ASML_2500-10步进光刻机作业指导书

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1、ASML2500/10步进光刻机作业指导书1.12.12.22.3卫生清洁每日用无水乙醇、每日用无水乙醇、每周用无水乙醇、每周用无水乙醇、每周用无水乙醇、每周用无水乙醇、开机气体先打开真空阀门，再开启压缩空气阀门，最后打开氮气阀门。电源打开控制柜电源ON按钮，打开操作控制单元（OCU）打开电脑显示屏幕的电源无尘布清洁桌面、片架。无尘布清洁机台表面。无尘布清洁大理石平台。无尘布清洁升降台。无尘布清洁传送带及传送平台。无尘布清洁予对准平台。然后按一下控制柜的RESET按钮。的电源SYSTEMON按钮。（电脑显示屏幕左下脚）。打开打印机电源（打印机右侧）。制定:审核:批准:2.43排

2、风及气体压力3.1每个班次检查汞灯的排风是否接好3.2每个班次检查氮气压力值及真空表规值真空：^28inHg氮气:65138psi压缩空气:90—-138psi系统登陆待电脑屏幕显示如下界面1:Date：xx/xx/xx（月/日/年）Time：xx/xx（小时/分钟）Confirm：Y界面1在以上屏幕中输入相应的日期、时间，然后在确认栏（Confirm）输入进行确认。待电脑屏幕显示如下界面2：Username：xxxPassword：xxxxxxxx界面2输入用户名、用户密码后，按回车键（Enter）进行登陆。电脑屏幕进入如下的界面3：0Logout（退出登陆）界面31Star

3、tShutdown（启动/关闭机器）2Startbatch（开始生产）版次：1.2日期：2006.11.053.4在界面3中选择1,进入如下界面4：界面40Exit1Faststartup(Lampswitcheson)2Fullstartup(Lampswitcheson)3shutdown(Lampremainson)shutdown(Lampswitchesoff)（快速启动，初始化未被初始化的子系统）（初始化所有的子系统）（关闭机器，汞灯不关闭）（关闭机器，并且关闭汞灯）5systemshutdown（关闭机器，停止所有的工作任务，关闭系统）5在界面3中选择2,然后按e

4、nter键，进入如下界面5：1ExchangeReticle（交换掩模版）界面52ProcessProductionBatch（工艺产品生产）3ProcessTestBatch（工艺测试生产）4RemoveWafers（硅片移植）5ViewBatchReport（生产报告浏览）6DeleteBatchReport（删除生产报告）7ListBatchReports（显示生产告报）8CopyBatchReporttoFloppyDisk（拷贝生产报告到软盘）掩模版的装载1做到“六个一致”：硅片操作基本要求的“四个一致”，并且核对工作版与随工单标明的品种、工序、版次一致；核对光刻版品

5、种版次与版标签一致。操作人员要在聚光灯下检查光刻版，要求：版膜尽量无损伤，否则要登记报告；版面无颗粒沾污，否则使用氮气枪对版上沾污颗粒（无膜的那面）进行吹扫。①2装载掩模版时，动作要符合规范，小心、轻、缓。将待用的掩模版放入SMIFBOX版盒中，予对准标记（pre-mark）朝外，掩模版銘面朝下。然后将版盒放入指定的位置，SMIFBOX字朝向外面（版盒金属面朝外）。3平界面5中输入1,选择装载掩模版，进入如下界面6：FreeReticlebox：（释放掩模版盒）界面6LatchReticlebox：（锁定掩模版盒）4在LatchReticlebox：光标处输入Y,机器自动完成掩

6、模版ID的读取。5机器读取完掩模版的ID后，在confirm光标处，按下Y进行确认。曝光硅片1程序名、曝光层序号、曝光层ID的选择：1.1将待曝光的硅片用理片机理好、倒片机倒好后，放入进片升降台上，出片升降台上放入空花篮。1.2在界面5中选择2ProcessProductionBatch。电脑显示屏幕进入界面7：Source：Jobname：界面7Layernumber:ID:5.1.3在Source中选择输入F（floppy）或H（harddisk）。一般情况下，所用的程序都是存储在软盘中，故而选择F。5.1.4在Jobname处输入相应的文件名。如SG03-2-2,注意区分

7、大小写（一般为大写）。5.1.5在Layernumber处输入曝光层序号。如7。5.1.6在ID处输入曝光层的ID。如7。5.2界面7填写完毕后，回车键入如下界面8：Source:FJobname：SG03-2-2界面8Layernumber：7ID:7Typeofbatch：PBatchReport:NBatchname：Comment：Comment：Comment：Batchcontrol：WNumber：25FirstWaferNo.:1Action：5.2.1在Batchcontr