无尘室的等级与管理

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1、(无尘室的等级与管理)※无尘室定义无尘室是一个为了对空间内空气中的微粒做控制，所建造的特殊封闭性建筑。一般而言，无尘室也会对温湿度、气流运动模式、与震动噪音等环境因素做控制。无尘室依等级的不同，对一定空间内的微尘粒子最大容许量亦有一定规范，在国际标准中最常用的规范有Fed-Std-209E及ISO-14644，以下表格为Fed-Std-209E及ISO-14644的等级定义。※Fed-Std-209E洁净度定义※ISO-14644洁净度定义ISO的等级划分，首先定义了微粒的粒径是从0.1mm到5mm，在此范围之外就不列入等级表，但是另定义

2、有超微粒子与超大粒子针对范围外粒子。ISO等级本身归类为ISOClass1到ISOClass9，其允许上限的定义是大于等于该粒径的微粒数，数目字如下表，单位是每立方公尺的微粒数。比较以上两表我们可看出：1.209E的公制和英制两套标准，虽然有公式做互换，但是仍究很难一眼看出其相关性。两制放同一表，徒然造成混淆。2.在两表中0.5μm几乎出现在每一个等级定义中，表示粒径0.5μm的粒子非常具有代表性。3.在洁净度的分类上，不管是在高洁净度，或是低洁净度，ISO-14644的范围比209E都来的广，因此具有未来性。※无尘室分类　无尘室依等级的

3、不同而在气流设计上会有所区别，一般可分为垂直层流方式(Class1~100)、水平层流方式(Class1~1,000)、乱流方式(Class1,000~100,000)，其详细区分如下表：※垂直层流型无尘室垂直层流无尘室亦称为单一流向型无尘室，由于微粒的移除完全掌握在气流的模式，因此愈洁净的无尘室或是无尘区域，对气流模式的掌控就愈重要。全面垂直层流无尘室采用模块化铝挤层流天板，搭配铝合金高架活动地板，使整个无尘室气流可由上往下直接循环，搭配高效率过滤风车组，其过滤微粒效果可达99.999％，使整个无尘室的等级可达到Class1~100。※

4、乱流型无尘室此类型无尘室大多设计在洁净度等级要求不高（Class1000~Class100,000）的无尘室，因气流循环是以回风柱方式循环，故会在室内产生乱流，其制程及人员所产生的粒子就会在室内打转，必须要以洁净度高的空气来予以稀释，并将室内洁净度控制在某一等级以下，其重点在于掌控微粒的产生速率，进而推算换气次数，达到控制室内微粒子数量的目的。※无尘室自动化◎－表示无尘室竣工后应量测之项目△－表示量测线性监控※无尘室节能技术自动化管理1.关掉不需使用之照明设备2.省水3.关门天然能源1.雨水收集利用2.新鲜空气冷却 排气能源再利用系统1.

5、达到最小化之高质量清洁区域2.能源利用3.电力耗用曲线扁平化4.最佳之空气流动配置5.设备数之控管6.建筑结构热隔绝7.二氧化碳之控制 ※无尘室人与粉尘的关系;人的呼吸每分钟产生2200个粉尘头发胡须每分钟产生4500个粉尘裸手每分钟产生1930个粉尘衣服每分钟产生5600个粉尘人体走动每分钟产生5500个粉尘※无尘室管理四原则(注):达下列任一条件就必须更换HEPA1.HEPA之压损超过50mmAq因为HEPA压损若过大,空调送风量相对降低,可能造成室内温度升高问题.2.达不到设计之洁净度3.HEPA有破损4.使用超过5年※无尘室室内正

6、压之维持**无尘室贴纸无尘室用标签(LCD、半导体、封装、特殊电子业专用)   ~无尘室专用标签、无尘贴纸、无尘室专用贴纸、无尘标签、无尘影印纸、打印无尘纸影印无尘纸                                                                                                                                             透明底纸无尘室用卷标                                      

7、       静电卷标                                          ~无尘室胶带、无尘胶带、无尘室专用胶带系列 (胶带本身不含纤维,中心滚动条采用塑料PE管,表面亦经特殊处理,不易吸附灰尘,)              无尘室用opp封箱胶带               无尘室用胶带一.无尘室基本的注意事项例举下列事项：1.无尘室（CleanRoom）里面不可以有尘埃、微粒子。2.无尘室（CleanRoom）内的粉尘、微粒子必须收集清除。3.尽可能防止室内微粒子的发生。4.室内易堆积粒子的死角部份应尽

8、可能减少。二.无尘室的水平以清净度表示之，一般来说，工业用无尘室（ICR）是以美国联邦规格No2096为规范，无菌室则适用美国太空总署规格要旨。 《表一》美国联邦规格209b要旨无尘室级别微粒