无尘室之维护管理

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1、三無塵室之維護管理3-1無塵室之管理3-1-1_般注意事項(1)普通注意事項爲保持無塵室的清潔度，必須經常維持正常的氣流態。因此，負責無塵室操作之專門人員必須經常檢查並防止會擾亂氣流之一切備品、物品等被帶進無塵室內。但作業上必需物品或設備盡量維持最少限度，並盡量配置在不會擾亂氣流之位置爲原則。⑵傢俱等設備之材料無塵室內使用之設備材料，儘量使用不會產生塵粒之不銹鋼或有適當之表面處理；或用耐磨性佳之鋼品、鋁製品及優良塑膠製品等。⑶構造上述設備等之構造，盡量採用構造簡單且與其他物品接觸或磨擦時不會產生磨耗粉質，

2、在各角部份耍圓滑，避免有突出之角。⑷傢俱等設備之維修必須在無塵室內用之傢俱等設備必須保持乾淨，有必要補修時立即修理，經常保持良好狀態，修理困難者立即廢棄不用而換新。3-1-2桌子不得不用木製者，表面須施epoxy樹脂加工以防止發塵。要用簡單間的桌子不能有抽屜、腳板,及側面板等。桌腳下端應套上橡膠或塑膠套。3-1-3椅子盡量採用沒有背及腳踏板之椅子，椅腳之高度以坐下來腳適當地接觸到地板之原則，萬一非用高椅子不可時要準備腳踏台o椅腳下端應裝有塑膠製之小輪子或應套上橡膠套。爲避免產生塵粒盡量不使用椅墊(CUSH

3、ION)爲原則，萬一不得不用椅墊時要用發塵性少之材料完全封蓋，因爲椅墊容易損傷而在損傷之狀態下使用易產生塵粒'故須特別注意。3-1-4搬運箱有關原料、半製品或產品之搬運箱及作業上須要之工具箱均須用特製之專用箱，須附蓋下面裝有橡膠或塑膠者。容易清潔之構造，並須定期檢查及清潔。3-1-5搬運車構造簡單爲原則，不要使用可摺疊式。放置物品之表面材料特別採用耐磨性高者。車輪之軸承必須用充塡黃油密封式滾珠軸承，並用耐磨性高之橡膠輪胎。重量輕並容易清潔之構造O須做定期檢查，維修及清潔。3亠6筆記用品（1）紙類要用特別加

4、工，發塵量少（或全無）之紙類。如需要帶進以一般紙類印刷之文件峙需要放在透明之塑膠袋中。或冇防塵處理之紙類日J刷者。鉛筆、橡皮擦、自來水筆、蠟筆、普通紙類均不能帶進無塵室內。筆記峙要用塑膠做的原子筆，無塵紙或塑膠紙類。（2）告示板、黑板類普通黑板及粉筆當然不能使用，必要時在準清淨室內（低一級之清淨室）用白板，FELTPEN，清淨室專用之擦布。告知板要用口立式，並附有輪子可移動式者，並放置在準清淨室內。告示板之構造爲不易聚積灰塵或其他污染物並容易清潔者。告示用之紙當然用如3-1-6項規定之專用紙並告知愈少愈佳

5、。3-1-7垃圾箱垃圾箱不能放置在此清淨度CLASS100清潔之無塵室內。3-1-8無塵衣管理入清淨室前，必需依等級不同穿著適當的無塵衣（表3・1），且在長時間使用後，發塵量會增加。因此，必需定期換洗。3-1清淨室之穿著標準S100級連身式(coverall)無塵衣，頭肩罩(hood)、口罩、手套、長鞋套(Boo⑸N1000級分離式(Separate)或大衣式(Coat或Frock)無塵衣'帽子或(頭)髮罩、口罩、手套、(短)鞋套或布鞋。註⑴：全罩式(Overall)=連身式(Covendl)+頭肩罩+長

6、鞋套。(1)：亦有「頭連身」式無塵衣=連身式+頭肩罩。因頭髪易生油垢，以不含頭肩罩之連身式爲宜，以便局部更換。3-1-9人員教育管理影響清淨度的一大原因是“人”。一般而言私人用品均應禁止，同時跑、跳、拖走、括指甲、梳頭髮、擦桌子、打噴嚏、打哈欠、咳嗽、打電腦、印報表、影印等應完全禁止。而且需依清淨度等級，穿著適當的清淨室專用衣。並對進出路線、生產作業時之動作，防災演習及FI常的清潔保養等，均應嚴格執行。表3-2是典形的清淨室進出管理流程。(FLOWMODEL)3-2無塵室內監視(MONITORINGINC

7、LEANROOM)3-2-1氣流⑴無塵室內之氣流形式(AIRFLOWPATTERN)是否符合設計之要求，須做氣流測試確認。(2)氣流測試最好採用污染無塵室之可能性較少之塔夫特(TUFTMETHOD)法。(3)氣流測試原則上由專業人員施行之。(4)氣流測試應在專業人員決定之作業區域及容易產生亂流之位置施行，每年最少做1次並記錄結果。(5)專業人員應將測試記錄結果與設計値做比較，檢討並判斷現狀是否符合設計條件03-2-2風速⑴在無塵室內測試風速之目的是要確定空氣流形式(AIRFLOWPATTERN)是否符合規

8、定°(2)風速測試用之儀器應採用攜帶用熱式風速計或其它。(3)原則上風速之測試應由該無塵室之專業人員施行。(4)風速測試除了測試各HEPAFILTER之代表點之外，應在專業人員決定之位置及高度施行，而每個月1次以上之頻度行之並做記錄。(5)專業人員須將測試記錄結果與設計値做比較，並檢討現狀是否符合設計要求。3-2-3風量(1)無塵室內送風量是否符合設計要求，由風速測試結果計算之。(2)爲算出風量之風速測試結果根據3-2-2(2