EBSD技术原理及系统构成.pdf

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1、OxfordInstrumentsEBSD技术原理及系统康伟2008.10西工大TheBusinessofScience™OxfordInstrumentsOxfordInstrumentsEBSD——扫描电镜附件之一•安装于电子显微镜（场发射或钨灯丝电镜）或者电子探针上的EBSD系统示意图•一般来说，EBSD探头垂至于电子束光轴和样品台倾斜轴安装TheBusinessofScience™OxfordInstrumentsOxfordInstrumentsEBSD:ElectronBackScatteredDiffraction(Detector)电子背散射衍射（探测器或分析系

2、统）EBSP：ElectronBackScatteredPatterns电子背散射衍射花样（Kikuchibands菊池带）OIM：OrientationImagingMicroscopy取向成像显微技术另外较早时还可能见到BKD、BEKP、ORKID等说法TheBusinessofScience™OxfordInstrumentsOxfordInstrumentsEBSD技术的由来与沿革EBSD分析的技术背景EBSP的产生机理与标定过程EBSD应用领域及举例EBSD的系统构成TheBusinessofScience™OxfordInstrumentsOxfordInstrum

3、ents1928年SeishiKikuchi第一次观察到了电子衍射形成的Kikuchi花样。'P'patternofcalcite(Kikuchi,JapaneseJournalofPhysics,V,2,1928.)ThankstoRobertSchwarzerfortheimage'P'patternofmica(Kikuchi,JapaneseJournalofPhysics,V,2,1928.)TheBusinessofScience™OxfordInstrumentsOxfordInstruments1954年，Alam,Blackman,Pashley.‘Highan

4、gleKikuchipatterns.’Proc.RoyalSocietyofLondon.较早报道了背反射条件下的衍射花样。1967年，Coates第一次报道SEM下观察到的菊池花样。80~90年代，优化算法＋摄像技术＋计算机技术发展才催化出EBSD技术走向实用化。TheBusinessofScience™OxfordInstrumentsOxfordInstrumentsDingley1990’s-2004"On-linedeterminationofcrystal..."1984Schmidt-ECPLink/Dingley19861986Dingleyetal-Phase

5、ID1989SchmidtEBSP&1990foundsHKL1990Kriger-LassenetMichael&aluseHoughOIM-AdamsGoehner-1992SchwarzerOrkid/1993PhaseIDTEM19931993Link/OxfordDingley&AdamslaunchesownfoundTSLHjelenoffersproduct1994cameras?ThermoNoranoffersTSLSchwarzerOrkid/SEMThermoNoran1997EDAXacquiresofferOrkidandTSL2000PhaseID19

6、99~2000HKLoffersowncameraNordlys2002ThermoNoransuppliesHKL2003PriorusingHKLbreaks100p/sEDAX/TSLOxfordbarrier200420042004TheBusinessofScience™OxfordInstrumentsOxfordInstruments物相结构分析：矿物学领域NielsSchmidt博士，丹麦HKL－Oxford复杂晶体结构的EBSD花样的解析1937胶片BoerschOxford,HKL,TSL1986~1928TEMAutomaticindexkikuchi197

7、7VenablesIndexed晶体取向分析：金属材料学领域V.Randle博士，OxfordDavidDingly博士，TSL－EDAX晶界取向、界面取向差、晶体织构分析TheBusinessofScience™OxfordInstrumentsOxfordInstruments标定速度的发展700600NordlysF+500NordlysF400300NordlysIIorNordlysSIndexingSpeed(Hz)2001stCCDcamerasNor