J BT9125-1999-立式涡轮分子泵.pdf

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1、ICS23.160J78中华人民共和国机械行业标准JB/T9125一1999立式涡轮分子泵Vertical加rbomolecularpump1999-07-12发布2000-01-01实施国家机械工业局发布JB/T9125-1999前言本标准是对ZBJ78015.1-89《立式涡轮分子泵型式与基本参数》和ZBJ78015.2-89《立式涡轮分子泵技术条件》进行的修订。修订时，对原标准作了编辑性修改，主要技术内容没有改变。本标准自实施之日起代替ZBJ78015.1-89和ZBJ78015.2-890本标准由全国真空技术

2、标准化技术委员会提出并归口。本标准起草单位:沈阳真空技术研究所、南光机器厂。，本标准主要起草人:李玉英、李春影、冯慧生。本标准于1989年首次发布。中华人民共和国机械行业标准JB/T9125-1999立式涡轮分子泵代替ZBJ78015.1一89ZB178015.2一9Verticalturbomolecularpump1范围本标准规定了立式涡轮分子泵的型式。基本参数，技术要求，试验方法，检验规则。标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于具有前级泵、变频电源的立式涡轮分子泵(以下简称泵)o2引用标准下列标准所包含的条文，

3、通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB191-1990包装储运图示标志GB/C4982-1985夹紧型真空快卸法兰GB/T6070-1995真空法兰GB/T6071-1985超高真空法兰GB/T6587.1-1986电子测量仪器环境试验总纲GB/'F6587.2-1986电子测量仪器温度试验GB/T6587.3-1986电子测量仪器湿度试验GB/T6587.4-1986电子测量仪器振动试验GB/T6587.5

4、-1986电子测量仪器冲击试验GB/T6587.6-1986电子测量仪器运输试验GB/T7774-1987涡轮分子泵性能测试方法GB/T13306-1991标牌JB/T5278-1991铜丝密封可烘烤真空法兰JB/T8106-1999容积真空泵噪声测量方法JB/T8107-1999容积真空泵振动测量方法3定义本标准采用下列定义。3.1抽气速率泵在正常工作条件下，单位时间内被抽气体通过测试罩流经分子泵进气口的体积，即气体流量与测试罩规定位置测得的平衡压力之商。3.2极限压力国家机械工业局1999-07-12批准2000

5、-01-01实施1JB/T9125-1999泵在规定的工作条件下，不向测试罩引人气体.泵壳和测试罩经烘烤后48h内在测试罩规定位置测得的平衡压力。3.3压缩比通过泵进气口的气流量为零，被抽气体在前级区的分压力至少占全压力的90%以上，泵的前级压力与进气口压力之比为分子泵对该气体的压缩比。3.4起动时间从接通电源起到泵转速达到额定转速的90%所需的时间。4型式4.1型号表示方法口一口抽气速率，Us进气口通径，mm立式涡轮分子泵.用F表示4.2标记示例进气口通径为100mm，抽气速率为220L/:的立式涡轮分子泵，标记为

6、:F-100/2205甚本参数泵的基本参数如表1所示。表1型号F-100/110F-100/220F-160/450F-250/1400F-320/2000F-400/3500抽气速率110220450140020003500Us极限压力<10'Pa对N,10,1a3x1护9x1护10,1001压缩比对H,5x1护2.5x10'6.3x1护4x1护10,起动时间<3<5<10<20<30mm振动<0.5卜m噪声L=<70<72dB(A)进气口通径100160250320400mmJB/T9125-1999表1(完)型

7、号F-100/110F-100/220F-160/450F-250/1400F-320/2000F-400/3500出气门通径254063I00mm电源”输入电压220310%(50Hz)或380t10%(50Hz)V电源消耗功率<220<440<500W电源起动功率<500<2000沙W曰电源有以下二种类型:a)电子模拟式自动变频电源;b)微机程控式自动变频电源;c)电机变颇式电源。6技术要求6.1泵的主要技术性能应符合表I和按规定程序批准的设计图样要求。‘2泵在下列环境条件下应能正常工作:a)环境温度为5-40'

8、C;b)空气相对湿度小于85%;。)冷却水进水温度不高于2590;‘.3泵应避免抽除带粉尘、腐蚀性或爆炸性气体。泵在正常运转时不允许直接引人大气，不允许有强烈径向振动。6.4为了除气目的，对泵壳、测试罩和真空测量规管进行烘烤。其烘烤温度不得超过以下规定:a)泵体及泵壳上法兰:120'C;b)测试罩或真空容器:300'C;c)真空测量规管:400