MAU DC FFU净化空调系统简介

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1、建材世界2012年第33卷第2期MAU+DC+FFU净化空调系统简介胡佳佳(广东华南建筑设计院有限公司，东莞523000)摘要：该文简要介绍电子行业洁净室净化空调系统的特点，针对目前电子行业常采用的MAU+EC+FFU净化空调系统，通过设计实例对该系统的空气处理过程进行分析与计算。关键词：电子行业；洁净室；MAu+Dc+FFu；分析与计算IntroductiontoMAU+DC+FFUandPurificationofAirConditioningSystemHUJiajia(GuangdongSouthChinaInstituteofArchitectu

2、ralDesignCo，Ltd，Dongguan523000，China)Abstract：Thispaperintroducesthecharacteristiesofpurificationofairconditioningsysteminthepurificationroomofelectronicsindustry，discussestheair-handlingprocessanalysisandcalculationbydesignexampleforMAU+IX；十FFUandpurificationofairconditioningsyst

3、emintheelectronicsindustry．Keywords：electronicsindustry；purificationroom；MAU+DC％FFU；analysisandcalculation1电子行业洁净室净化空调系统的特点相比舒适性空调系统，电子行业洁净室净化空调系统具有以下明显不同的特点。1．1送风量大对普通办公楼与电子行业洁净厂房的风量表1普通办公楼与电子行业洁净厂房的风量比较m3／(m2·h)做比较，两者大致数值见表1。电子行业洁净室内工艺设备有一定的j二艺排风量，而洁净室必须要保持恒定的正压，才能防止邻室不同级别的卒气对它产

4、生干扰。为了保持洁净室内正压和满足卫生条件，必须补充大量新风；为了保证高洁净度，洁净室应有较高的换气次数。1．2空调负荷大普通办公楼的单位建筑面积的冷负荷在150w／m2左右，而电子行业洁净室的冷负荷可能达到40。～1000W／m2。从负荷因素来看：电子行业洁净室的空调能耗中工艺没备负荷、表2广东某万级洁净室冷负荷的成分组成新风负荷为主体，一般均占90％，表2为广东某万级洁净室(此次案例)冷负荷的成分组成。1．3气流组织方式特殊洁净室气流组织力式主要有单向流(层流)和非单向流(乱流)两种方式。洁净室气流组织方式和送风量(换气次数)可按我国国家标准GB500

5、73--200l所规定的执行，一般IS01—5(百级及以上)为垂直或水平单向流，IS06—9(百级以下)为非单向流(乱流)。收稿日期：20111223．作者简介：胡佳佳(1985)，工程师．E—mail：jiancaisj@ctiec．net137建材世界2012年第33卷第2期l-4控制精度高电子产品的制造工艺对温湿度的变化极为敏感，所以洁净室内的空气参数波动要有很高的控制精度，洁净空调系统目前普遍采用DDC自控系统。2MAU+DC+FFU净化空调系统简介MAu+DC+FFU净化空调系统即是组合式新风机组(Make-upAirUnit)+干盘管(DryC

6、oil)+风机过滤单元(FanFilterUnit)系统，其工作原理如图1所示。该系统中室外新风组合式新风机．组(MAU)初中效过滤(G4／F8)、热湿处理后送入顶棚，由MAU调节室内环境湿度。干盘管(DC)主要消除室内显热来控制室内温度；循环回风从回风墙到顶棚时经过干盘管除去显热，由于干盘管供回水温度为13～18℃，换热器表面温度高于回风的露点温度，运行时换热器表面没有冷凝水析出。FFU负责室内的洁净度，安装在顶棚龙骨天花上，经过MAU处理的室外新风和经过DC处理后的回风由FFU风机加压后经过HEPA(HighEfficiencyParticulateA

7、irFilter高效空气过滤器)或ULPA(UltraLowPenetrationAirFilter超高效空气过滤器)过滤送人室内。HEPA处理对象为粒径>o．5扯m尘粒，效率范围为>99．97％(o．3pm的粒子效率)，适用于普通5级(百级)洁净室的末级过滤器；ULPA处理对象为粒径>o．1”m尘粒，效率范围为>99．9999％(o．1肛m的粒子效率)，适用于0．1肛m(10级)或FSl级洁净室的末级过滤器。．}!I：同半平手节#书奇月内图1MAU+DC+FFU净化空调系统工作腺理图MAU+DC+FFU净化空调系统与传统的MAU+AHU+HEPA系统相比

8、有以下优点：1)系统非常灵活，可随时调整，因洁净室的壁板都以天花板