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1、TFT-LCD製程簡介5/13/2003汪宏毅甚麼是TFT-LCD?TFT----薄膜電晶體ThinFilmTransistorLCD----液晶顯示器LiquidCrystalDisplayTFT-LCD廠商FAB-1六道光罩PANELLCLCMFAB-2五道光罩ARRAYCELLMODULE投片,清洗,薄膜,黃光,蝕刻,測試清洗,配向,框膠,熱壓,切裂,注入磨洗貼,FPC,COG,組裝,燒機,F/I投片,清洗,薄膜,黃光,蝕刻,測試清洗,配向,框膠,熱壓,切裂,注入磨洗貼FPC,COG,組裝,燒機,F/I工廠概況上偏光板下偏光板保護膜玻璃基板顏色區黑色框罩框膠區TFT元件液晶IT
2、O共用極ITO顯示電極背光燈管反射板菱鏡板光擴散板印刷電路板驅動IC驅動IC異方性導電膜補償電容間隙粒子TCP導光板TFT-LCD剖面圖Cell結構圖名稱偏光片(Polarizer):最主邀做為光柵,僅讓單一方向的光通過玻璃基板:一上一下形成電場,讓液晶在電場內排列間隙粒子(Spacer):就像房子的柱子,用來支撐上下兩片基板,以得到均勻的Gap框膠:就像房子的牆壁,用來阻隔液晶與外界的接觸異方性導電膜(AnisotropicConductiveFilm,ACF):垂直方向電氣導通;水平方向電氣絕緣,主要成份為黏著劑與導電粒子畫素電極(IndiumTinOxide,ITO):每個
3、畫素在通電後,所形成之電場黑色框罩(BlackMatrix,BM):區隔紅藍綠各個pixel,可視區及非可視區驅動IC(DriverIC):提供產生訊號給TFT元件,以決定產生之電流GATE閘極SOURCE源極DRAIN汲極ITO畫素電極液晶分子CRYSTALCF彩色濾光膜B.L背光一個電晶體(一個PIXEL)動作示意圖偏光板(Polarizer)作用及液晶旋光性介紹液晶作動原理電光轉移曲線V-TCurve100%90%10%VnsSTNVsSTNVsTNVnsTNVNormallyBlackT一個電晶體顯示pixel電路示意圖DatadriverScandriverTFT(Arra
4、y)Thin-FilmTransistorLC(Cell)LiquidCrystalModuleArray:電晶體矩形陣列Cell:顯示單元體Module:產品模組TFT-LCD三大製程TFT空白玻璃LCCELLMODULE….+面背ARRAY+++機TFTCFLCLCLCLCLCLC外購鍍膜(sputter,cvd)上光阻(coater)光罩(reticle)顯影(developer)顯影液對準,曝光(stepper)蝕刻(etch)去光阻液stripper去光阻酸,氣體TFT循環製程圖解鍍下一層膜上光阻(coating)鍍第一層膜空白玻璃酸,氣體光罩TFT循環製程圖解1對準,曝光
5、(stepping)顯影液顯影(developing)蝕刻(etching)顯影TFT循環製程圖解2去光阻液去光阻(striping)鍍第二層膜上光阻對準,曝光光罩顯影液酸,氣體蝕刻TFT循環製程圖解3去光阻液光阻剝離鍍第三層膜,請依之前所示範的方法舉一反三,自行模擬想像TI/AL/TIS-I-NTI/AL/TIPASSIVATION1.鍍上鈦鋁鈦合金(GATE)2.S:SiNx(氮矽化合物,絕緣層)I:α-Si(非結晶矽,通道層)N:N+(歐姆接觸)3.鍍上鈦鋁鈦合金(source,drain)4.鍍上5.鍍上ITO(銦錫氧化物,透明畫素電極)SiNx保護層及做VIA層ITOTFT
6、五大步驟薄膜Thin-Film(不含VIA層)黃光區Photo清洗檢查VIACrSINITOAl/CrPassivation顯影Developing檢查ADISputtering金屬薄膜蒸鍍PECVD化學氣相沉積對準SteppingAligner(Canon)上光阻CoatingTFT製程簡圖測試區TestingCELL段測試Testing修補Repair蝕刻區Etch重複循環溼蝕刻/乾蝕刻Wet/Dry去光阻Strip檢查AEI檢查AEITEG退火Anneal灰化ASH放大彩色濾光膜(ColorFilter)610mm720mm一個可以顯示出所有顏色的單位稱作:畫素---PIXEL
7、一個畫素含有三分割---紅,綠,藍(R,G,B)每一個分割叫做子畫素(SUB-PIXEL)畫素子畫素甚麼是畫素(Pixel)?白=紅+綠+藍紫=紅+藍黃=紅+綠青=綠+藍加法系統(混合光)紅藍綠黃白紫青減法系統(過濾法-顏料)紅藍綠黃黑青紫深紅黑=黃*青*深紅紅=黃*深紅綠=黃*青藍=深紅*青=++白紅綠藍=**黑深紅青黃基礎色彩學介紹早期的AV產品亮度最高適用於OA產品最新的AV產品RGBRGBRGBRGBRGBRGBRGBRGBR馬賽克(對角形)RGR
