磊晶化学溶剂与有机金属介绍

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1、磊晶化學溶劑與有機金屬介紹化學溶劑無機氣體有機金屬磊晶常用無機氣體及特性▲氫氣(H2)Hydrogen：分量子2，氫氣（Hydrogen）係一種無色、無臭、無味、無毒的可燃性氣體，亦是最基本的化學元素與原料，容易爆炸，在空氣中的最低爆炸濃度為4%。●物理性及化學性危害：極高度易燃，火場中的容器可能會爆炸。●主要症狀：呼吸及脈搏速率增加、肌肉協調功能輕度障礙、情緒不安、異常疲勞、呼吸障礙、噁心、嘔吐、虛脫、失去意識、動作痙攣、呼吸衰竭。●物品危害分類：2.1（易燃氣體）磊晶常用無機氣體及特性▲氮氣(N2)Nitroge

2、n：分子量28，無色無味，惰性氣體不會助燃。▲氨氣(NH3)Ammonia：分子量17，無色帶有特殊臭氣的氣體，有毒性，吸入過量引發喉頭水腫，喉痙攣而引起窒息，也可出現呼吸抑制，肺水腫，昏迷和休克。磊晶常用無機氣體及特性▲矽甲烷(SiH4)Silane分子量32，為一無色、會與空氣反應、有窒息性影響。與空氣接觸會自燃，燃燒時會釋放出未結晶的二氧化矽濃煙。矽甲烷會刺激黏膜和呼吸系統；高度曝露在矽甲烷會引起肺炎和肺水腫，目前磊晶廠內使用濃度為200P.P.M.混氫(H2)。▲氦氣(He)Helium分子量4,鈍性氣體,無色

3、、無毒、無氣味、不燃燒的氣體或液體，水中溶解很微。用於管路及chamber測漏時用。丙酮(ACE)Acetone危害成分:丙酮(CH3)2COCASNO.:67-64-1UN1090危害性分類:易燃性液體危害症狀:頭痛、虛弱、嘔吐昏迷、皮膚脫脂/炎、方位感障礙沸點:56.2℃閃火點:-17.8℃蒸氣壓：180mmHg警告訊息：－高度易燃－刺激眼睛、皮膚、呼吸系統－長期吸入有害危害防範措施：－置於陰涼且通風良好處，緊蓋容器－遠離火源，容器接地－配戴護目鏡、口罩、手套，避免長期暴露急救：－用清水沖洗眼睛。皮膚污染部位用肥皂

4、加清水沖洗－吞食先洗胃，再給予生理食鹽水洗滌。異丙醇2-Propanol;IPA危害成分:異丙醇CASNO.:67-63-0UN1219危害性分類:易燃性液體危害症狀:咳嗽、暈眩、昏迷、嘔吐、呼吸障礙、皮膚炎沸點:82.3℃閃火點:11.7℃蒸氣壓：33mmHg警告訊息：－高度易燃－刺激眼睛、皮膚、呼吸系統－長期吸入有害危害防範措施：－置於陰涼且通風良好處，緊蓋容器－遠離火源，容器接地－配戴護目鏡、口罩、手套用途:清潔Bakeout機內有Oring的部份急救：－用清水沖洗眼睛。－吞食先洗胃，再給予生理食鹽水洗滌。危害成

5、分:乙二醇HOCH2CH2OHCASNO.:107-21-1UN危害性分類:9其他物質危害症狀:刺激感、呼吸衰竭、心血管衰竭沸點:198℃閃火點:111℃蒸氣壓：0.05mmHg警告訊息：－刺激眼睛、皮膚－刺激呼吸系統－在體內累積過量會有危險危害防範措施：－配戴護目鏡、口罩、手套－避免長期暴露用途：－加入０ºＣ水中可降低水的凝固點，防止水凝固結冰—又名抗凍劑乙二醇EthyleneGlycolEG甲醇Methanol危害成分:甲醇CASNO.:67-56-1UN1230危害性分類:易燃性液體危害症狀:咳嗽、頭痛、暈眩/昏

6、迷、虛弱/困倦、噁心/嘔吐/酒醉、視力模糊/失明、呼吸急促、紅斑/皮膚炎、腎臟及心臟損害。沸點:64.5℃閃火點:12℃蒸氣壓：100mmHg警告訊息：－高度易燃－刺激眼睛、皮膚、呼吸系統－長期吸入有害危害防範措施：－置於陰涼且通風良好處，緊蓋容器－遠離火源，容器接地－配戴護目鏡、口罩、手套，避免長期暴露用途:－清潔Bakeout機內腔體部份急救：－用清水沖洗眼睛、皮膚污染部位用肥皂加清水、沖、送醫。－每小時檢查CO2結能力或尿液中酸價－吞食給予4%碳酸氫鈉水溶液洗胃磷酸PhosphoricAcidH3PO485~87

7、%危害成分:磷酸H3PO4CASNO.:7664-38-2UN1805危害性分類:腐蝕性物質危害症狀:嚴重腐蝕、急性肺炎、循環系統失調、昏迷、失明沸點:158℃閃火點:不燃蒸氣壓：無警告訊息：－會灼傷眼睛及皮膚－曝露24小時會有無法復原的損害危害防範措施：－置於通風良好處，緊蓋容器－配戴護目鏡、口罩、手套－儲存容器採耐腐材料急救：－立刻用清水沖洗眼睛。－皮膚污染部位用肥皂加清水沖洗。－吞食以洗胃以避免消化道穿孔。氨水AmmoniumHydroxide危害成分:氨水NH4OHCASNO.:1336-21-6危害性分類:腐

8、蝕性物質危害症狀:刺激感、灼傷、角膜潰爛、胃炎、嘔吐沸點:27℃閃火點:不可燃警告訊息：－腐蝕性－刺激眼睛、皮膚、呼吸系統－長期吸入有害危害防範措施：－置於通風良好處，緊蓋容器－配戴護目鏡、口罩、手套－儲存容器採耐腐材料雙氧水Hydrogenperoxide危害成分:過氧化氫H2O2CASNO.:07722-84-1危害性分類:氧