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时间：2019-10-19
《4.3.5 SEM样品制备》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。
1、4.3.5SEM样品制备SEM固体材料样品制备方便，只要样品尺寸适合，就可以直接放到仪器中去观察。样品直径和厚度一般从几毫米至几厘米，视样品的性质和电镜的样品室空间而定。对于绝缘体或导电性差的材料来说，则需要预先在分析表面上蒸镀一层厚度约10～20nm的导电层。否则，在电子束照射到该样品上时，会形成电子堆积，阻挡入射电子束进入和样品内电子射出样品表面。导电层一般是二次电子发射系数比较高的金、银、碳和铝等真空蒸镀层。 在某些情况下扫描电镜也可采用复型样品。SEM样品制备大致步骤：1.从大的样品上确定取样部位；2.根据需要，确定采用切割还
2、是自由断裂得到表界面；3.清洗；4.包埋打磨、刻蚀、喷金处理，
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