。论文的公布（包括刊登）

5、授权南京大学研究生院办理。■玄ｗ＇ｉ导师研究生签名：衰故日期：戊金属铜辅助刻蚀制备黑娃的研究作者：虞栋导师；张凤鸣教授南京大学物理学院固体微结构物理国家重点实验室ＤｒｔａｔｉｏｎｆｏｒＭａｓｔｅｒＤｅｒｅｅｉｓｓｅｇ－ｔｕｄｏｆ；ｔｃｈｎＳｙＣｕａｓｓｉｓ１ｅｄｃｈｅｍｉｃａｌｅ：ｉｇｆｏｒｆａｂｒｉｃａｔｉｎｇｎａｎｏ－ｃｕｒｅｄｉｓｔｒｕｔｓｌｉｃｏｎＢＤｏｎＹｕｙｇＳｕｐｅｒｖｉｓｅｄｂｙＰｒｏｆ．Ｆｅ打ｇｍｉｎｇＺｈａｎｇＣｏｌｌａｂｏ

6、ｒａｔｉｖｅＩｎｎｏｖａｔｉｏｎＣｅｎｔｅｒｏｆＡｄｖａｎｃｅｄＭｉｃｒｏｓｔｒｕｃｕｔｒｅｓ，ＬａｂｏｆＳｏｌｉｄＳｔａｔｅＭｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ，ＳｃｈｏｏｌｏｆＰｈｓｉｃｓｙ，ＮａｎｉｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｊｇｙ南京大学研究生毕业论文中文摘要首巧用纸毕业论文题目：金属铜辅助刻蚀制备黑娃的研究凝聚态物理专业１２级硕壬生姑名：虞採指导教师（接若、职称）：张凤鸣教授摘要黑强的制备及其在太阳能电池上的有效应用一，是进步降低光伏电池制造成一＾＾。

7、本＾及提升光电转换效率的有效途径之金属辅助刻蚀法是最近兴起的，具有操作方便、成本低廉、适合大规模制造的黑娃制备方法。本文对此方法进行了改进，利用金属铜辅助单步湿法刻蚀，在多晶撞及单晶插上成功制备出黑娃，并系统研究了其反应机理。相较于常用的金属辅助刻蚀法；（１，本文的研究意义在于）金属铜相较于银、金、错等其他贵金属成本更低；（２）金属铜易去除，不易残留于強片中形成杂质和新的复合中也（３）减反效果优异；（４）可制成多种；类形貌，并可通过反应条件进行调控。本文的主要内容包括：、、在多晶娃上，我们通过对双

8、氧水氨氣酸硝酸铜浓度及反应温度的调节，当反应６ＣＴＣ，Ｈ０：Ｈ：ＣｕＮ〇＝２Ｍ：６Ｍ：０Ｍ来调控黑娃形貌温度为２２３）２．０８［］［巧［（］００ｎｍ￣１）ｎ时，刻蚀出的黑娃样品具有最低反射率，在３０ＣＫｍ波段内达到了５％的水平。此外，我们还研究了娃