S076特殊材料蚀刻线宽精度控制能力和控制方法廖辉

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1、文档密级：内部公开S-076Specialmaterialetchinglinewidthaccuracycontrolcapacityandcontrolmethod特殊材料蚀刻线宽精度控制能力及控制方法廖辉LiaoHui（公司：深南电路有限公司，江苏省无锡市新区空港产业园，邮编214142）传真：0510-82739864E-mail：liaohui@scc.com.cn作者简介：廖辉深南电路有限公司无锡技术部高级工程师摘要：本文主要针对特殊材料蚀刻加工线宽的精度控制，通过不同铜厚和不同的补偿值进行验证，总

2、结出特殊材料蚀刻过程中的补偿值和CPK对应关系，从而对特殊材料蚀刻，影响因素进行初步分析和探讨，为业界特殊材料蚀刻加工线条，提供一定的参考和借鉴。Abstract：Thispaperinviewofthespecialmaterialetchinglinewidthcontrolaccuracyisverifiedbydifferentcopperthicknessanddifferentcompensationvalue,summedupthespecialmaterialetchingprocesscomp

3、ensationvalueandtherelationshipofCPK,thustothespecialmaterialetching,theinfluencefactorsofthepreliminaryanalysisanddiscussion,fortheindustryspecialmaterialetchingprocessinglines,providesomereference.关键词：特殊材料、铜厚、线条精度、线条公差0.5mil、1.0milKeywords：Specialmaterials

4、,copperthickness,precisionoftheline,linetolerance0.5mil,1.0mil此资料属深南电路公司所有，未经许可，不得扩散。文档密级：内部公开前言：随着PCB应用越来越广泛，电路设计日趋复杂和服务器、高速产品批量的导入和应用，如何保证各种信号传输的完整性，信号质量，成为技术难题。此时，需要借助传输线理论进行分析，控制信号线的线宽精度则成为关键，不严格的线宽控制，将引发相当大的信号反射和信号失真，导致设计失效。常见的信号，如PCI总线、PCI-E总线、USB、以太网、

5、DDR内存、LVDS信号等，均需要进行严格的线宽控制。线宽精度的控制最终需要通过PCB设计实现，对PCB板生产工艺也提出更高要求，针对PCB板影响线宽因素，进行分析，主要有以下几点：线条分布设计、电镀参数、电镀铜面均匀性、蚀刻均与性、蚀刻补偿参数、蚀刻过程控制；经过与PCB实验、研究和结合实际生产过程控制中的，我对这个问题有了一些粗浅的认识，愿和大家分享。一、实验设计：如下表：一材料　　补偿参数铜厚基材12um加厚45min铜厚基材12um加厚60min间距20mil以上间距8-20mil间距4-8mil间距2

6、0mil以上间距8-20mil间距4-8mil纯Rogers43500.8mil0.80.80.80.8　0.80.8　1.4mil1.41.41.41.41.41.42.0mil2.02.02.02.02.02.0Rogers4350与FR4混压0.8mil0.80.80.80.80.80.81.4mil1.41.41.41.41.41.42.0mil2.02.02.02.02.02.0二、试验现象及结果：（没有注明公差为1mil时，所有CPK按照公差0.5mil计算）1.纯Rogers4350在基材12um

7、加厚45min时不同补偿时的结果分析：图一：此资料属深南电路公司所有，未经许可，不得扩散。文档密级：内部公开表二：1.1、数据分析及结论：A、根据图一的不同线宽的CPK走势图可以发现，在相同的补偿情况下，线宽和CPK的走势呈正性关系，补偿2mil时线条的CPK比补偿1.4mil线条的CPK值高，因此如果需要对线宽较小的线条进行CPK控制，需在保证CAM间距的情况下提高补偿值；B、异常分析：因试验板的该处线条取自孔边，所以试验完成后从现场的生产板取4mil线测量数据分析按公差+/-1mil控制时CPK值约1.03

8、；C、对在不同补偿的情况下的线宽进行对比，补偿2.0mil和1.4mil的成品线宽的整体CPK值差异较小，补偿0.8mil时CPK下降幅度较大，但公差+/-1mil的CPK值仍能达到1.3；同时比较标黄色的两个区域，补偿相同的情况下，小间距（4mil和6mil）的线条和孤立线条的线宽均值差异约0.15mil，小间距处的线宽均值较大；2.纯Rogers4350在基材12um加厚60min