欢迎来到天天文库
浏览记录
ID:9652623
大小:83.00 KB
页数:12页
时间:2018-05-04
《无尘室运转与维护管理》由会员上传分享,免费在线阅读,更多相关内容在应用文档-天天文库。
1、无尘室运转与维护管理简介:无尘室洁净度之维持和控制,除了硬设备之配合投资外,也需要良好的软件——管理制度来搭配,方能维持良好的洁净度;无尘室运转管理,可依作业人员、原物料、设备及无尘室内所用东西等加以探讨;无尘室内系统除了通称的空调系统之外,制程设备也包括在内,本节将对该二系统之运转维护及保养做一概略说明。关键字:无尘室污染源运转管理维护保养一、污染源控制 无尘室洁净度之维持和控制,除了硬设备之配合投资外,也需要良好的软件——管理制度来搭配,方能维持良好的洁净度。无尘室内之微污染来源,经测试分析结果,作业人员占约80%,如图1所示。实验数据显示,作业人员进
2、出无尘室时尘埃有显著增加,有人动作时,洁净度马上劣化,可见洁净度劣化之原因人是主要因素。 无尘室的污染源可分为外污染及内污染源。外污染源主要包括空调送风、间隙渗入、建筑物、工作服、风管材料以及一般性气体如N2、O2、Air、给水、溶剂等;而内污染源则包括制程设备、工作人员、工具、加工制程、隔间材料、工作桌、包装材料等,图2为微尘粒子的传送路径。 对硅芯片而言,微尘粒子之附着将造成集成电路线路的变形或短路,使芯片失去运作功能,因此微污染源的控制已成为无尘室管理的重要环节。表一为自然环境所测得的尘埃浓度,可为设计参考,而在微污染控制,其基本原则有四: 1.
3、外部尘埃侵入之防止: 无尘室适当之正压保持(>0.5mmAq),做好施工工程之不漏气,人员设备、原材料搬入无尘室前先做好清洁擦拭等防尘动作,空气过滤器适当的管理和设置。 2.室内发尘之防止: 隔间板、地板等无尘室材料的适当选用、制程设备的发尘抑制、生产自动化及人员不聚集、动作放松、洁净衣的管理、使用无尘室专用器等。 3.室内发尘之不积留: 墙壁体应光滑无死角、无尘室需定期保养和清扫、制程设备四周应留有空间。 4.发生尘埃之排除: 换气次数应足够,适当的空间布置以及污染源接排气和空调的气流速度须适当。 人、物入室的管理问题、实际的作业条件
4、和工程管理关联之问题、室内之空调及清扫关系之问题,这些问题将于下节祥述。表1自然界微尘粒子数测量地点微尘粒子数(个/ft³)≥0.5µm大气层圈≦100田园地区(微风状态)100,000~300,000住宅地区100,000~200,000办公室(工作中)200,000~400,000工业区400,000~1,000,000正在吸烟的会议室600,000~1,000,000二、无尘室运转管理 无尘室运转管理,可依作业人员、原物料、设备及无尘室内所用东西等加以探讨,并依计划(planning)、实施(Doing)、追踪(Checking
5、)、动作(Action)之PDCA循环步骤执行。1.作业人员之管理 前以提及在无尘室内污染来源80%来自作业人员,因此若能使作业人员依无尘室管理,而所有人员也均能配合实施,则污染源的产生可说已减大半。现就进入无尘室的作业人员之管理和注意事项说明如下: (1)进入无尘室之人员,必须要具备有达成高洁净度标准,并要维持最好状态之观念。 (2)作业人员进入无尘室数目以维持最小限度原则(愈少愈好),并须依无尘室进出标准流程进出无尘室,如图3所示。出则相反方向进行,唯不须经空气洗尘室之脱尘处理。 (3)对作业人员必须经常讲解无尘室管理之数据,并加以教育与训练,内
6、容如无尘室管理之一般常识、无尘室之构造与功能、维护和清洁、安全对策、搬运器材之洁净管理与检查、洁净衣之穿脱、无尘室内之步行方式等,并经考试合格者方能进入无尘室工作。 (4)在无尘室作业人员须经常保持自己各方面的干净与清洁。 (5)在无尘室内之作业人员或其它人员之移动或动作均为发尘源,其直接影响制程,同时亦会影响气流之扰动,为防止与控制上述情形,基本上须注下列事项: a.不可在作业区域气流之上方放置物品或做其它作业。 b.不必要之动作尽量避免以防止乱流发尘。 c.与作业无关的私心谈话尽量避免。 d.为控制发尘量,人员步行及作业要静静地进行。表2所示
7、为人体在不同动作时之发尘量。 e.作业要在洁净之工作柜或工作桌进行。 f.工具等器具须收入有盖子之箱子或柜中,并置放一定的场所。 (6)作业人员须经常保持干净之手,除了常洗手、剪指甲外,手并应保养,以防皮肤之剥离,男性须每天刮胡子。 (7)洁净衣要经常保持着衣之状态。 (8)下列所述者不能进入无尘室: a.非作业人员或事先未得许可者。 b.未照规定穿着洁净衣者。 c.刚做激烈运动流汗者。 d.吸烟或吃东西后,尚未经过半小时以上者。图4为吸烟和未吸烟者微尘产生量与时间之比较图,由图上很明显可看出吸烟者所生之微尘在初期约为非吸烟者的90倍,直至
8、30分钟后才降至15倍,此为为何无尘室禁止吸烟人员和
此文档下载收益归作者所有