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时间：2019-10-03
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1、應用可靠度於微機電之概念微機電系統技術MicroElector-MechanicalSystem一．研究目的（１）目前現況（２）發展現況二．對微機電系統的定義三．優＼缺點微 機 械１．什麼是微機械？？２．微機械的能源來自於光與微波３．微機械的製造技術４．形狀記憶合金微 孔 加 工１．何謂微孔加工？？３．細微放電加工－ＲＣ放電迴路４．微孔加工之應用（１）印表機噴嘴（２）顯示器電子鎗小孔（３）高速電腦之微連接器（４）通訊裝置之元件２．傳統微孔鑽床＼雷射加工法＼電子束加工法透過與個人電腦連線控制,
2、可做如下圖所示之多孔複雜加工下圖可應用於噴墨印表機噴頭的微孔微齒輪加工外徑600μm的微齒輪加工厚光組微渦輪葉片元件加工
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