可热弯低辐射膜系的设计与研究

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1、Doors&Windows门窗专栏门窗专栏可热弯低辐射膜系的设计与研究施玉安上海北玻镀膜技术工业有限公司摘要：本文采用先进的中频磁控溅射技术及合理的工艺配置制备了可热弯低辐射薄膜，对Low-E膜系结构和制备工艺进行了研究，通过生产试验和检测，找到最佳阻挡层工艺参数。以上研究在连续生产线设备上进行，与生产要求的条件完全一致，并实现了商业化生产。研究表明：阻挡层TiOx薄膜的氧气流量是影响整个膜系性能的关键因素，适当的分压可以有效提高膜系可加工性。本文研究方法制备的薄膜可经受700℃的热弯和夹胶处理，达到了预期结果，用分光光度计对镀膜夹层

2、玻璃进行测试：可见光区（380nm~780nm）的透过率为71%，反射率为15%；太阳能（380nm~2500nm）直接透过率为48%。关键词：低辐射薄膜；中频磁控溅射；可热弯Abstract：Heatbendablelowemissivity(Low-E)multi-layeredfilmshavebeensuccessfullyproducedbyadvancedmediumfrequency(MF)magnetronsputteringtechnologyandreasonableprocessconfiguration.The

3、filmswerestudiedinthestructureoffilmstackandpreparationprocessonacontinuousproductionline.Throughproductivetrialandtest,optimumprocessparametershavebeenobtainedandrealizedtocommercialproduction.TheresultsshowthatthecontrolofO2flowofTiOxbarrierlayerwasextremelyimportantf

4、ortheperformanceofLow-Efilmstack;thesetofthepartialpressurewascriticalforimprovingtheprocessabilityofthefilmstack.Ithasreachedthedesiredresultthatthelow-Efilmpreparedinthisresearchcanbeheatbendedandlaminatedunder700℃.TheopticalpropertiesofLow-Elaminatedglassweretestedby

5、thespectrophotometer:visiblelight(380nm~780nm)transmittance70%,visiblelightreflectance15%;solar(380nm~2500nm)directtransmittance48%.Keywords：Low-Efilms,MFmagnetronsputtering,heatbendable1引言陶瓷旋转靶。工作气压保持在0.3Pa~0.75Pa之间，Zn2SnO4与玻璃是建筑物和汽车的重要组成部分，承担着采光、开阔ZnO:Sn层利用中频交流磁控溅射制备，

6、氩氧比为1:2.6，TiOx层视野、装饰等功能。但是，普通玻璃的可见光透过率高，红外也利用中频交流磁控溅射制备，通入微量氧气，Ag层利用直流反射率低，大部分太阳能辐射都可以通过玻璃进入到室内，从磁控溅射制备。采用面电阻仪和分光光度计分别对薄膜的导而加热物体，被加热物体的能量又会以辐射形式通过玻璃而电性能和光学性能进行检测。散失。随着生活质量的不断提高，人们对玻璃的节能性要求进口室缓冲室传送室溅射室传送室缓冲室出口室越来越高，低辐射（Lowemissivity,Low-E）薄膜由于具有高可见光透过率和高红外线反射率等优异的节能效果[1]

7、，现已广泛应用在建筑业、汽车制造业和军用器件上，如幕墙玻璃、汽车挡风玻璃等。本文提出了一种可热弯的单银低辐射镀膜玻璃，采用磁控溅射的方法，结合中频交流与直流技术制备了该低辐射薄图1镀膜玻璃磁控溅射生产线结构示意图膜，并对膜系结构、制备工艺和光学性能进行了研究。3膜系结构的设计2生产工艺3.1金属层试验采用上海北玻镀膜技术工业有限公司自行研发的水金属功能层在多层低辐射体系中起着反射红外线的重要平连续式镀膜玻璃磁控溅射生产线，生产线结构如图1所示。作用。一般情况下，金、银、铜、铝等金属元素都可作为该层膜该生产线包括5个溅射模块，前4个模块

8、均配置3个阴极井位，[2]的材料。但是，与其他金属相比，在相同厚度下，Ag膜拥有更第5个模块配置4个阴极井位，保证所有样品在一个真空周高的红外反射率和较低的可见光吸收率[3]，同时，Ag又具有传期内完成制备，无需换靶或者