A-311带空气轴承的PIglideIS平面扫描仪

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1、A-311带空气轴承的PIglideIS平面扫描仪高性能，紧凑型XY纳米定位系统扫描应用的完美选择或精密定位无尘室兼容行程达200毫米×200毫米负载容量达147牛低外形分辨率达1纳米PIglide参考级XY定位系统带空气轴承的高精度PIglideISXY平面扫描仪采用扁平设计，可用于替代堆叠XY位移平台。高效、紧凑的设计安装空间有限，能够节省机械空间。PIMag®磁力直接驱动三相磁性直接驱动器在动力传动系统中未使用机械零件，其可直接将驱动力传输至运动平台，且无摩擦。驱动器可实现高速度和高加速度。无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任

2、务，因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。这样即使在最低的速度下也能保持平稳的运行，同时，在高速状态下也不会产生振动。避免了控制的非线性行为并且每个位置都很容易控制。驱动力可任意设定。利用来自领先制造商的数字控制器，操作可提供高级控制算法，以改善动态性和误差补偿。附件和可选配件−编码器−PIglide过滤器和空气预处理器−多轴运动控制器和伺服驱动器−机器底座−花岗岩底座板和隔振系统应用领域PIglide定位系统特别适合高精度应用，例如检测系统、激光打标、显微镜或扫描。21.07.201709:40规格A-311.DxxA-311.AxxA-311.Bx

3、xA-311.Cxx单位公差运动和定位行程50×50100×100150×150200×200毫米螺距*20304050微弧最大度偏转角*5101520微弧最大度直线度*±0.25±0.25±0.5±0.5微米最大每10毫米行程的直±10±10±10±10纳米最大线度*平面度*±0.5±0.5±1±1微米最大每10毫米行程的平±10±10±10±10纳米最大面度*XY正交性25252525微弧最大度速度，空载**2222米/秒最大上轴加速度，空载27.527.527.527.5米/平最大**方秒下轴加速度，空载15131110米/平最大**方秒机械特

4、性Z向负载能力***147147147147牛最大移动质量，上轴3333千克移动质量，下轴5.56.57.58.5千克总质量14.518.522.527.5千克导向类型空气轴承空气轴承空气轴承空气轴承驱动特性驱动类型线性电机，无铁线性电机，无铁线性电机，无铁线性电机，无铁芯，三相芯，三相芯，三相芯，三相中间电路电压，有48，标称值48，标称值48，标称值48，标称值伏直效80，最大值80，最大值80，最大值80，最大值流电峰值力85858585牛典型值标称力39393939牛典型值有效力常数12.312.312.312.3牛/安典型值相间电阻3.63

5、.63.63.6欧姆相间电感1.241.241.241.24毫亨相间反电动势10.110.110.110.1伏·秒/最大米布线外部，可移动牵外部，可移动牵外部，可移动牵外部，可移动牵引链引链引链引链21.07.201709:40A-311.xAxA-311.xBxA-311.xCx集成传感器增量线性编码器绝对编码器增量线性编码器传感器信号正弦/余弦，1伏峰峰，BiSS-CA/B正交，TTL20微米信号周期传感器分辨率取决于控制器1纳米50纳米双向重复性取决于控制器±0.05微米±0.05微米##准确性，未补偿A-311.Dxx：±1微米A-311.A

6、xx：±1.5微米A-311.Dxx：±1微米A-311.Axx：±1.5微米A-311.Axx：±1.5微米A-311.Axx：±1.5微米A-311.Bxx：±2微米A-311.Axx：±1.5微米A-311.Bxx：±2微米A-311.Cxx：±2.5微米A-311.Axx：±1.5微米A-311.Cxx：±2.5微米##准确性，带误差补偿±0.5微米±0.5微米±0.5微米A-311##工作压力60至70磅/平方英寸（415至485千帕）耗气量<2SCFM(56SLPM)空气质量清洁（过滤达1.0微米或更佳）ISO8573-1级别1无油-IS

7、O8573-1级别1干燥（-15°C露点）-ISO8573-1级别3材料硬膜铝，带不锈钢紧固件*取决于平台安装表面的平面度。**可能受有效载荷、控制器或驱动器的限制。***假定有效载荷重心位于平台上方50毫米范围以内的中央。平台仅设计用于水平操作。#通过基于控制器的误差补偿，可获得改善的精度。精度值取短时间段，不考虑平台上热漂移的长期影响。##为防止平台损坏，建议将空气压力传感器连接到控制器运动停止输入端。如未有其他规定，所有规格逐轴应用。21.07.201709:40图纸和图片A-311.xxx，尺寸单位为毫米21.07.201709:40订购信息

8、50毫米×50毫米行程A-311.DA1PIglideIS平面扫描仪，空气轴承，行程为50毫米×50毫米,带