半导体清洗设备制程技术与设备市场分析

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1、半导体清洗设备制程技术与设备市场分析（台湾）自•動•化•產•業•技•術•與•市•場•資•訊•專•輯关键词•多槽全自动清洗设备Wetstation•单槽清洗设备Singlebath•单晶圆清洗设备Singlewafer•微粒particle目前在半导体湿式清洗制程中，主要应用项目包含晶圆清洗与湿式蚀刻两项，晶圆(湿式)清洗制程主要是希望藉由化学药品与清洗设备，清除来自周遭环境所附着在晶圆表面的脏污，以达到半导体组件电气特性的要求与可靠度。至于脏污的来源，不外乎设备本身材料产生、现场作业员或制程工程师人体自身与动作的影响、化学材料或制程药剂残留或不纯度的发生，以及制程反应产生物的结果，尤其是制程

2、反应产生物一项，更成为制程污染主要来源，因此如何改善制程中所产生污染，便成为清洗制程中研究主要的课题。过去RCA多槽湿式清洗一直是晶圆清洗的主要技术，不过随着近年来制程与清洗设备的演进，不但在清洗制程中不断产生新的技术，也随着半导体后段封装技术的演进，清洗设备也逐渐进入封装厂的生产线中。以下本文即针对清洗设备与技术作一深入介绍，并分析清洗设备发展的关键机会及未来的发展趋势。晶圆表面所残留脏污的种类非常多，约略可分成微粒、金属离子、有机物与自然氧化物。而这些污染物中，以金属离子对半导体组件的电气特性有相当的影响力，其中尤其是重金属离子所引发的不纯度，将严重影响闸氧化层的临界崩溃电压、起始电压漂

3、移与P-N接合电压，进而造成制程良率的降低。所以，针对制程所使用的化学品与纯水，必须进行严格的纯度控制以有效降低生产过程所产生的污染源。由于集成电路随着制作集积度更高的电路，其化学品、气体与纯水所需的纯度也将越高，为提升化学品的纯度与操作良率，各家厂商无不积极改善循环过滤与回收系统，如FSI公司提出point-of-generation（点产生）与point-of-use（点使用）相结合，比起传统化学瓶的供应方式，有着更佳的纯度。（注：POUCG点再生）在半导体制程中，无论是在去光阻、化学气相沈淀、氧化扩散、晶圆研磨以后等各阶段制程都需反复清洗步骤，而在晶圆清洗部分也概略分为前后段清洗两部分

4、(在晶圆生产处理过程中大致可区分为前段与后段制程，前后段以金属制作蒸镀、溅镀为分界)，在前段制程清洗方面，如Preclean、扩散、氧化层与氮化层的去除、复晶硅蚀刻与去除。后制程段清洗方面，包含金属间介电层与金属蚀刻后之清洗、光阻去除前后的清洗、CMP制程后之清洗等。由于晶圆污染来源除一般微粒(particle)附着于晶圆表面上，并可能是污染物与晶圆表面之间产生连接，包含如多种化学键结，甚至于脏污被氧化层或有机物薄膜所深埋，即使经过多次的物理力洗濯或冲刷，均无法彻底去除此脏污，并有可能产生回污或交互污染。因此，清洗的方法除了物理力或溶解的洗净外，对于晶圆表面施予微量蚀刻(Micro-etch

5、ing)的化学清洗方式(如下表一)，便成了不可或缺的关键技术。半导体清洗设备以清洗方式目前依分类大致可分为：(1)多槽全自动清洗设备(WetStation)；(2)单槽清洗(SingleBath)设备；(3)单晶圆清洗(SingleWafer)设备等几大类。表一　清洗液种类与其使用目的清洗液名称目的1.APM：NH4OH/H2O2/H2O去除微粒、金属离子与轻有机物。2.HPM：HCl/H2O2/H2O去除重金属离子、碱金属离子与金属的氢氧化物。3.DHF：HF/DI去除自然的二氧化硅层、硅玻璃(PSG,BPSG)以及铜以外的金属离子便裸露硅层提供其它化学液作用。4.SPM：H2SO4/H2

6、O2去除重有机物与氧化物。5.FPM：HF/H2O2/H2O去除自然的二氧化硅层。6.BHF：HF/NH4F去除氧化薄膜。7.HotH3PO4氮化硅层之图案制作或去除。資料來源：工研院機械所；工研院IEK(2003/12)一、多槽全自动清洗设备(以下简称WetStation)WetStation架构上由于药液槽和纯水的清洗槽是完全独立的，所以多槽且占地大便成为其主要特征，而药液槽中通常具有温度控制器、流量控制器、液面感知器以及循环系统等。导因于不同药液分置于不同的槽中，且其后必定接有一纯水清洗槽，再加上最后的清洗槽与干燥槽，整个清洗系统不庞大都很难。然而其优点为应用范围较广、产能高且产品技术

7、成熟度高；而其缺点为洁净室占地大、化学品与纯水耗量多、蚀刻均匀度控制不易、晶圆间互污严重、设备机动调整弹性度不高。由于此种清洗方式之设备发展较早，因此产品应用相当成熟，如DNS、TEL、Kaijo、Mattson、SCP、SEZ等厂商皆有推出WetStatation的产品，目前市场的产品仍以日制为主。就目前整体市场来说，全球WetStatation清洗设备市场规模2002年市场规模为6.1亿美元，较2001年