tft―lcd open cell制程

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1、TFT―LCDopencell制程　　摘要：文章主要介绍TFT-LCDopencell制程，TFT-LCDopencell制程一般分为前段、中段和后段制程，前段制程主要是进行TFT玻璃的制作；中段制程主要指将TFT玻璃与彩色滤光片贴合；后段制程指驱动IC、印刷电路板和液晶板的压合。　　关键词：TFT-LCD；opencell；制程；驱动IC；印刷电路板　　中图分类号：TP391文献标识码：A文章编号：1009-3044（2016）27-0232-02　　1TFT-LCDopencell制程简述　　TFT-LCDopencell制程一般分为前段、中段和后段制程，前段

2、制程主要是进行TFT玻璃的制作，这与半导体制程非常相似；中段制程主要指将TFT玻璃与彩色滤光片贴合，并加上上下偏光板；后段制程指将驱动IC和印刷电路板压合至TFT玻璃，并完成我们所熟知的opencell。　　2TFT-LCDopencell前段制程　　TFT-LCDopencell前段制程与半导体制程非常相似，主要分成四个步骤：　　1）利用沉淀形成gatemetal。首先在玻璃基板上涂布一层金属，然后涂上光阻胶，最后通过暴光、显影、蚀刻和除胶而形成gatemetal。涂布的金属材料主要成分为：钛（TI）、铝（AL）、钼（MO）和铬（CR）以及其混合物。4　　2）沉

3、淀SI3N4（氮化硅）、a-SI（非晶硅）和N+a-si（N型硅）。首先利用PECVD（PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition）技术分别涂布一层SI3N4、N+a-si和a-si，然后在N+a-si和a-si上涂布光阻胶，通过暴光、显影、蚀刻和除胶而形成所需形状。PECVD指的是等离子体增强化学气相沉积法，原理是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉淀出所期望的薄膜，如图2所示。SI3N4、N+a-si和a-si三种材料充当的角色分别为：gate端和液

4、晶存储电容的电解质、N型半导体和P型半导体。　　3）形成sourcemetal和drainmetal。首先在a-si上涂布一层金属材料来作为sourcemetal和drainmetal，然后在金属材料上涂布光阻胶并通过暴光、显影、蚀刻和除胶而形成所需形状，如图3所示。Sourcemetal和drainmetal主要成分为：钛（TI）、铝（AL）、钼（MO）和铬（CR），这与gatemetal相同。　　4）沉淀SI3N4和ITO（IndiumTinOxides），ITO氧化铟锡是一种透明导电薄膜。首先利用PECVD技术沉淀一层SI3N4，然后再涂布一层ITO，至此整

5、个TFT玻璃就完成了也就是说TFT-LCDopencell前段制程已经完成，其架构如图4所示，其中gatemetal连接至gateIC，sourcemetal连接至dataIC。　　3TFT-LCDopencell中段制程　　TFT-LCD架构就如三明治，下层TFT玻璃与上层彩色滤光片中间夹着液晶。而TFT-LCDopencell中段制程也分为四个主要步骤：4　　1）层TFT玻璃压合前处理。首先使用离子水洗净前段的TFT玻璃，然后在TFT玻璃表面上涂布一层有机高分子配向膜，再通过辗压形成所谓的PI配向膜，其主要作用是为液晶分子制作一条专用的、有固定角度的通道来控制

6、其在电压作用下的旋转方向和角度。然后在TFT玻璃上涂布长方形的密封胶，以利于TFT玻璃与彩色滤光片的粘合以及防止液晶外漏，而这个长方形将会是该opencell的可视区，最后在胶框内注入液晶。　　2）上层彩色滤光片压合前处理。首先，在彩色滤光片基板上涂布有机高分子材料，再通过辗压形成配向膜。然后在彩色滤光片中喷洒spacer，以保证彩色滤光片与TFT基板的空隙。　　3）将TFT玻璃基板和彩色滤光片进行压合，并在压合处边框部分涂上导电胶，以保证外部电子能进入液晶层。压合后由上向下的顺序为：彩色滤光片、配向膜、液晶、配向膜和TFT玻璃。　　4）将压合后的液晶板按照设定好

7、的尺寸进行切割，然后在切割好的液晶板上下分别贴上水平偏光板和垂直偏光板。至此，整个TFT-LCDOPENCELL的中段制程已经完成。　　4TFT-LCDopencell后段制程　　TFT-LCDopencell后段制程主要指的是将驱动IC和PCB压合至液晶板上，这个制程主要由三个步骤组成：　　1）ACF（AnisotropicConductiveFilm）的涂布。在液晶板需要压合驱动IC的地方涂布ACF，如图8（a）图所示，ACF又称异方性导电胶膜，特点是上下方向导电，左右方向不导电，主要作用是连通驱动IC与液晶面板。4　　2）驱动IC的压合。将驱动IC压合至已经

8、涂布ACF