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时间:2020-03-08
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3、eraturePolySilicon 低温多晶硅 p"~:_:^&h$d3z*T-,
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6、去离子水)供应端5J7o!k5g [/t8g7e9z$E(a DIWR DeionizedWaterReturn 纯水(去离子水)回水端1w5D9h.b7]+q CW CityWater 自来水%f'{-_$v%L ]2F)d GEX GeneralExhaust 一般排8g6d:~0b)D"o/ SEX ScrubberExhaust 酸碱排8F1T)~ ]9F0
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11、(u SCADA SupervisoryControlAndDataAcquisition 电力遥控系统#E9^4g;{9V2i6x HPCDA HighPressureCompressorDryAir 高压压缩干燥空气'_+p4b%n)l-s5_#e;X CleanBooth 无尘隔间"V$[%i,f*k1D)^ C/R CleanRoom 无尘室9/R.x:?9N#o,w9r"d5e8_设备/材料 GC GasCabinet 气瓶柜(n$w+H.M;V$O#
12、J*m GR GasRack 气瓶架/D(H3G0z)}+g1Y'}2o VMB ValveManifoldBox 特气分流箱6f3W(O4o6s,D VMP ValveManifoldPanel 特气分流盘)Q.r#i1}1K1w"A T-Box Tee-Box 化学分流箱-M:^'?,W2} t7E SMB SampleBox 化学取样箱*A,H:L5L&u3P DP DistribuctionPanel 惰气分流盘(C,U.`9B&T1_1
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