电子行业干盘管一ffu洁净空调系统

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1、维普资讯http://www.cqvip.com第24巷第1期建筑热能通风空调、101．24No．12005年2月BuildingEnergy&EnvironmentFeb．2005．64~68文章编号：1003—0344(2005)01—064—4电子行业干盘管一FFU洁净空调系统张昌(武汉科技学院城市建设学院)摘要：本文闸述了电子行业洁净室空调的特点，介绍了H前电子行业常采用的干盘管--FFU洁净空调系统并对该系统的空气处理过程进行了分析。分析计算表明，由于电子行业洁净室空调冷负荷巨大，可能导致干盘管一FFU洁净空调系统的换气次数也很大，甚至超过按室内允许含尘浓

2、度计算得出的换气次数。针对十盘管一FFu洁净空调系统的特殊性，本文提出了工程设计的方法和步骤，并介绍了工程设计的有关参数。本文归纳的设计方法和步骤叮应用于实际T程设计中。关键词：电子行业洁净室干盘管一FFu设计DryCoilandFFUCleaningAirConditioningSysteminElectronicIndustryZhangChang(SchoolofUrbanConstruction，WuhanUniversityofScienceandEngineering)Abstract：Inthispaper，thecharacteristicofcle

3、aningroomintheelectronicindustrywasexpounded，drycoilandFFUcleaningairconditioningsystemwasintroduced，andairconditioningcoursewasanalyzed．TheresultsshowedthatthehugecoolingloadofcleaningroomwillprobablyresultintheincreasingoftheaircirculationratioofdrycoilandFFUcleaningairconditioningsy

4、stem，orevenmaketheaircirculationratioexceedtheallowableleveldecidedbydustyconcentration．Basedontheanalysis，engineeringdesigningstepsandtheparametersespeciallyfordrycoilandFFUcleaningairconditioningsystemindesigningcleaningroomwereintroduced．Thesedesigningstepscanbeappliedinengineering．

5、Keywords：electronicindustry，cleaningroom，drycoil，FFU，design1电子行业洁净室的特点艺对温、湿度变化极为敏感，所以在洁净室里的工艺区域的空气参数须严格控制在极小的范围内：洁净空电子行业洁净室空调除了具有高效的净化空气调系统目前普遍采用了控制灵活、性能可靠的DDC能力外，还有以下几点与舒适性空调明显不同：自控系统，当室内空气参数达不到设计要求时，可通气流分需要很均匀洁净空调室为维持室内过DDC控制系统来自动调节各个阀门开大或关小：高洁净度，必须带走室内所产生的微尘粒子，因此对这样就不至于使房间温、湿度波动太大，影

6、响产品质气流组织有严格的要求：对于l级~1000级的洁净室量和成品率目前采用上顶棚送风，下地板回风的垂直活塞流气流新风量大，换气次数高：在电子产品制造过程组织：对于10000级～100000级的洁净室常采用卜顶中需使用有毒的化学品，将产生有毒的废气，必须排棚送风，下侧回风口回风的非单向流形式出室外：为保持洁净室内正压和满足卫生条件．必须恒温恒湿控制精度高：由于电子产品的制造T补充大量新风：为了保持高洁净度，洁净室应有较高收稿日期：20046—25作者简历：张昌(1956～)，男，大学，敦授，教研室任；武汉科技学院建筑环境j设备教研室(430073)：027．8718

7、1219E—mail：czhang@public．whhb．cn维普资讯http://www.cqvip.com第24卷第1期张昌：电子行业干盘管一FFu洁净空调系统的换气次数，同时室内的空气流速也不能太大，一般新风皿凋机组在0、4m／s以下④洁净室空倜冷负荷大且湿负荷很小，热湿比值接近+∞=电子行业的洁净室一般都置于建筑物的中部，虽然通过罔护结构的得热量较小，但洁净室内艺设备的发热量相当大，即全年需要排除室内余热量：有资料显示，6英寸晶厂的单位面积耗电量约为1．35kW／m，而8英寸晶圆厂的单位面积耗电量则达到了l、9kW／mI：洁净室内一般无散湿源，T作人员