激光钻孔培训教材.ppt

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1、CO2激光钻孔培训教材工艺Ⅱ组目录钻孔目的设备及型号工艺流程加工方式钻孔参数工艺能力主要物料检测仪器及机器精度操作步骤主要问题关于激光钻孔的控制在已开窗（蚀刻表面铜层）或经过表面处理的位置用红外线能量烧蚀出盲孔钻孔目的HITACHICO2Laser型号：LC—1C21WE/1CCO2激光钻机系统结构设备及型号激光头光束整形装置光阑孔电扫描镜（两片特殊的反射镜）F透镜扫描区域30x30mm2PCB转化程序→调程序、设置参数→测激光能量→Gcomp补偿→上板→钻板→下板→检板转化程序：把普通钻孔程序转化为HITACHI激光钻孔程序；测能

2、量：热机，保证能量的稳定性。频率为每车板钻完或停机10分钟以上，使能量在7.2W以上；Gcomp补偿：检测并补偿电扫描器的镜面反射，使准确定位。频率为2小时/次；检板：用百倍镜检查已钻板盲孔烧蚀是否彻底，孔形是否良好。工艺流程采用小区域分段作业，即将整个panel分为一个个30×30mm范围。每个30×30mm范围内孔根据不同钻孔模式按一定顺序或方法逐一加工完成后，移至下个区域。各区域局部加工采用特殊镜面微调反射，进行区域内各孔X、Y定位。区域之间移动定位靠X、Y台面移动实现。加工方式直接加工加成法：把激光光束调整到与加工孔径尺寸相同

3、，在PCB树脂层上进行加工，形成所需盲孔；Cu—Direct：在铜厚为9um，并做过相应Blackoxide处理的铜面上直接加工。Conformalmask加工现在层压有附树脂铜箔（RCC）上，用图形转移工艺在表面铜箔层蚀刻出与要加工的孔径尺寸相同的“窗口”，然后用比要加工孔径尺寸大的激光光束来进行加工——减成法。加工方式Aperture——光束等级（光束大小），共分20级；Mode——钻孔模式；Pulseperiod——脉冲周期（0.25-10us）；Pulsewidth.——脉冲宽度（1-50us）；Count——脉冲次数；其余参

4、数均为定值。钻孔参数msPulsewidthPulseperiodConformalmask：100-200um；CuDirectDrill：100-150um；最大板厚：4mm；最大板尺寸：21″×27″（推荐：短边≥11.8″，长边≤21″）；红外线波长：9.4um；Positioningspeedmax:700point/sec。工艺能力有机玻璃片——用于钻机的X、Y台面及电扫描镜定位精度校准。材料为Acrylic；Protectionfilm——用于保护FQLensprotectionwindow。主要物料检测仪器镭射能量检查

5、装置；百倍镜。机器精度Positioningaccuracy：±0.005mm；Drilledholeaccuracy：±0.020mm。检测仪器及机器精度开机→测能量（热机）→Gcomp校准→设置自动上下板装置→调程序（设置参数）→手动找激光钻孔标靶→钻板→检板操作步骤烧蚀不净激光钻孔参数不合理；激光钻机能量不稳定；层压介质层厚度均匀性差；开窗孔径偏差过大。小孔、漏孔盲孔蚀铜、曝光、显影不良，致使该开窗位置开窗过小或未开窗。盲孔偏孔激光钻机台面定位精度差；电扫描镜定位精度差；Conformalmask2菲林变形；开窗孔径尺寸偏差。主

6、要问题盲孔孔形差激光钻孔参数不合理；层压介质层厚度不均匀；盲孔蚀铜开窗圆度差；盲孔蚀铜蚀刻未净。盲孔Open激光钻孔能量过小；层压介质层厚度偏差过大；Desmear除胶不净。主要问题温、湿度控制：温度22±2℃，湿度50±10%。温、湿度会影响钻机内部光路；RCC介质层压后的厚度均匀性。影响激光钻孔参数的选定；盲孔蚀铜（开窗）质量。开窗尺寸、开窗圆度和蚀铜效果影响盲孔孔形品质；激光钻孔参数与Desmear量的配合。关于激光钻孔的控制