版图的物理验证

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1、版图的物理验证版图的物理验证主要有DRC，ERC（电气规则检查）和LVS三种方法。DRC表示设计规则检查，是DesignRuleChecking的缩写，LVS是LayoutVersusSchematic的缩写，ERC是ElectricalRuleChecking。DRC用来检查版图的几何图形符合工艺规则要求，以便芯片能在工艺线上生产出来；LVS把设计得到的版图和逻辑网表进行比较，检查各器件大小和连接关系是否完全一致；ERC主要是检查版图电性能（如衬底是否正确接电源或地，又无栅极悬空等）以保证各器件能正常工作。物理验证成功则可以出带（Tapeout）,或生成

2、macrocell做作为整个设计的一部份来使用,数据格式一般采用GDSII。下面以Mentor公司的物理验证Calibre来说明版图的验证过程。1.ANT流程2.DRC流程DRC验证需要输入版图文件(GDSII格式)和规则文件，规则文件一般由厂商提供。Mentor公司的Calibre软件是DRC方面的主流工具。其规则文件的语法简单，但规则较繁杂。规则文件通常包括描述模块（DescriptionBlock）、输入层模块（InputlayerBlock）、操作模块（OperationBlock）三个部分。每一个模块有一个开始标志(如：*DESCRIPTION)

3、和结束标志(*END)。描述模块定义了Dracula运行环境。包括运行模式、基本单元名、输入/输出设备、文件名、格式、图形比例元素、网格大小、输出记录文件、警告消息显示等。输入层模块把布局图的层名或层编号和Calibre的层名对应起来，并提供Calibre进行验证所需的其他关于层的信息。主要是：要输出的层、层名、掩膜顺序、要输出的层、文本层。操作层定义要进行的操作和应用程序并且标出错误。它定义的操作类型有：逻辑、电气节点、缩放、参数、空间、ERC、DRC、LVS、LPE和PRE。例如，一个非门的规则内容如下：n阱(nwell)：n阱的最小宽度4.8u阱与阱

4、之间的最小间距1.8undiff到nwell的最小间距0.6updiff到nwell的最小间距1.8upmos器件必须在nwell内有源区(active)有源区的最小宽度1.2u有源区之间的最小间距1.2u多晶硅(poly)多晶硅的最小宽度0.6u多晶硅之间的最小宽度0.6u多晶硅与有源区的最小间距0.6u多晶硅栅在场区上的最小露头0.6u源、漏与栅的最小间距0.6u引线孔（contact）引线孔的最小宽度0.6u引线孔之间的最小间距0.9u多晶硅覆盖引线孔的最小间距0.3umetal1覆盖引线孔的最小间距0.3u金属1(metal1)metal1的最小宽

5、度1.2umetal1之间的最小间距0.9u金属2（metal2）metal2的最小宽度1.2umetal2之间的最小间距1.2umetal2的最小凹槽深度　　　　　　　　　　　　1.2u通孔（via）via的最小宽度　　　　　　　　　　　　　　　0.6uvia之间的最小间距0.9uvia与contact之间的最小间距　　　　　　　0.6umetal1overlap(覆盖)via的最小间距0.3umetal2overlapvia的最小间距0.3uvia与poly的最小间距　　　　　　　　　　　0.3uCalibre的启动界面如下：运行setdtcalibe

6、r/calibre–gui,其中DRC即DesignRuleCheck,点击DRCj可进入如下界面：此处所用的规格文件是SMIC公司提供的规格文件：SmicDRL2TM4P_cal018_mixlog_p1mt6_sali.drc，我们需要修改其中的名称和路径如下：//*************************************//DIRECTIVESECTION//*************************************LAYOUTPRIMARY"mult"LAYOUTPATH"/user/user2/icfb/verif

7、y/mult.gds"LAYOUTSYSTEMGDSII点击input进入如下界面：输入要进行检查的版图文件。Output选项生成DRC的结果和过程的总结。点击RunDRC即可运行程序，生成DRC的summary和result，从上面我们可以看到出现的一些错误，之后可以通过Laker或Cadence公司等工具进行修改。直至没有错误方可。使用Cadence公司icfb进行DRC修改的具体过程如下：首先启动icfb&,进入Cadence界面File>LibraryàNew-- 进入如下界面：OK,选择所用的库，我们所用的是SMIC公司提供的smic18mm的库

8、, OK,然后选择File>Streamin,àImport---