基于微纳米金刚石过渡层的cBN刀具涂层制备.pdf

《基于微纳米金刚石过渡层的cBN刀具涂层制备.pdf》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、第45卷第1期2013年2月南京航空JournalofNanjingUnive航天大学学报rsityofAeronautics&AstronauticsV01．45No．1Feb．2013基于微纳米金刚石过渡层的cBN刀具涂层制备徐锋h2左敦稳1’2张旭辉1’2户海峰1’2张骋1’2王珉1’2(1．南京航空航天大学机电学院，南京，210016；2．南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室，南京，210016)摘要：立方氮化硼(CubicBoronNitride，cBN)是仅次于金刚石的超硬材料，比金刚石具有更高的化学稳定性，可以胜任铁系金属的加工

2、。本文在YG6硬质合金上基于微纳米金刚石过渡层开展cBN涂层的制备研究。本文在热丝化学气相沉积系统中制备微纳米金刚石过渡层(Micro／nanocrystallinediamond，M／NCD)，在射频磁控溅射系统中制备cBN涂层，并对M／NCD与cBN涂层进行了成分、微现形貌与结合性能的研究。研究结果发现，在硬质舍金基体上，M／NCD过渡层的结合性能明显优于NCD过渡层。磁控溅射制备cBN涂层过程中，存在适合cBN沉积的衬底偏压阈值，过高或过低的衬底偏压均不利于cBN含量的提高。关键词：立方氮化硼I刀具涂层；磁控溅射；微纳米金刚石；过渡层中圈分类号：TB

3、43文献标志码：A文章编号：1005—2615(2013)01—0043-06PreparationofCubicBoronNitrideCoatingonWC-CoSubstratebyMicro／NanocrystallineDiamondFilmInterlayerXuFen91”，ZuoDunwenl”，ZhangXuhuil”，HuHaifen91”，ZhangChen91”，WangMinl’2(1．CollegeofMechanicalandElectricalEngineering，NanjingUniversityofAeronautic

4、s＆Astronautics，Nanjing，210016，China；2．JiangsuKeyLaboratoryofPrecisionandMicro-ManufacturingTechnology，NanjingUniversityofAeronautics&Astronautics，Nanjing，210016，China)Abstract：CubicBoronNitride(cBN)iSasuper-hardmaterial，ofwhichhardnessiSonly1essthandia—mond．Butithasexcellentchemic

5、alstability，especiallynochemicalreactionwithferrousmaterials．TheeBNcoatinghasirreplaceablefunctionintheapplicationofmoderncuttingtools．ResearchiscarriedoutonthepreparationofcBNcoatingonYG6bymicro／nanocrystallinediamond(M／NCD)filminter—layer．Themicro／nanocrystallinediamondfilmisdep

6、ositedinhotfilamentchemicalvapordepositionsystemandcBNisdepositedinradiofrequencymagnetronsputteringsystem．Thescanningelectronmi—croscopy(SEM)，Raman，atomicforcemicroscopy(AFM)，Fouriertransferredinfrared(FTIR)andin—denterareusedtoinvestigatethecontent，morphologyandadhesionofthecoat

7、ing．TheresultsshowthattheadhesionofcBNcoatingonWC—Cobymicro／nanocrystallinediamondinterlayerismuchhigherthanthatbynanodiamondinterlayer．ThemoderatebiasvoltageisimportantforthecBNfilmdeposi—tioninthemagnetronsputteringprocess．Keywords：cubicBoronNitride；toolcoating；magnetronsputteri

8、ng；micro／nanocrystallinediamond；i