光电制程、半导体制程设备供应链 与 技术研发地图

《光电制程、半导体制程设备供应链 与 技术研发地图》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、光電製程、半導體製程設備供應鏈與技術研發地圖1一、光電製程:1.TFT-Array段(1)基板受入前洗淨線PEP1DenseCleaner廣運洗淨設備、成膜前洗線Pre-DepoCleaner帆宣亞智勤友濺鍍機零件防著板Sputterparts漢泰世禾技鼎Photo展研AI蝕刻機、鋁蝕刻線AlEtcher帆宣亞智TotalPitch旭東CDOverlay量測機CDOverlay/CDOLMeasurement晶彩去光阻機、剝離線Stripper帆宣勤友乾式蝕刻機DryEtcher帆宣帆宣(擬開發)資騰列陣測試

2、ArrayTesteParticleCounter旭東勤友技鼎回火機AnnealOven帆宣志聖能麒資騰紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口21.TFT-Array段(2)CVD雷射修補機LaserRepair均豪、沛鑫晶彩、大銀旭東、揚朋雷射CVD修補機LaserCVD沛鑫傳輸機/取片/排片/排序機Changer/Exchanger七憶、帆宣均豪、盟立旭東反射率量測機Reflectometer晶彩EllipsometerSurfaceProfiler面板阻抗量測機SheetResist/SheetResi

3、stance晶彩TEG檢測機VisionInspection旭東大銀揚朋政美巨量檢測機/巨觀檢查機Macro/Micro均豪、高僑大銀、宏瀨廣運、資騰光學檢測機/視覺檢測/自動檢查機AOI晶彩、由田大銀、資騰紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口31.TFT-Array段(3)-周邊設備或其他BC/EAP羽冠堆疊式解包設備DenseUnpack陽程巨觀自動光學檢測系統DigitalMacroAOISystem由田MES羽冠(擬開發)顯影設備Developer亞智(擬開發)常壓電漿清潔設備APPlasmaCle

4、aner馗鼎輸送帶Conveyor帆宣良率管理系統SUNSSystem晶彩拍照機Review晶彩自動傳送系統AutomaticTransferSystem盟立真空chamber銲接Welding漢泰(擬開發)濺鍍機零件,乾蝕刻機零件,化學層積零件表面處理Partscleaningsurfacetreatment漢泰紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口離子雲植入機IonShowerDopingSystem帆宣41.TFT-Array段(4)-零組件供應滾珠螺桿BallScrew上銀大銀防著板，銅背板Mask,

5、BackingPlate(Copper)千附鋁背板BackingPlate(forCVD)千附加熱器Susceptor千附電極板及網板Electrode&Grid千附線性馬達LinearMotor大銀線性滑軌LinearGuideway大銀擴散板Diffuser千附EUV172光源EUVExcimerLamp資騰BrushlessMotor&ServoMotor&G.Motor宙揚紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口52.TFT-Cell-FEOL段(1)PI前洗淨設備Pre-PICleaner亞智億尚勤友

6、PI轉寫機PI預烤爐/PI烤爐PiPre-Cure/PiPostBake志聖能麒PI轉寫後檢查機PIInspectionSystem宏瀨PI烤爐PIMAINCUREOVEN能麒液晶脫泡機L.C.緯瑩億尚框膠脫泡機RubbingMachineRubbing後人工檢查機RubbingInspection陽程迅得(擬開發)Rubbing後洗淨設備亞智億尚勤友C/FAnnealOven志聖能麒框膠塗佈機SealDispenser帆宣帆宣(擬開發)紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口62.TFT-Cell-FEOL段

7、(2)液晶注入機/液晶滴入機LiquidCrystalDispenser帆宣、帆宣(擬開發)晶彩(擬開發)SpacerScatterBallspacer光學檢測機SpacerCounterInspector/CellSpacerAOI晶彩SpacerPrebakeOven能麒CommonPasteDispenser框膠硬烤爐SealMainCureoven志聖能麒霖豐大基板貼合後人工檢查機LCInspection陽程真空貼合機VacuumPanelAligner帆宣(擬開發)UVCure志聖基板貼合精度檢查機

8、旭東帆宣(擬開發)PhotoSpacer高度檢查機PhotoSpacerLevelMete沛鑫、旭東、勤友帆宣、陽程(擬開發)框膠塗佈機SealDispenser帆宣帆宣(擬開發)紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口72.TFT-Cell-FEOL段(3)薄膜光阻塗佈曝光顯影機Developer亞智廣運帆宣紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口82.TFT-Cell-FEOL段(4)-周邊設備或其