ESD 培训教材

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1、2008年5月ESD培训教材for内存内存质控处一、静电的概念二、静电危害三、ESD的防护四、内存ESD防护注意事项一、静电的概念1.1、特殊定义静电(Electrostatic,Staticelectricity)静电就是对于观测者相对静止的电荷。静电是一种电能,它保留在物体表面,是正电荷与负电荷在局部范围内失去平衡的结果静电放电（ESD：ElectrostaticDischarge）处于不同静电电位的两个物体间的静电电荷的转移就是静电放电。静电释放敏感产品(ESDS：ElectrostaticDischargeSensitiveDevices)对静电释

2、放产生的损害敏感的零部件或组件。防静电保护区(EPA：ElectrostaticProtectionArea)由防静电器材建造和装配起来，能防止静电释放产生的损害并作出明显标记的供经过培训的人员操作ESDS产品的区域。接地(Grounding)电气连接到能供给或接受大量电荷的物体(常指大地)接地点(EBP:EarthBoundingPoint)1.2、概念：静电就是物体表面过剩或不足的相对静止电荷。静电是一种电能，它留在物体的表面；静电是正、负电荷在局部范围内失去平衡的结果，是通过电子转移而形成的。不平衡的电荷就会产生一个可衡量的电场，称为静电场，它能影响

3、一定距离内的其它物体，使之感应带电。静电现象是电荷的产生和消失的过程中产生的电现象的总称1.3、产生原理：电子围绕原子核运动，一有外力即脱离轨道，离开原来的原子而侵入其他的原子，造成两个原子都有过剩的电荷，即为静电荷。++++++++失去电子后带（+）电子得到电子后带（-）电子物质A物质B-所有物体是由带（+）电电子和带（-）电电子构成.-静电发生在导体或半导体等所有物体上.1.4常见的放电现象雷电有机玻璃和棉布摩擦后产生静电、能吸住小纸屑干燥的冬天，脱下合成纤维衣服时发生噼啪声，在夜间可见到火花1.5静电产生的方式静电的产生1、接触起电:当两个不同的物体

4、相互接触时就会使其中一个物体失去部分电荷带上正电，另一个物体得到电荷带上负电。如果在分离的过程中电荷难以中和，电荷就会积累使物体带上静电。剥离塑料薄膜是一种典型的接触分离起电，摩擦起电是接触后又分离，属接触分离起电的一种。2、感应起电：感应起电一般是对导体来说的。处于静电场中的物体，由于静电感应使得导体上的电荷重新分布，从而使物体的电位发生变化。1、摩擦起电2、接触分离起电3、剥离起电1、传导起电2、感应起电3、热电、光电、压电等1.6静电的主要特点1、静电具有高电位、低电量、小电流以及作用时间短的特点。2、受环境条件，特别是湿度的影响比较大，静电测量时复

5、现性差，瞬态现象多。3、静电材料按电阻率划分为静电导体、静电耗散体、静电绝缘体，与“动”电（流动的电流）情况下按电阻率划分的导体、半导体、绝缘体完全不同。1.7静电的效应物体带静电后主要会产生以下效应：1.力学效应：包括静电引力、静电排斥力。2.感应效应：当导体或电介质置于静电场中，会在其上感应出正或负的静电荷。3.放电效应：当垂直于物体表面的静电电位大约一千多伏，达到某种空气击穿阈值时，就可向空气放电；也可出现高电位物体向周围低电位物体发生接触或非接触式放电，使带电体电荷部分或全部消失。静电对电子工业的主要危害吸附尘埃静电放电静电感应当物体产生静电后在其

6、周围形成电场，处于静电场中的任何其它带电体都会受到电场力的排斥或吸引静电放电可使芯片绝缘层被击穿、芯线熔断、漏电流增大加速老化、电性能参数改变等等。当元器件置于静电场中感应带电后，在元器件或芯片氧化膜及结构金属突出部位因尖端效应可感应出较强电场，因各点对地电位不同，当电场强度超过某结构点绝缘强度阈值时，就可导致介质之间静电击穿，使元器件失效二、静电的危害人体放电模型Table1ESDSComponentSensitivityClassification-HumanBodyModel(ANSI/ESDSTM5.1-2001)ClassVoltageRang

7、eClass0<250voltsClass1A250voltsto<500voltsClass1B500voltsto<1,000voltsClass1C1000voltsto<2,000voltsClass22000voltsto<4,000voltsClass3A4000voltsto<8000voltsClass3B>=8000volts机器模型Table2ESDSComponentSensitivityClassification-MachineModel(ANSI/ESDSTM5.2-1999)ClassVoltageRangeClassM1

8、<100voltsClassM2100voltsto<200vol