欢迎来到天天文库
浏览记录
ID:48022082
大小:6.63 MB
页数:66页
时间:2020-01-26
《EBSD技术原理及系统构成.pdf》由会员上传分享,免费在线阅读,更多相关内容在行业资料-天天文库。
1、OxfordInstrumentsEBSD技术原理及系统康伟2008.10西工大TheBusinessofScience™OxfordInstrumentsOxfordInstrumentsEBSD——扫描电镜附件之一•安装于电子显微镜(场发射或钨灯丝电镜)或者电子探针上的EBSD系统示意图•一般来说,EBSD探头垂至于电子束光轴和样品台倾斜轴安装TheBusinessofScience™OxfordInstrumentsOxfordInstrumentsEBSD:ElectronBackScatteredDiffraction(Detector)电子背散射衍射(探测器或分析系
2、统)EBSP:ElectronBackScatteredPatterns电子背散射衍射花样(Kikuchibands菊池带)OIM:OrientationImagingMicroscopy取向成像显微技术另外较早时还可能见到BKD、BEKP、ORKID等说法TheBusinessofScience™OxfordInstrumentsOxfordInstrumentsEBSD技术的由来与沿革EBSD分析的技术背景EBSP的产生机理与标定过程EBSD应用领域及举例EBSD的系统构成TheBusinessofScience™OxfordInstrumentsOxfordInstrum
3、ents1928年SeishiKikuchi第一次观察到了电子衍射形成的Kikuchi花样。'P'patternofcalcite(Kikuchi,JapaneseJournalofPhysics,V,2,1928.)ThankstoRobertSchwarzerfortheimage'P'patternofmica(Kikuchi,JapaneseJournalofPhysics,V,2,1928.)TheBusinessofScience™OxfordInstrumentsOxfordInstruments1954年,Alam,Blackman,Pashley.‘Highan
4、gleKikuchipatterns.’Proc.RoyalSocietyofLondon.较早报道了背反射条件下的衍射花样。1967年,Coates第一次报道SEM下观察到的菊池花样。80~90年代,优化算法+摄像技术+计算机技术发展才催化出EBSD技术走向实用化。TheBusinessofScience™OxfordInstrumentsOxfordInstrumentsDingley1990’s-2004"On-linedeterminationofcrystal..."1984Schmidt-ECPLink/Dingley19861986Dingleyetal-Phase
5、ID1989SchmidtEBSP&1990foundsHKL1990Kriger-LassenetMichael&aluseHoughOIM-AdamsGoehner-1992SchwarzerOrkid/1993PhaseIDTEM19931993Link/OxfordDingley&AdamslaunchesownfoundTSLHjelenoffersproduct1994cameras?ThermoNoranoffersTSLSchwarzerOrkid/SEMThermoNoran1997EDAXacquiresofferOrkidandTSL2000PhaseID19
6、99~2000HKLoffersowncameraNordlys2002ThermoNoransuppliesHKL2003PriorusingHKLbreaks100p/sEDAX/TSLOxfordbarrier200420042004TheBusinessofScience™OxfordInstrumentsOxfordInstruments物相结构分析:矿物学领域NielsSchmidt博士,丹麦HKL-Oxford复杂晶体结构的EBSD花样的解析1937胶片BoerschOxford,HKL,TSL1986~1928TEMAutomaticindexkikuchi197
7、7VenablesIndexed晶体取向分析:金属材料学领域V.Randle博士,OxfordDavidDingly博士,TSL-EDAX晶界取向、界面取向差、晶体织构分析TheBusinessofScience™OxfordInstrumentsOxfordInstruments标定速度的发展700600NordlysF+500NordlysF400300NordlysIIorNordlysSIndexingSpeed(Hz)2001stCCDcamerasNor
此文档下载收益归作者所有