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1、（无尘室的等级与管理）※无尘室定义无尘室是一个为了对空间内空气屮的微粒做控制，所建造的特殊封闭性建筑。一般而言，无尘室也会对温湿度、气流运动模式、与震动噪音等环境因索做控制。无尘室依等级的不同，对一定空间内的微尘粒子最大容许量亦有一定规范，在国际标准屮最常用的规范有Fed-Std-209E及ISO-14644,以下表格为Fed-Std-209E及ISO-14644的等级定义。探Fed-Std-209E洁净度定义ClassLimitsClassname0.1(Xm0.20.3Rm0.5(Xm5RmVolum
2、eunitsVolumeunitsVolumeunitsVolumeunitsVolumeunitsSIEnglish(fV)（职）(m5)(ft5)(ft5)(ft5)Ml3509.9175.72.1430.90.87510.00.283--Ml.511,24035.02657.501063.0035.31.00-■M23,50099.175721.4309&751002.83■-M2.51012,4003502,65075.01,06030.035310.0-■M335,0009917,5702143
3、,09087.51,0002&3■-M3.5100--26,50075010,6003003,530100--M475,7002,14030,90087510,000283-■M4.5100035,3001,0002477.00M5100,0002,83061817.5M5.510000■■353,00010,0002,47070.0M61,000,00028,3006,180175M6.51000003,530,000100,00024,700700M7-■■---10,000,000283,00061
4、,8001,750^ISO-14644洁净度定义ISO的等级划分，首先定义了微粒的粒径是从0.1mm到5mm，在此范I韦I之外就不列入等级表,但是另定义有超微粒子与超大粒子针对范囤外粒子。ISO等级本身归类为ISOClass1到ISOClass9,其允许上限的定义是大于等于该粒径的微粒数，数H字如下表，单位是每立方公尺的微粒数。Maximumconcentrationlimits(particles/m3ofair)particlesequaltoandlargerthantheconsideredsiz
5、esshownbelowClassificationNumbers(N)0.10.2^m0.3^m0.5^m15.0^mISOClassi102■■■■ISOClass210024104■■ISOClass31,000237102358■ISOClass410,0002,3701,02035283■ISOClass5100,00023,70010,2003,52083229ISOClass61,000,000237,000102,00035,2008,320293ISOClass7■■■352,00083
6、,2002,930ISOClass8■■■3,520,000832,00029,300ISOClass?■■■35,200,0008,320,000293,000Paniclesiac.D(jzm)比较以丄两表我们可看出：1.209E的公制和英制两套标准，虽然有公式做互换，但是仍究很难一眼看出其相关性。两制放同-•表，徒然造成混淆。2.在两表'P0.5/Zm儿乎岀现在每一个等级定义中，表示粒径0・5“m的粒子非常具有代表性。3.在洁净度的分类上，不管是在高洁净度，或是低洁净度，ISO-14644的范I羽比
7、209E都来的广,因此具有未来性。※无尘室分类无尘室依等级的不同而在气流设计上会有所区别，一•般可分为垂直层流方式(Class1〜100)、水平层流方式(Class1〜1,000)、乱流方式(Class1,000-100,000),其详细区分如下表：氣流方式潔淨度風速(m/s)換氣次數（次/h）吹入口、吸入口價格比垂直層流方式ClassMOO0.25f0.40200f600吹岀：夭花板的80%以上。吸入：壁板的40%以上、從側面板亦可。效果芫全不易爲f借人員及作業狀態所影響関始運轉後即勿厦成橈定狀態粉塵的
8、歡及再噩浮極少管理容易♦須注意天花板咅啲無廻問（照明等）♦換過濾器較麻煩♦設備費h晦的高♦房室的擴充較瞬Classi水平層流方式0.45f0.50200!600亂流方式（傅統式）Class1,OCO100I20030I60Class1,000-100,003吹岀：壁板的80W上。吸入：壁板的40%以上、從夭花板也可。吹岀：過濾器吹出口較好。吸入:從地板附近。♦運轉聞始後即亥嗖成僦狀態♦搆造簡單♦搆造簡單♦設備費低♦房室的擴充比
