perc行业基础信息

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1、PERC电池行业信息简介光伏发电平价上网是公司持续追求的目标,度电成本成为衡量平价上网的关键因素。晶硅电池转换效率每提升1%,电站系统成木降低4-5%o投资回报率提升接近2%。转换效率的逐步提升,将有效对冲可能出现的电价补贴下行。随着,太阳能开发利用规模快速扩大,技术进步和产业升级加速,光伏产品单价逐渐降低,光伏平价上网可期。领跑者推动了高效PERC组件的应用,为了同时实现“高效、低价”,最流行的高效技术几乎都得到了应用:PERC、双面、N型、半片、MBB、MWT、黑硅与常规电池相比,PERC电池背面增加了氧化铝AIOx,氧化硅SiOx和氮化硅SiNx等钝化叠层,因此电池的表面复合速率

2、大大的降低,电池的开压VOC可以提升15-20mVo而且,由于背面钝化层可以增加光学内反射作用,因此电池的电流ISC也会有显著的提升。PERC电池最高效率与量产效率2450%24.00%23.50%23.00%22.50%2200%21.50%匮ASIACHEM>lrwsoiar♦22.13%JltRB♦21.40%2100%JinKO♦23.95%JinKO•♦2345%8啤羔・2326%■吧IthKda.2273%JinKO♦2261%'22门%LONGIHQ♦2360%LONOiHB215%210%205%200%195%190%185%180%175%2013201420152

3、016201720182019图1单品PERC太阳电帧率纪录氧化铝设备根据其生长原理不同有两种,--种是以原子层沉积技术ALD生长氧化铝膜;(2)采用PECVD(等离子体增强化学气相沉积)方式获得氧化铝膜;与常规电池相比,PERC电池背面增加了氧化铝AIOx,氧化硅SiOx和氮化硅SiNx等钝化叠层,因此电池的表面复合速率大大的降低,电池的开压VOC可以提升15-20mVo而且,由于背面钝化层可以增加光学内反射作用,因此电池的电流ISC也会有显著的提升。其中PECVD型以梅耶I専格的设备综合性能最佳。OverviewPECVDSystemsforAluminumOxideDeposit

4、ionICompanyPECVD-

5、ispartofplasmagenecafingetectrodeVfeocalXX//X4.800*9Z%DrectPlasmaLF-Plas-maCamerw4hispartofgeneratingetedrodeVerbalXX//X4,20097%厂ALD■・・XIRX1F二1V91He—0UR■片*1式ttl怜ALDQU诫K;«t>t小口传*KM水"✓✓✓X»3.«O0•O%1师XALDBlHi<•參个Bl并联込列水*✓✓✓XXxeocr・8«rMl1:tfMjC也他ALD加H曲体交•讣入肢M肿体:從化利代Ifa常的水•气嘆aXXXXX4.20011钮UKM式tUBALDAH

6、:PECVD的优a;w>;參个不QUEKM✓X✓XX3.500MXALD氯化铝沉积设备一览氧化铝沉积方法对比PECVDAID方法巳笛入■产瞬工艺中的■定性支持二合一■体化质.光伏产业TMA在-觀啣临/SiN)(勰aim帧職訓就方式便用如吉同低✓X/✓Z/✓/15-20nm伽✓✓✓✓Z✓Z✓✓✓✓tmaO9-lOmg2-5mgX✓X/*✓//✓✓低吉f5]XX0**mMeyerBurger/Centrotherm/Semco/1UW/AMAWAWiWAWAWASSolayTec/Levitech/NCD/5?®^VAV^WAVVWiV/AW/MarketSharesofDepositio

7、nTechnologiesandMaterials■PECVDAIOx■ALDAlOxPECVDSiOx两种类型设备的比例,预计2018年底PECVD类型的占到80%以上。(%)单晶PERC效率提升在PERCH艺上只需增加激光掺杂SE,SE激光设备冇高精度晶圆对准能力,满足PSG激光掺杂的精度要求。高倍CCD相机在背光照明下根据晶圆边缘为晶圆精确定位。在激光掺杂工艺中,利用激光的热效应,熔融硅片表层,覆盖在发射极顶部的磷硅玻璃(PSG)中的磷原

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