蚀刻线宽调整指引.doc

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1、蚀刻线宽调整指引一．做首板前先看工卡，根据工卡上所注明的底铜厚度（双面板底铜厚度标注在开料栏，多层板底铜厚度标注在层压栏）和电镀孔铜厚，选择合适的蚀刻速度做首板。不同的底铜厚度和孔铜厚度的板件首板蚀刻速度如下表：底铜厚孔铜厚度首板蚀刻速度0.33OZ20um2.7m/min25um2.3m/min30um1.8m/min0.5OZ20um2.2m/min25um1.9m/min30um1.5m/min1OZ20um1.6m/min25um1.5m/min30um1.45m/min2OZ20um1.1m/min25um1.05m/min30um1.0m/min

2、3OZ25um0.9m/min30um0.85m/min二．测量首板的线宽线距，如果线宽线距符合要求，则进行量产。如果首板的线宽线距不符合要求，则根据首板线宽线距状况，进行行调整。当可以通过调节蚀刻速度而使线宽线距符合要求时，则不要调节压力，即优先调整蚀刻速度。当无法通过调节蚀刻速度而达到要求时，才调整压力。①线宽整体偏大，线距整体偏小，则调慢蚀刻速度。②线宽整体偏小，线距整体偏大，则调快蚀刻速度。③局部线宽偏大或者局部线宽偏小，则调整线宽偏大或者偏小的地方相应的压力。当压力已经达到最上限，没有调整空间时，则先总压调小，将蚀刻速度调慢，再将线宽偏小的地方的压

3、力调大。一．外层蚀刻机喷管分布1.外层蚀刻机每个上摇摆架共有7个压力调节阀门,每个压力调节阀门可以调节两支喷管压力,上喷喷管分布:走廊3～45～67～89～1011～1213～141～22.外层蚀刻机每个下摇摆架共有7个压力调节阀门,每个压力调节阀门可以调节两支喷管压力,下喷喷管分布:走廊1～23～45～67～89～1011～1213～14一．板边密集线当蚀刻板边有密集线的板件时,测量首板和抽测板线宽时,需重点测量板边密集线部分是否有蚀刻不净或者间距偏小现象。当板边有密集线或者板边高电流区（电镀夹点对面）有蚀刻不净或者线宽线距不符合要求时，可以采用竖向放板，

4、高电流区朝前放板。电镀夹点电镀夹点高电流区，铜厚偏厚，密集线位置易蚀刻不净一．蚀刻均匀性影响蚀刻均匀性的最主要因素为蚀刻喷压压力值和喷嘴的堵塞。当发现蚀刻均匀性较差，压力较混乱时，则立即参照蚀刻均匀性较理想时的压力值，立即调整各段压力为蚀刻均匀性较理想时的压力值。外层蚀刻均匀性较理想状态压力值如下：上喷：左1左2左3左4左5左6左72.22.43332.32.3下喷：左1左2左3左4左5左6左72.62.52.52.52.52.52.5当发现喷嘴堵较多，线宽较难调整时，则立即对蚀刻机进行保养，拆下所有喷嘴清通。二．异常板件处理1.镀铜偏厚或者偏薄当批量板中有

5、部分铜厚偏厚或者偏薄（生产前注意看不合格品处理单或者工卡上的实测铜厚数据）的板件时,蚀刻时需与正常的批量板分开蚀刻,且需相应调整蚀刻速度。2.镀铜不均当批量板中有部分镀铜不均的板件时，蚀刻时需与正常的批量板分开蚀刻，在蚀刻后退膜前接起来进行全检，有蚀刻不净的挑出来在蚀刻缸中泡药水进行返工，确认OK后方可退膜。三．放板方向原则蚀刻放板时需固定方向放板，原则上线路较密集的一面或者有BGA的一面朝下。四．保养后蚀放速度由于蚀刻机进行大保养后，所有的喷嘴得到清通，则蚀刻能力会增大，相同时间内的蚀刻量增加，所以每次蚀刻机大保养后，相同型号蚀刻速度比保养前需调快0.2～

6、0.4m/min。