CBN涂层及其在刀具上的应用

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1、CBN涂层及其在刀具上的应用内容摘要:1900年，用碳素工具钢刀具车削标准钢棒（f500mmX100mm）需用时约100分钟，20世纪50年代采用硕质合金刀具后，加工时间缩短为几分钟。1969年开始采用涂层硕质合金刀具，最初用涂层刀片切削标准钢棒需用时1。5min,而采用GC1025和GC015涂层刀片使加工吋间进一步缩短到1。通过对加工过程进行分析可知，要提高切削速度、降低切削•・・1引言随着现代切削技术的发展,金属切除率不断提高。1900年，用碳素工具钢刀具车削标准钢棒（f500mmX100mm）需用时约100分钟，20世纪50年代采用硕质合金刀具后，

2、加工时间缩短为几分钟。1969年开始采用涂层硬质合金刀具，最初用涂层刀片切削标准钢棒需用时1.5min,而采用GC1025和GC015涂层刀片使加工吋间进一步缩短到1.25min和lmin。通过对加工过程进行分析可知，要提高切削速度、降低切削成木，在所有加工因素屮最经济的办法就W应用新型刀具材料。刀具表而涂层是提高刀具寿命、降低切削成本的冇效手段。刀具涂层不仅可以提高刀具的表面硬度，增强其耐磨性，而且可以减小刀具表面摩擦系数，增加润滑能力，提高切削速度，减少换刀次数，提高被加工零件的精度和表面质量，从而提高生产效率。目前，在工业发达国家，涂层刀具已占所用全

3、部刀具的80%以上，而我国罐一比例尚不及20%,因此推广涂层刀具的应用、开发新的涂层刀具材料具有重大意义。CBN（CubicBoronNitride,立方氮化硼）是继工合成金刚石Z后岀现的另一种超硬无机材料，它除了具有许多与金刚石类似的优异物理、化学特性，如超高硬度（仅次于金刚石）、高耐磨性、低摩擦系数、低热膨胀系数等，同时还具冇一些优于金刚石的特性（CBN金刚石的性能对比见表1）。与金刚石不适合加工钢铁材料不同，CBN对铁族金属具有极为稳定的化学性能，因此可广泛用于钢铁制品的精密加工、研磨等。CBN除具有优良的耐磨损性能外，其耐热性也极为优良，在相当高的

4、切削温度下也能切削耐热钢、淬火钢、钛合金等，并能切削高硬度的冷硬轧辘、渗碳淬火材料以及对刀具磨损非常严重的Si-Al合金等难加工材料。表1CBN与金刚石的性能对比性能CBN金刚石晶体结构闪锌矿金刚石晶格常数(X)3.6153.567巒度(g・cm'3)3.483.515显微硬度(MP勿46042-84337>88260弹性^fi(GPa)7001000热膨胀系数(x10-6/°C)4.73.1化学稳定性与Fe系金雇不反应，大气中至1000。C不氧化与Fe系金厘反应，大气中600°C以上氧化热稳定性崖空中「温度至1550°C才发生从CBN至HBN的相变巨空中

5、「温度超91300°cJ金刚石开始向石墨转变CBN并不是天然存在的，需要靠人工合成，合成CBN的传统方法是高温高压法。这种方法对合成条件要求苛刻，成木高，而且只能得到CBN细小粉末，仅能用作磨料和聚晶CBN刀具。尽管如此，由于使用了粘结剂，这种价整昂贵的刀具的加工性能也大大降低。因此迫切需要开发价格更低、质量更高的CBN制备技术。2CBN涂层的制备方法BN具有三种异构体，即HBN、CBN和WBN。HBN(六方氮化硼)具有与石墨极为相似的结构，又称为“白色石墨”，质地也很软；而CBN的结构和性能与金刚石相近ol987年Inagawa等人成功地制备了纯度较高的

6、CBN薄膜,随后许多研究人员相继采用物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)方法成功制备了CBN,从而在国际上掀起了研究立方氮化硼薄膜的热潮。在多种制备方法中，最典型的方法是等离子体增强脉冲激光沉积法和热丝辅助射频等离子体化学气相沉积法。等离子体增强脉冲激光沉积法图1为等离子体增强脉冲激光沉积装置示意图。该装置主要包括多波段Nd:YAG激光器、等离子枪和抽真空系统。等离子枪包括一个热虫迂发射阴极(热阴极，由磚丝制作的灯丝构成)和一个阳极；固体激光器产生的高能激光作用在靶材(IIBN)上，温度可达10000:,靶材在高温下熔化和气化，产生B蒸气；热阴极

7、发射的热电子激活反应气体N2产生等离子体N+,它与B蒸气反应，在基片上沉积BN薄膜。基极偏压的作用是辅助沉积，基片距靶材5cm,在沉积过程中基片不停旋转。图1等离子体增强脉冲激光沉积装置等离子体增强脉冲激光沉积装置沉积CBN的典型条件为：R6入射功率10~150W,基极负偏压100~200V,激光能量密度25J/cm2,沉积时间5~15min。热丝辅助射频等离子体CVD法图2热丝辅助射频等离子体CVD装置示意图。射频虫邈产牛的高频电磁振荡激发反应气体产生等离子体，置于基片上方的热丝一方面对基片和反应气体加热以提供更多热能，另一方而热丝发射的热电子进一步增强

8、等离子体，以提高反应气体离解率；基片温度通过调节灯丝电压进行控制。