LED磊晶部四元磊晶生产作业指导书

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1、将生产的流程、产品的量测和机台的操作标准化適用範圍凡LED磊晶部生产Z四元(AlGalnP)LED产品皆适用參考文件无定義/權責无表單/附件5、15、5、5、5、5、5、5、5、5、2345678910附件一、附件二、附件三、附件四、附件五、附件六、磊晶系统异常标准AIXTRON2400/2600G3Loading作业细则EMCORE(E400)Loading、UNLoading作业细则AIXTRON2400/2600G3Unloading作业细则四元晶片量测作业细则M02四元晶片量测作业细则5、115、5、5、5、5、121314

2、15165、17表一、A-R00M每班生产前检查表/4-10-M000-001-001表二、M02每班主产前检查表/4-10-M000-001-002表三、A-R00M周检表/4-10-M000-001-003M02周检表/4-10-M000-001-004磊晶成长记录(含续)/4-10-M000-001-005M02磊晶成氏记录(AIX2400：L3/L4)/4-10-M000-001-006M02磊晶成长记录(E400：L1/L2)/4-10-M000-001-007M0工作交接记录表/4-10-M000-001-008磊晶机台

3、工作日志/4-10-M000-001-009十、C-ROOM毎班生产前检查表/4-1O-MOB0-001-005H」一、C-R00M磊晶机台周检表/4-1Q-M0B0-001-007表四、表五、表六、表七、表八、表九、表表作業內容6.1流程图6、2生产检杳6、2、1每班生产両检杳表：由每班人员于上班前，依表内所列项目检杳6、2、2周检表由每周一日班与每周四夜班人员依表内所列项目检杳6、2、3磊晶成长记录4、2、3、1于每批LED磊晶前，依表检杳各项温度及压力4、2、3、2恒温槽水温为重要特殊特性（KC）请确实检杳6、2、4磊晶系统异

4、常标准：依磊品系统异常标准（附件一），超过标准而影响到生产时，应填写磊品系统状况报告6、3Loading6、3、1依AIXTRON2400/2600G3Loading作业细则（附件二）,将晶片放入Reactor内6、3、2依EMCORE（E400）Loading、UNLoading作业细则（附件三）,将晶片放入Reactor内6、3、3将放入的品片批号，记录丁•磊品成长记录6、4磊晶成长阶段在成长阶段，记录电脑上各Source的用量、压力及成长时的时间、温度于磊品成长记录（续）6、5Unioeiding6、5、1依AIXTRON24

5、00/2600G3Unloading作业细则（附件四）将晶片dt]Reactor内夹出6.5、2依EMCORE（E400）Loading、UNLoading作业细则（附件三）将晶片由Reactor内夹出6、6量测6、6、1依四元品片量测作业细则（附件五）,测量岀正确的波长、亮度、C.C值6、6、2测量结果交由工程师判定6、7M0工作交接记录表每班人员填写机台状况及工作交接事项，在下班之前给下一班人员6、8磊品机台工作日志记录机台每日时间及工作项B5、1附件一、磊品系统异常标准位置异常标准生产前检査SOURCE瓶恒温槽温度温度大于设定

6、値正负0.2°C时帮浦油位当油位小于1cm时H2结露点温度温度大于-75°C时手套室结露点温度温度大于-65°C时系统N2压力压力小于2.8bar时高压N2压力压力小于5bar时分流箱气体压力超过生产检査表之标准生产中监视DP値压力差压力大于lOmbar时节流阀开角开角大于35度时Reactor冷去卩水入口温度温度小于15度或大于25度Reactor压力稳定性压力大于或小于100mbar+/-2时牛产后检杳晶片表面非镜面或刮痕晶片E掉或打破其他状况系统进入SafestateScrubber警报气体房气体柜警报电脑当机荧屏数値与REC

7、IPE不同时5、2附件二、A1XTR0N2400/2600G3Loading作业细则项且*程序位置系统状态*确定ReactorTemp120°C+/_10°C电脑*确定V30阀为关闭状态，未关则关之电脑系统设定*确定关H2气阀，幵N2气阀电脑*确定RunM0二1000,RumHydrid=1000ReactorPress=990-1000mbar电脑*确定关V29阀电脑*确定关Control电脑开Rcactor门*待手套室内Enable,Open,Close键灯均亮时»两支手分别按Enable和Open灯手套室*当Reactor门升

8、至顶端即网手松开按键以停下Reactor门之开启动作手套室*另一人随时注意电脑显示(l)dp>30(2)dpfilteroverlimit(3)throttlevalveleak若发生问题，则立即通知工程人员及领班协助处理电脑*以真空