JBT 9125-1999 立式涡轮分子泵

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1、ICS23.160J78JB/T9125－1999立式涡轮分子泵Verticalturbomolecularpump1999-07-12发布2000-01-01实施国家机械工业局发布JB/T9125－1999前言本标准是对ZBJ78015.1—89《立式涡轮分子泵型式与基本参数》和ZBJ78015.2—89《立式涡轮分子泵技术条件》进行的修订。修订时，对原标准作了编辑性修改，主要技术内容没有改变。本标准自实施之日起代替ZBJ78015.1—89和ZBJ78015.2—89。本标准由全国真空技术标准化技术委员会提出并归口。本标准起草单

2、位：沈阳真空技术研究所、南光机器厂。本标准主要起草人：李玉英、李春影、冯慧生。本标准于1989年首次发布。I中华人民共和国机械行业标准JB/T9125－1999立式涡轮分子泵代替ZBJ78015.1－89ZBJ78015.2–89Verticalturbomolecularpump1范围本标准规定了立式涡轮分子泵的型式，基本参数，技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于具有前级泵、变频电源的立式涡轮分子泵（以下简称泵）。2引用标准下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，

3、所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB191—1990包装储运图示标志GB/T4982—1985夹紧型真空快卸法兰GB/T6070—1995真空法兰GB/T6071—1985超高真空法兰GB/T6587.1—1986电子测量仪器环境试验总纲GB/T6587.2—1986电子测量仪器温度试验GB/T6587.3—1986电子测量仪器湿度试验GB/T6587.4—1986电子测量仪器振动试验GB/T6587.5—1986电子测量仪器冲击试验GB/T6587.6—1986电子测量仪器

4、运输试验GB/T7774—1987涡轮分子泵性能测试方法GB/T13306—1991标牌JB/T5278—1991铜丝密封可烘烤真空法兰JB/T8106—1999容积真空泵噪声测量方法JB/T8107—1999容积真空泵振动测量方法3定义本标准采用下列定义。3.1抽气速率泵在正常工作条件下，单位时间内被抽气体通过测试罩流经分子泵进气口的体积，即气体流量与测试罩规定位置测得的平衡压力之商。3.2极限压力国家机械工业局1999-07-12批准2000-01-01实施1JB/T9125－1999泵在规定的工作条件下，不向测试罩引入气体，泵

5、壳和测试罩经烘烤后48h内在测试罩规定位置测得的平衡压力。3.3压缩比通过泵进气口的气流量为零，被抽气体在前级区的分压力至少占全压力的90%以上，泵的前级压力与进气口压力之比为分子泵对该气体的压缩比。3.4起动时间从接通电源起到泵转速达到额定转速的90%所需的时间。4型式4.1型号表示方法□–□/□抽气速率，L/s进气口通径，mm立式涡轮分子泵，用F表示4.2标记示例进气口通径为100mm，抽气速率为220L/s的立式涡轮分子泵，标记为：F–100/2205基本参数泵的基本参数如表1所示。表1型号F–100/110F–100/220

6、F–160/450F–250/1400F–320/2000F–400/3500抽气速率110220450140020003500L/s极限压力-8＜10Pa对N883×1089×108910210101010压缩比对H2324425×102.5×106.3×104×1010起动时间＜3＜5＜10＜20＜30min振动＜0.5μm噪声LW＜70＜72dB（A）进气口通径100160250320400mm2JB/T9125－1999表1（完）型号F–100/110F–100/220F–160/450F–250/1400F–320/200

7、0F–400/3500出气口通径254063100mm1）电源输入电压220±10%（50Hz）或380±10%（50Hz）V电源消耗功率＜220＜440＜500W电源起动功率＜500＜2000W1）电源有以下三种类型：a）电子模拟式自动变频电源；b）微机程控式自动变频电源；c）电机变频式电源。6技术要求6.1泵的主要技术性能应符合表1和按规定程序批准的设计图样要求。6.2泵在下列环境条件下应能正常工作：a）环境温度为5~40℃；b）空气相对湿度小于85%；c）冷却水进水温度不高于25℃；6.3泵应避免抽除带粉尘、腐蚀性或爆炸性气体

8、。泵在正常运转时不允许直接引入大气，不允许有强烈径向振动。6.4为了除气目的，对泵壳、测试罩和真空测量规管进行烘烤，其烘烤温度不得超过以下规定：a）泵体及泵壳上法兰：120℃；b）测试罩或真空容器：300℃；c）真空测量规管：400℃