拉晶过程中的注意点.ppt

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1、拉晶操作中注意点1.热场安装中要注意六角螺丝拧法、石墨垫片、石墨螺丝拧法、反射板两边间隙、测温口位置等。E:mywork培训资料九晶电子桌面截图注意事项反射板.JPG2.清扫时注意清扫排气护套、泄气阀，检查石墨中轴螺丝、加热器螺丝、检查籽晶是否破损（剪籽晶时小心弹力过大）等E:mywork培训资料九晶电子桌面截图注意事项3.安全阀.JPGE:mywork培训资料九晶电子桌面截图注意事项6.主阀.JPG3.装料时注意（不可用手直接接触）检查石英坩埚有无突刺、气泡、黑点、石英砂。液面以下

2、以面接触，液面以上以点接触4.中炉筒打开不可上下极限升降、连接上炉筒与隔离阀的螺丝一定要拧紧。E:mywork培训资料九晶电子桌面截图注意事项8.中炉筒.JPGE:mywork培训资料九晶电子桌面截图注意事项9.炉筒螺丝.JPG5.热屏安装与炉盖的间隙有一指厚度6.先开泵再开阀，先关阀再关泵。先开APC10至20度之间时再打开主阀（为了预防回油）7.每炉开炉之前必须确认参数是否正确（6.5inch,8inch,BODY起始长度）8.参数不可随意调整，特注意原点位置不可更改（后果）9.子参数等径

3、里的直径参数不可随意调整1mm1762000mm17610.参数保存与读入，自动状态下只可保存不可PLC读入（后果）。读入新参数配方必须写入11.B段等径前期必须减温度5-6度12.相机位置、相机参数不可随意更改，需调整找班长E:mywork培训资料九晶电子桌面截图注意事项引晶相机.JPGE:mywork培训资料九晶电子桌面截图注意事项相机手柄.JPG13.记录好日期、异常情况。14.空调不可对刚开炉的热场直吹。15.急停。按下急停之后，加热器、氩气、主阀、APC、晶转、埚转、籽晶拉速、埚随都

4、会停止E:mywork培训资料九晶电子桌面截图注意事项4.2.紧急停止.bmp16.扭曲file:///E:my%20work培训资料九晶电子桌面截图注意事项扭曲.doc17.指示灯含义18.压力计不可溅水、酒精19.驱动器E:mywork培训资料九晶电子桌面截图注意事项5.驱动器.JPG异常情况1.无法进入自动a.配方没写b.上炉体、中炉筒限位没感应到c.到籽晶下限位置（D会显示黄色）查找故障简便方法：进入自动，点“开始”看那些是显示红色的。2.等径过程中直径突然变大或变小a.直径

5、有没有改动b.有无埚随报警有到达坩埚限位无坩埚连轴器松c.PLC参数有无写入d.相机有无调整3.初始化（必须取下热屏挂钩）改参数：工序初始化重启改成以“1”中炉筒到下限，上炉筒到下限、关闭位置E:mywork培训资料九晶电子桌面截图注意事项1.1限位.JPGE:mywork培训资料九晶电子桌面截图注意事项1.初始化.bmp结束之后参数再改成“0”4.导气等径状况下，首先收尾，冷却4小时边冷却边上升（CR2rpm,SR0rpm）升晶棒至上炉筒，关闭隔离阀，改氩气为炉盖进，上炉筒用氩气的旁路在

6、快速充氩，取棒，合炉拧紧螺丝。开副泵，一分钟后开启副阀，抽至5KPa旁路充氩，5KPa至60KPa来回导气三次。第三次抽至与下炉体压力一致时打开隔离阀、关闭副阀、副泵。