mei048酸性蚀刻机工作指引

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1、文件发行/更改审批表DOCUMENTISSUE/CHANGEAPPROVALSHEET文件状态DOCSTATUS文件名称：酸性蚀刻机工作指引TITLE：文件编号：REF：MEI048版本：ISS：00文件更改履历性质及项号（DOCUMENTAMENDMENTHISTORY）修订REV.更改性质及项号NATUREOFCHANGEANDSECTIONNO.制订人INITIALOR生效日期EFF.DATE1第一版何锋2008.01.05审批(制订人应用“（X）”指出此文件的审批单位APPROVAL（INITIATO

2、RHASTOINDICTE“（X）”ONWHOMPOSSESS（ES）APPROVALAUTHORITYOFTHISDOCUMENT）审批人修订（1）修订（2）修订（3）修订（4）修订（5）QA（X）工程部（）生产部（X）市场部（）工艺部（X）维修部（X）财务部（）人力资源部（）行政部（）运营总监（X）总经理（）OPI002-1/00-2XINGDAP.C.BCO.,LTD兴达电路板厂文件名称：TITLE：酸性蚀刻机工作指引文件状态DOSSTATUS文件编号REF：MEI048版本修订ISS-REV：00-1

3、页号PAGE1OF31、目的：建立及介定蚀刻工艺的操作条件，使蚀刻得以顺利进行2．适用范围：本文件只于蚀刻工艺的退膜，蚀刻工序3．适用文件：3．1制作技术MI.LOT卡3．2流程检查表3．3内部工艺标准3．4工程更改通知3．5化验补料单4．责任4．1生产部负责实施日常操作工作参数条件4．2流程工程部负责为遇到的问题提供技术支援4．3维修部负责为生产设备提供维修保养服务4．4品质部负责仪器调校及流程参数的监控4．5化验室负责药水的化学浓度分析及调整5．设备、材料物品5．1宇宙蚀刻退膜机5．2手动退膜缸、架子5．

4、3百倍镜5．4蚀刻子液氨水氢氧化钠盐酸OPI001-1/00-1XINGDAP.C.BCO.,LTD兴达电路板厂文件名称：TITLE：酸性蚀刻机工作指引文件状态DOSSTATUS文件编号REF：MEI048版本修订ISS-REV：00-1页号PAGE2OF36．蚀板流程：入板→蚀刻→氨水洗→循环水洗→酸洗→循环水洗→循环水洗→清水洗→吸水→强风吹干→热风吹干→出板7．工艺参数条件：7．1温度：50±3℃7．2烘干温度：80±2℃7．3蚀刻压力：上喷2.0Kg/㎡下喷1.5-1.7Kg/㎡7．4氨水洗压力：1-

5、3Kg/㎡7．5循环水洗及酸洗压力：1-2Kg/㎡8．蚀刻速度和蚀刻液成份：8．1蚀刻速度：H/HOZ：1.8-2.0m/min开两个泵1/1OZ：1.3-1.6m/min开两个泵2/2OZ：0.8-1.0m/min开两个泵8．2蚀刻液成份：Cu2+:130-190g/L酸度（HCL）：1.5-3.5mol/LSG ：1.28-1.36氧化还原电位：450-600ORP/mv8．3子液成份：酸度（HCL）：1.5-3.5mol/L氧化还原电位：450-600ORP/mv9．开机9．1按下输送开关将输送速度调整

6、在合适范围内。9．2按照流程顺序依次按下各开关则其相应段电器开始工作各喷淋压力可通过掖泵出口处球阀门调节至所需范围内。9．3电箱面板上的温度控制器酸性蚀段的温度，当温度达到设定值时可正式生产。OPI001-1/00-1XINGDAP.C.BCO.,LTD兴达电路板厂文件名称：TITLE：酸性蚀刻机工作指引文件状态DOSSTATUS文件编号REF：MEI048版本修订ISS-REV：00-1页号PAGE3OF39．4当工作温度超过设定值时冷却水管开始工作。9．5当液位偏低或其它原因机体指示灯亮，工作人员须即刻检

7、查原因并给予处理。10．关机10.1先检查确认机内有无后再关机。10.2按电箱面板按钮，蚀刻机。停止工作。然后关阀及电源的开关。11．生产注意事项11.1生产前必须做首板经QA确认线宽、线距OK后方能正式生产。11.2生产中严禁打开蚀刻液缸的盖子。避免药水伤及眼和皮肤。11.3内层板烤板后才能蚀板。11.4当出现批量酸性蚀板不净时接板员应及时知会组长调整蚀刻速度并将好板坏板分开。12．自动添加12.1将添加时间设定为60秒然后返回主页画面。12.2连接控制器先以较慢的速度蚀刻、自动添加HCL和TX-005直到

8、ORP值控制范围内。13．浮子比重控制的调整13.1调节感应器的高度使波美计控制器的反映数值与用药水的比重数值一致﹙可精确到0.1个单位﹚。13.2打开浮子比重控制器药水盒的顶盖调节其底部的阀门。使药水慢慢溢到顶部合适位置而后保持液面稳定。13.3将浮子放入药水盒中固定好药水盖调节好药水比重上限数值即可。注意该浮子的上限感应器灯亮则应发出添加泵启动信号比重﹙25℃y/cm2﹚1.28-1.36即﹙3