欢迎来到天天文库
浏览记录
ID:31365879
大小:104.50 KB
页数:4页
时间:2019-01-09
《tft―lcd open cell制程》由会员上传分享,免费在线阅读,更多相关内容在学术论文-天天文库。
1、TFT―LCDopencell制程 摘要:文章主要介绍TFT-LCDopencell制程,TFT-LCDopencell制程一般分为前段、中段和后段制程,前段制程主要是进行TFT玻璃的制作;中段制程主要指将TFT玻璃与彩色滤光片贴合;后段制程指驱动IC、印刷电路板和液晶板的压合。 关键词:TFT-LCD;opencell;制程;驱动IC;印刷电路板 中图分类号:TP391文献标识码:A文章编号:1009-3044(2016)27-0232-02 1TFT-LCDopencell制程简述 TFT-LCDopencell制程一般分为前段、中段和后段制程,前段
2、制程主要是进行TFT玻璃的制作,这与半导体制程非常相似;中段制程主要指将TFT玻璃与彩色滤光片贴合,并加上上下偏光板;后段制程指将驱动IC和印刷电路板压合至TFT玻璃,并完成我们所熟知的opencell。 2TFT-LCDopencell前段制程 TFT-LCDopencell前段制程与半导体制程非常相似,主要分成四个步骤: 1)利用沉淀形成gatemetal。首先在玻璃基板上涂布一层金属,然后涂上光阻胶,最后通过暴光、显影、蚀刻和除胶而形成gatemetal。涂布的金属材料主要成分为:钛(TI)、铝(AL)、钼(MO)和铬(CR)以及其混合物。4 2)沉
3、淀SI3N4(氮化硅)、a-SI(非晶硅)和N+a-si(N型硅)。首先利用PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)技术分别涂布一层SI3N4、N+a-si和a-si,然后在N+a-si和a-si上涂布光阻胶,通过暴光、显影、蚀刻和除胶而形成所需形状。PECVD指的是等离子体增强化学气相沉积法,原理是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉淀出所期望的薄膜,如图2所示。SI3N4、N+a-si和a-si三种材料充当的角色分别为:gate端和液
4、晶存储电容的电解质、N型半导体和P型半导体。 3)形成sourcemetal和drainmetal。首先在a-si上涂布一层金属材料来作为sourcemetal和drainmetal,然后在金属材料上涂布光阻胶并通过暴光、显影、蚀刻和除胶而形成所需形状,如图3所示。Sourcemetal和drainmetal主要成分为:钛(TI)、铝(AL)、钼(MO)和铬(CR),这与gatemetal相同。 4)沉淀SI3N4和ITO(IndiumTinOxides),ITO氧化铟锡是一种透明导电薄膜。首先利用PECVD技术沉淀一层SI3N4,然后再涂布一层ITO,至此整
5、个TFT玻璃就完成了也就是说TFT-LCDopencell前段制程已经完成,其架构如图4所示,其中gatemetal连接至gateIC,sourcemetal连接至dataIC。 3TFT-LCDopencell中段制程 TFT-LCD架构就如三明治,下层TFT玻璃与上层彩色滤光片中间夹着液晶。而TFT-LCDopencell中段制程也分为四个主要步骤:4 1)层TFT玻璃压合前处理。首先使用离子水洗净前段的TFT玻璃,然后在TFT玻璃表面上涂布一层有机高分子配向膜,再通过辗压形成所谓的PI配向膜,其主要作用是为液晶分子制作一条专用的、有固定角度的通道来控制
6、其在电压作用下的旋转方向和角度。然后在TFT玻璃上涂布长方形的密封胶,以利于TFT玻璃与彩色滤光片的粘合以及防止液晶外漏,而这个长方形将会是该opencell的可视区,最后在胶框内注入液晶。 2)上层彩色滤光片压合前处理。首先,在彩色滤光片基板上涂布有机高分子材料,再通过辗压形成配向膜。然后在彩色滤光片中喷洒spacer,以保证彩色滤光片与TFT基板的空隙。 3)将TFT玻璃基板和彩色滤光片进行压合,并在压合处边框部分涂上导电胶,以保证外部电子能进入液晶层。压合后由上向下的顺序为:彩色滤光片、配向膜、液晶、配向膜和TFT玻璃。 4)将压合后的液晶板按照设定好
7、的尺寸进行切割,然后在切割好的液晶板上下分别贴上水平偏光板和垂直偏光板。至此,整个TFT-LCDOPENCELL的中段制程已经完成。 4TFT-LCDopencell后段制程 TFT-LCDopencell后段制程主要指的是将驱动IC和PCB压合至液晶板上,这个制程主要由三个步骤组成: 1)ACF(AnisotropicConductiveFilm)的涂布。在液晶板需要压合驱动IC的地方涂布ACF,如图8(a)图所示,ACF又称异方性导电胶膜,特点是上下方向导电,左右方向不导电,主要作用是连通驱动IC与液晶面板。4 2)驱动IC的压合。将驱动IC压合至已经
8、涂布ACF
此文档下载收益归作者所有