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1、ESD基礎知識(基礎人力培訓)审核：制作：日期：目錄靜電名詞朮語靜電產生原理靜電產生形式靜電影響因數靜電電子工業危害靜電防護措施廠內靜電要求靜電標識靜電名詞朮語靜電﹕靜電是物體表面過剩或不足的靜止電荷.因物體表面損失或得到電子導致電荷不平衡引起.電荷﹕正電荷(絲綢與玻璃棒摩擦﹐玻璃棒所帶電荷）負電荷(毛皮與塑膠棒摩擦﹐塑膠棒所帶電荷）帶電體﹕帶正電荷或負電荷的物體.電量﹕衡量物體表面所帶電荷的多少.表面電阻﹕在給定一定的通電時間后﹐施加于材料表面上標准電極間直流電壓對于電極間電流的比值.體積電阻﹕在給定一定的通電時間后﹐施加于材料相
2、對兩個面上相接觸的兩各引入電極間的直流電壓對于該兩電極間的電流的比值.導電型材料﹕具有表面電阻或體積電阻小于1*106Ω的材料.消散型材料﹕具有表面電阻或體積電阻在1*106Ω~1*109Ω的材料.絕緣型材料﹕具有表面電阻或體積電阻大于1*1012Ω的材料.靜電放電﹕由不同靜電電勢的物體因直接接觸或因靜電場的感應而導致物體間電荷的移動;靜電放電的快速電荷移動會產生很大的瞬間電流.強的電場和電磁輻射等,它們如通過或接近電子零件時,便會加以破壞電子零件.實例：靜電產生原理物質是由分子構成﹐分子由原子構成﹔原子由原子核和電子構成﹔原子核由
3、帶正電的質子和不帶電的中子構成.電子帶負電.電子質子中子電子圍繞原子核運動,一有外力即脫離軌道,離開原來的原子而侵入其他的原子﹐致使該原子失去電子而帶正電﹐被侵入的原子因得到電子而負電.外力作用靜電產生形式1.接触起電：當兩個不同的物體相互接触時就會使得其中一個物體失去一些電荷带正电,而另一个体得到一些剩余电子的物体而带负电。若在分离的过程中电荷难以中和，电荷就会积累使物体带上静电。2.感應起電:当带電物体接近不带電物体时会在不带電的导体的两端分别感应出负電和正電ABC3.感應起電:热電和压電起電、喷射起電等靜電放電形式1.人體型式
4、:當人體活動時身體和衣服之間摩擦產生靜電,若不及時將靜電釋放給大地,而直接把靜電轉移給ESD敏感裝置而造成損壞.2.機器模式：機器上某帶電部位向ESD敏感元件放電.3.带电器件模式:带电器件向另一导体放电(人,其它器件)4.場感應型式:接地的ESD敏感元件处于静电场中靜電影響因數1.靜電源:當人體活動時身體和衣服之間摩擦產生靜電,若不及時將靜電釋放給大地,而直接把靜電轉移給ESD敏感裝置而造成損壞.2.濕度:當環境濕度越大﹐靜電壓值越小.靜電對電子工業危害1.靜電吸附靜電吸附使IC等半導體制程良率受到影響,同時為了防止靜電吸工廠對於
5、制程空氣的潔淨投入極大成本.2.靜電放電引起的器件擊穿.硬擊穿:一次性造成芯片介質擊穿,燒毀等永久性失效.軟擊穿:造成器件的性能劣化或參數指標下降而成為隱患.硬擊穿圖示軟擊穿圖示3.靜電感應靜電感應之靜電源使半導體蕊線,工具,包裝容器等產生較高靜電壓,會對半導體蕊片介質放電,造成芯片內部硬擊穿或軟擊穿.4.靜電放電時產生的電磁脈沖靜電放電時產生的電磁脈沖可使計算機產生誤動作.靜電防護措施1.靜電泄露或耗散靜電泄露﹕使用防靜電型材料.靜電耗散﹕接地（用導電型材料與大地連接﹐將多余靜電荷傳導到大地）.防靜電型材料特點﹕產生靜電少﹐靜電可
6、以通過接地消除﹐消除速度適中導型材料特點﹕產生靜電少﹐靜電可以通過接地消除﹐消除速度很快.2.靜電中和將設備產生正負離子與靜電源上的正負電荷中和,從而消除靜電源上積的靜電.帶負電荷電板3.靜電屏蔽用高導電性材料做成屏蔽層,使ESD敏感裝置不受外界靜電場損壞.4.環境增濕給環境增加濕度﹐降低靜電壓.廠內靜電防護要求1.人員著裝要求A.靜電衣拉鏈至少拉至靜電衣口袋邊緣﹐內部衣服不可外漏﹔著靜電鞋且不可穿絲襪.B.女性员工长发:前额不露刘海,颈后及侧面头发须装入静电帽内.长发额头及侧面颈后C.男性员工及短发女性員工﹕戴帽后帽边离耳根处不多
7、于三厘米.風險之案例：內部衣服露出防靜電衣外衣袖卷起拉鏈未拉到衣兜上方長頭發露出防靜電帽2.人員防護要求A.進入生產區域的人員需靜電衣、靜電鞋、佩戴靜電手環.B.靜電環、靜電鞋每日進入生產區域前需進行測試.C.静电环佩戴时金屬板需與皮肤紧密接触且另端與人員接地線（黃綠色）連接.金屬板與皮膚緊密接觸3.作業防護要求A.作業時人員需佩戴靜電環、靜電手套或手指套﹔靜電手套需扎于靜電衣內﹔不可在無任何靜電防護措施下直接拿取成品板或靜電敏感元件.NGOKB.貼裝零件或整腳不可用金屬鑷子﹐需用防靜電鑷子.C.用於搬運/保管ESD敏感元件或成品的
8、運輸工具（台車）需具備靜電防護功能（需加接地鏈﹐接地鏈需與靜電地板接觸）.NGOK金属镊子防静电镊子NGOK無靜電接地鏈靜電接地鏈與靜電地板接觸D.ESD防護區域工作臺面必須具備防靜電功能裝防靜電膠墊﹐且靜電接地扣接頭必須與人員接地線
