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1、部門﹕內层課DES線報告人﹕盧岩報告日期:09/01/05PCEBG-CBD(營口)事業處結業報告2021/7/191一.目的二.方法三.工作參數四.主要原物料五.日常保養六.參考資料報告大綱2021/7/192一﹑目的將感光膜上的線路影像,轉移成實際內层的銅面線路.2021/7/193二﹑方法1.DES線流程圖2.設備名稱及設備示意圖3.各設備或槽次工作目的及原理2021/7/1942.1DES線流程﹕顯影Develep蝕刻Etching剝膜Strping(1)顯影(Develop):利用未經過紫
2、外線光照射的油墨溶於弱堿的原理,經碳酸鈉溶液去除掉露出的銅層.(2)蝕刻(Etching):利用蝕刻藥液與銅的化學反應將顯影后所露的銅面蝕刻掉。(3)剝膜(Strping):利用氫氧化鈉溶液將蝕刻后剩餘的油墨去除掉。2021/7/195顯影段流程圖顯影1-1顯影1-2顯影1擺动顯影2加熱顯影2顯影2擺動顯影1加熱顯影新液洗顯影新液洗加熱液切風車中壓循環水洗2中壓循環水洗1中壓循環水洗3複合水洗1複合水洗2複合水洗3顯影傳送2021/7/196蝕刻流程蚀刻循环蝕刻3摆动蝕刻3加热蝕刻1-1蚀刻1摆动蝕
3、刻1-2蝕刻1加热蚀刻2-1蝕刻2摆动蝕刻2-2蝕刻2加热蝕刻3-1蝕刻3-2蚀刻补偿中壓復合水洗1-1循环水洗2蝕刻輸送中壓復合水洗1-2中壓復合水洗1-3中壓復合水洗1-4循环水洗12021/7/197剥膜段流程剝膜1-1剝膜1过滤剝膜1加热剝膜1-2剝膜2-2剝膜1风车剝膜2-1剝膜2過濾剝膜2风车剝膜2加热中壓復合水洗2-3中壓復合水洗2-1中壓復合水洗2-2中壓復合水洗2-4酸洗处理中压复合水洗3-1中压复合水洗3-2中压复合水洗3-3中压复合水洗3-4剝膜輸送冷風吹1冷風吹2冷風吹3烘乾
4、加熱熱風車2021/7/1982.3各設備或槽次工作目的及原理水帘的作用1.清潔板面2.防止氣體漫出在蝕刻的反應中﹐會有少許的氯氣產生﹐在蝕刻前加水帘﹐一方面氯氣微溶于水生成的鹽酸可再參加反應﹔另一方面﹐由于水帘的作用和板的傳動帶動氣體形成回流氣體﹐從而防止氣體溢出。為了防止板面將水帶入蝕刻槽﹐固須在水帘后加阻水滾輪。2021/7/199噴嘴噴嘴的分類錐型噴嘴﹐扇型噴嘴錐型噴嘴扇型噴嘴扇形噴嘴的橫斷面是狹長的扇形﹐其形成面積小﹐壓力大﹐蝕刻段均采用此種噴嘴2021/7/1910噴嘴清洗與安裝(1)清
5、洗:從噴管上卸下噴嘴,用清水沖洗其表面臟物,噴口處的殘膠則需用牙籤挑出,用牙籤而不用細鐵絲的目的是防止堅硬而不光滑的細鐵絲划傷噴口,導致噴淋均勻性降低.(2)安裝:將清洗乾淨的噴嘴裝于噴管上,噴嘴與噴管垂直安裝,扇形噴嘴的噴口與噴管呈20o角,其目的是防止相鄰兩噴嘴在板子表面形成噴淋盲區(如下圖):2021/7/1911系統搖擺分類斜管式搖擺﹐水平搖擺a水平搖擺斜管式搖擺b20度20度搖擺角度:40度備注:兩種噴淋方式之噴洒面積相重疊之面積是不同的a>b優缺點:水平搖擺系統噴洒出來的藥水均勻性較好,
6、有利于生產較細的線寬/線距.優缺點:斜管式搖擺系統洒出來的藥水均勻性較差,且其主軸易損壞.2021/7/1912傳送系統﹕馬達及傳動軸的作用﹕利用馬達提供傳動的動力﹐經傳動軸帶動滾輪輸送板子傳動馬達傳動系統分為﹕(1)雙邊傳動:(薄板)傳動滾輪比較細,且滾輪分布密集時,若單邊馬達帶動時需要很大的力量且對傳動滾輪所產生扭矩比較大,在作業過程中易造成基板傾斜卡板等不良.(2)單邊傳動:(厚板)傳動滾輪比較粗,且滾輪分布間距大,單邊馬達帶動時不需很大的力量且對傳動滾輪所產生之扭矩比較小,在作業過程中,不會
7、造成不良影響,採用雙邊傳動只會增加成本.傳動軸2021/7/1913傳送齒輪﹕傳動齒輪目的﹕將馬達之產生的動力利用齒輪進行轉接到傳動滾輪上。材質有金屬、PVDF等齒型有柱齒、傘齒、螺旋齒沾有藥液結晶,硬質顆粒時應用清水或藥液沖洗傘齒輪正齒輪傘齒輪2021/7/1914傳送滾輪滾輪的作用﹕利用滾輪與PC板面之磨擦力帶動PC板傳動弧形滾輪片用於一般水洗段或輸送段EPDM用於特殊藥液段或烘乾段2021/7/1915材質有不銹鋼、HCPP、EPDM等功能:傳動板件、阻水、擋水功能不銹鋼HCPPEPDM滾輪片
8、組傳送滾輪(實心滾輪)擋水滾輪作用﹕阻塞PC板帶上大量藥水或水流至下一槽.2021/7/1916軸心材質﹕不鏽鋼﹐碳鉛﹐鈦(99.5%)選用鈦軸心的原因﹕鈦金屬的一個顯著的特性就是性能穩定﹐耐腐蝕性強﹐由于它對氧的親和力特別大﹐能在其表面上生成一層氧化膜﹐可保護鈦不受介質腐蝕﹐因此﹐鈦在酸性﹐鹼性溶液中和氧化性介質中具有很好的穩定性。比不鏽鋼等金屬的耐腐蝕性好。而碳鉛則硬度低﹐易磨損。2021/7/1917材質﹕PP,網目為﹕60um濾網﹕濾網作用﹕初步過濾藥液和水中