FSI清洗机培训教材

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1、.FSI清洗机培训教材目录一、FSI清洗机介绍:二、FSI组成及结构功能:三、软件操作介绍:四、程序以及输出功能:五、流量控制:六、ChemicalAutofill功能介绍:七、常见故障以及维修方法:word范文.一、FSI清洗机介绍²FSI用途:FSI用于圆片的表面清洗系统,可以去除颗粒、金属离子以及剥离部分氧化膜;²FSI设备全称:MERCURYMPSurfaceConditionDivisionSystem,FSI公司早期的SpraySystemProduct;²FSI工作原理:在密封的Chamber中,圆片对称放在Turntab

2、le上,在Turntable的旋转的同时利用N2把Chemical形成高雾化或者低雾化喷洒在圆片表面,有两个喷嘴:Spraypost和Side-bowlspraypost,达到去除颗粒、金属离子以及剥离部分氧化膜的目的,然后用DIWater冲洗圆片表面,最后通过Turntable的高速旋转(500rpm)以及N2Purge来使圆片的表面干燥。²FSI用到的原料:主要有5种Chemical:H2SO4,HCL,HF,NH4OH,H2O2;还有DIWater(去离子水)、N2和CDA(压缩空气)。²FSI常用工艺菜单:B-CLEAN,S*P

3、5/1,POLY-BCLN,BP-BCLN;²安全措施:设备的每个部分都安装有Interlock开关,禁止工艺时打开门、盖子等组件,如果Interlock开关被打开,则会使设备停机,工艺中断;警告:工艺时禁止对FSI清洗机的任何部分进行任何操作。²设备学习参考资料:《FSI清洗机操作规范》;《6”FSI清洗机PM操作规范》;word范文.一、FSI组成及结构功能²FSI由五部分组成,各单元相互独立:ElectronicConsol;ProcessConsol;CanisterConsol;BoosterPump;Hellos52DIWa

4、terHeater。(其中前两部分放在白区,后三部分放在灰区)²结构及其功能:1.ElectronicConsol:监视和控制程序的运行,是系统的核心部分,内部由7个抽屉构成,可以拉出来,便于查看,主要有:286的单片机以及控制组件,Touchscreen(触摸式显示屏),软盘驱动器,流量控制组件以及N2管路的过滤器和压力调节阀;2.ProcessConsol:主要由Cover、ProcessChamber、Motor、Turntable、下排管道、以及流量控制的FOLWPICKUP等,每次作业可以清洗6批圆片,门盖安装了Spraypo

5、st,在chamber壁上安装了Side-bowlspraypost,这两个Spraypost就是工艺时的酸液喷嘴。3.CanisterConsol:主要用于存放5种化学液,有两个存放柜,每个柜中存放三个Canister,每个Canister连接四个管道,依次是:酸液输入管道、酸液输出管道、破裂阀连接管道、N2输入管道(通过22号阀实现加压及释放压力),动力课通过SDC供液系统统一供应化学溶液,每次工艺结束,系统发个自动灌酸指令“50”word范文.,酸液从动力管道灌到酸桶Canister中,工艺时再从酸桶中把酸液压到Chamber中。

6、1.BoosterPump:DIWater增压系统,动力提供的DIWater压力不能满足FSI的需求,所以增加了增压泵,由两个增压泵和两个过滤器构成,当系统压力达不到要求时,增压泵开始工作。2.Hellos52DIWaterHeater:用于DIWater的加热,由主机和一个监视器构成,监视器放置在ElectronicConsol的顶部,目的是为了DIWater加热器的工作状态。一、件操作介绍:FSI的自动控制是通过286结构的单片机来控制的,由于没有硬盘及ROM,只有NVM(非易失存储器),所以程序就保存在软盘上,通过软盘驱动器来读取

7、程序,而且启动时要插入启动软盘,启动结束后再插入程序软盘。至于显示器用的是Touchscreen(触摸式显示屏),这种显示器可以用手指直接点击,这样就不需要键盘了。软件的结构介绍,主界面视图下图所示:Name:Time:XX:XXTemp:XXXSec:XXXStep:XXSpeed:XXXrpmOutputsXX,XX,XX0-Otherstatus1-SelectProcess2-SpecialFunctions3-ClearAlarms0-otherstatus:按“0”后可以进入另一界面,在工艺时可以浏

8、览工艺菜单的每一步内容;word范文.0-SelectProcess:按“1”后可以进入程序界面,用方向键选取菜单,按“Enter”确认。1-SpecialFunctions:按“2”后可以进入特殊功能界面

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