EBSD初级原理及简单应用.ppt

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1、燕山大学先进钢铁材料课题组报告人：王明明时间：11月15日EBSD初级原理及简单应用1EBSD基础知识目录1数据采集软件(OIMDataCollection)的使用2数据分析软件(OIMAnalysis)的使用3试样的制备4燕山大学先进钢铁材料课题组21.EBSD基础知识燕山大学先进钢铁材料课题组电子枪试样接收器磷屏当成一张纸1.1硬件107108EDAX31.EBSD基础知识燕山大学先进钢铁材料课题组强弱衍射锥与荧光板相交，形成菊池带(Kikuchi)2dsinθ=nλ参考《材料电子显微分析》，张静武，P51-54，911.

2、2菊池花样abc41.EBSD基础知识燕山大学先进钢铁材料课题组镍样品菊池带1.每个菊池带都可以指标化为产生该菊池衍射的晶面指数；2.几个菊池带相交的点（菊池极）对应于晶带轴方向与荧光屏的交点，这些点可指标化为晶带轴指数。3.(200)面的面间距比(2-20)面的宽，(200)面带宽比(2-20)面的窄。1.2菊池花样51.3菊池花样鉴定1.EBSD基础知识燕山大学先进钢铁材料课题组三条带失配度:FitFit越小，测试结果和数据库文件吻合度越高。数据库对比结果：abc61.EBSD基础知识燕山大学先进钢铁材料课题组置信度因子:

3、CI（ConfidenceIndex）CI越大，准确度越高。此外，参与计算的条带数n越多，计算结果越准确。对可能结果进行投票置信度因子CI1.3菊池花样鉴定71.EBSD基础知识燕山大学先进钢铁材料课题组确保正确率达到90%，CI＜0.1的删除投票正确率与CI值关系曲线CI＜1.01.3菊池花样鉴定81.EBSD基础知识燕山大学先进钢铁材料课题组1.线上的点由替换成一条线；2.用所有线的交点代替一条菊池带Hough变化1.4Hough变换92.数据采集软件(OIMDataCollection)的使用燕山大学先进钢铁材料课题组1

4、234常用部分：1.工作距离与控制权；3.相机设置；4.图像采集；5.菊池花样。102.数据采集软件(OIMDataCollection)的使用燕山大学先进钢铁材料课题组2.1设定工作距离工作距离改变，花样中心随之改变。设定：1.样品台：预倾角30°；2.工作距离(WD):15-22mm；3.Stage倾转：40°；4.插入相机。70°扫描电镜Z值≠工作距离112.数据采集软件(OIMDataCollection)的使用燕山大学先进钢铁材料课题组2.2相选择获取扫描照片EBSD原理是测得的花样与数据库中的花样进行对比，因此首先

5、应提供正确的相。12Phase对话框下：①相的载入Load；②数据库中选定；③错误相的删除Remove。Scan对话框下：CaptureSEM2.数据采集软件(OIMDataCollection)的使用燕山大学先进钢铁材料课题组1×12×24×42.3相机设置：BinningBinning值越大，细节信息越少，单个菊池花样采集时间越短。相鉴定132.数据采集软件(OIMDataCollection)的使用燕山大学先进钢铁材料课题组ImageProcessingMode提供两种模式：标准Standard和增强Enhanced模式

6、。目的：扣除噪点，提升整体花样质量Standard模式下①释放控制权；②取消backgroundsubtraction复选框；③调节Gain及Exposure；④获取背底；⑤勾选backgroundsubtraction复选框。2.3相机设置：扣背底142.数据采集软件(OIMDataCollection)的使用燕山大学先进钢铁材料课题组调节Gain及Exposure过程①Gain目的是增大信号，但是增大信号的同时增加了噪点。②Exposure曝光时间越大，采集速率越小。77fps扫描速度0.8-0.9max占用处理器的百分比

7、2.3相机设置：扣背底152.数据采集软件(OIMDataCollection)的使用2.3相机设置：扣背底对于CI值较低的情况下，可以选用Enhanced模式，进行动态扣背底：①Interactive模式下单击图片中心位置；②获得控制权；③取消backgroundsubtraction复选框；④选用Enhanced,单击Modify16燕山大学先进钢铁材料课题组2.数据采集软件(OIMDataCollection)的使用2.3相机设置：扣背底⑤依次勾选BackgroundSubtractionDynamicBackgroun

8、dDivisionNormalizeIntensityHistogram进行扣背底⑥单击AutoTuneCalibration进行自动校正17燕山大学先进钢铁材料课题组2.数据采集软件(OIMDataCollection)的使用2.4参数进一步优化（Hough）目的：CI值更