DAD321操作规程

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1、AUTOMATICDICINGSAWDAD3*1QuickstartoperationguideEdition:1.00June,15,2000DISCO(DAD301系列)培训内容A．机器基本操作1．机器启动2．系统初始化3．刀片更换及注意事项4．刀片校零及注意事项5．单芯片资料的录入6．增添及消除单芯片资料7．予切割程序8．其它资料B．机器基本维护1．机械部分的讲解2．电器部分的讲解3．移动部分的维护及保养4．机器精度检测ò工作台的平整度òY轴步进的准确性òZ轴升降的重复性DISCODAD321切割机的安装条件ò电源三相交流电，380伏，50/60HZ，4

2、.0KVA.机器必需要接地.ò压缩空气2机器进气埠的压力5～6kgf/cm（0.5Mpa～0.6Mpa）.压缩空气的消耗量约为162升/分钟.机器已配备耐压的软管的尺寸是外径ф15mm，内径ф9mm.并配备此管的管箍.压缩空气的要求：请使用无油型的空压机（油的残留量＜0.1PPM，重量计）.并带有低温（-15˚C或者以下）除湿装备及粉尘过滤装置（过滤器的尺寸≤0.01um）.ò去离子水2去离子水的电阻率＞12MΩcm.水压力≥3kgf/cm（0.29Mpa）.主轴的冷却水流量≥1.5升/分钟,此冷却水可回收再循环利用的.切割的冷却水消耗量≤2.5升/分钟.机器

3、已配备水管的尺寸是外径ф15mm,内径ф9mm.ò排水机器已配备排水管的尺寸是外径ф40mm,内径ф32mm,长度为2M.并配备此管的管箍2个.注机身排水口距地面的高度约为450mm.ò排气3机器须外接抽风设备.抽气量≥1.5M/分钟.机器已配备管道的尺寸内径ф50mm,长度为2M.并配备此管的管箍2个.注机身抽风埠距地面的高度约为1080mm.ò机器的尺寸及重量外观尺寸：500mm（宽）X1050mm（深）X1445mm（高）.机器净重量：500㎏.ò安装的环境温度：20-25˚C,允许±1˚C的偏差.湿度：45%±15%RH.机器间距或者距离墙壁保留500

4、mm以上空间,以便设备的维护和保养.机器的启动及关闭2ò先打开压缩空气的开关，并在机器的仪表盘上确认压力≥5.0kgf/cm。2ò打开去离子水的开关，（压力≥3.0kgf/cm）。ò打开机器背后的电源开关，并将机器前罩板上的启动开关旋转到“ON”的位置。ò机器得电，并在20秒（大约）后，显示器上将出现“DISCO”标记，然后进入主菜单。机器的启动完毕。ò机器的关闭与启动过程相反。应先关闭电源，（将启动开关旋转到“OFF”的位置），如有必要将电源开关关闭；然后关闭去离子水；最后关闭压缩空气。机器操作系统的初始化ò机器的启动完毕，进入主菜单后，机器会提示要系统初始

5、化。ò次时，操作人员按下“SYSINIT”键，机器会进入系统初始化的操作程序自动执行。ò机器的X轴，Y轴，Z轴和θ轴将动作，并停止在各自的原点位置上。机器提示系统初始化完毕。ò操作人员注意观察机器是否正常。如果有异常，请按下机器前罩板上的紧急停止开关（红色）机器整机的电被切断，请检查机器的状况，并消除故障后方可再次开机。新型号产品参数设置ò在“主菜单”下（屏幕右上角显示0.0），按F4键；或者按“参数”快捷键。ò在“参数表”（屏幕右上角显示4.0）中，选中一个你所须要参数号，然后按F3对它进行复制。此后机器显示确认对话框，按“ENTER”键加以确认。ò复制完毕

6、，参数表中增加一个新的参数号，然后将所要的新产品的型号及参数键入新增加的参数号内。尤其是下边的资料：切割的模式：刀片怎样切割，通常设为“Ａ”模式。工件的尺寸：芯片直径（最大为６英寸）及厚度刀具的高度：自工作台算起未切割的深度进给的速度：切割时工作台（Ｘ轴）移动的速度晶粒的尺寸（CH1&CH2）：晶粒的长和宽主轴的转速：刀片旋转的速度，通常设为30Ｋ到40Ｋ(视机器类型的不同而定)。ò键入完毕，请按“ＥＮＴＥＲ”键加以确认。产品参数选择ò在“主菜单”下（屏幕右上角显示0.0），按F4键；或者按“参数”快捷键。ò在“参数表”（屏幕右上角显示4.0）中，选中一个你所

7、须要进行切割参数。然后按“ENTER”键。ò在“型号参数（１）”中（屏幕右上角显示4.２），操作员须要确认全部切割参数的正确性。ò如使用带“Ｓ”的切割模式，还须按Ｆ３键进入“DATA２”中确认其它切割参数的正确性。ò如果有任何的参数须改动，请按“ENTER”键加以确认。全自动切割ò按“Ｆ１键（全自动切割）”后，刀具将自动下降到予先设定的高度。ò按“C/TＶＡＣ”键两次。此操作是开／关工作台的真空，同时使机器的显微镜向后退便于放置芯片。ò放一枚芯片在工作台上，按“C/TＶＡＣ”键，打开工作台的真空以固定芯片。同时机器的显微镜将自动移到芯片的中间位置以便划道校准。

8、ò使用“θ顺时针旋转”和“θ逆时针旋转