SJT10097-1991F-250／1400型立式涡轮分子泵.pdf

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1、Si中华人民共和国电子工业行业标准SJ/T10097--91250F一型立式涡轮分子泵14001991-04-08发布1991一07-01实施中华人民共和国机械电子工业部发布中华人民共和国电子工业行业标准250SJ/T10097-91F一型立式涡轮分子泵1400主.内容与适用范围本标准规定了F-250/1400型立式祸轮分子泵的产品分类、技术参数、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存等要求。本标准适用于F-250/1400型立式涡轮分子泵(以下简称“泵”).2弓1用标准GB191包装储运图示标志GB508

2、0.7设备可靠性试验恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试验方案GB6070.4活套真空法兰GB6587.1-6587.6电子侧量仪器环境试验GB7772变容真空泵噪声试验方法GB7773变容真空泵振动试验方法GB7774涡轮分子泵性能试验方法GB11491立式涡轮分子泵通用技术条件SJ3192立式涡轮分子泵型式与基本参数SJ1658^-166。铜丝密封超高真空法兰JB8产品标牌3产品分类泵的结构型式与技术参数应符合SJ3192和本标准的规定。3.1结构型式3.1.1泵由主机和电漂构成。3.1.2主机为立式结构

3、，主要由泵体、涡轮组件、电机、润滑系统和烘烤装置等组成。3.1.3电源为电子变频电源。3.2型号中华人民共和国机械电子工业部1991-04-08批准1991-07-01实施一1一S3/T10097-91泵的型号组成和含义如下F^250/1400体积流率进气口通径立式涡轮分子泵代号技术要求4.1技术参数a.体积流率(对干燥空气)1400L/s;b.极限压力1。一毕a;c.压缩比对N}10';对Hz104;d.起动时间<10min;e.振动<0.3pm;f.噪声<70dB;g.冷却水耗量<60L/h,4.2其他参数a.进气口

4、通径250mm;b.出气口通径63mm;c.电源输入电压(50Hz)220V士10%;d.电源消耗功率<440VA;e.电源起动功率<2000VA;f.重量主机<65kg;电源<25kg,4.3一般要求4.3.1泵的技术要求应符合GB11491和本标准4.1,4.2条的规定，并按经规定程序批准的设计图样和技术文件制造.4.3.2泵在下列环境条件下应能正常工作:a.环境温度0-400C;b.空气相对湿度<85%;c.冷却水进水温度<250C,4.3.3泵的进气口法兰及密封圈应符合SJ1658-1660的规定.4.3.4泵的

5、出气口法兰及密封圈应符合GB6070.4的规定。4-3.5为了防止异物进入泵内，泵的进气口应设置不锈钢过滤网，并加以固定。4.3.6泵安装时，应使主机的轴线垂直于水平线。其垂直度偏差应小于50,4.3.7当被抽系统振动较大或被抽系统对振动要求特别小时，泵与被抽系统间应设置减振装置。4.3.8泵应采用饱和燕汽压不高于3X10-`Pa(在常温下)的专用润滑油润滑轴承，并设置油量指示标志。一2一SJ/T10097-914.3.9泵应避免抽除带粉尘、腐蚀性或爆炸性气体.泵在正常工作时不允许有强烈振动和电磁场干扰。4.3.10为了

6、除气，对泵体、测试罩和真空测量规管进行洪烤时，其供烤温度不得超过以下规定:a泵体120'c;b.测试罩350'C;c.测量规管400'C,4.3.11泵所配置的前级泵应符合下列要求:压力<1OPa;体积流率)15L/s,4.3.12泵应在4.3.11条规定的前级压力下启动和工作。泵在正常工作时应防止暴露大气。4.3.13电源输出的三相线电压应对称，其不对称性不得超过士0.5V,4.4安全要求4.4.1绝缘电阻泵的电动机和烘烤装置对泵体、电源线路对箱体，应有可靠的绝缘措施，其绝缘电阻不小于2Mn。4.4.2水流保护装置要求

7、冷却水流量应符合设计图样要求，且具有保护装置。4-4-3电流保护装置要求电源输出电流不应大于设计图样规定值，且有保护措施。4-5可靠性要求4.5.1平均无故障工作时间(MTBF)主机和电源在正常工作条件下的平均无故障工作时间(MTBF)应达到以下要求:主机)8000h;电源)2000h.4.5-2连续运转试验主机和电源配套试车后，应连续进行500h的运转试验。4.6产品成套性要求a泵主机1台，b.电源装置1台;c.备附件1套;d随机文件产品技术说明书1份;产品合格证1份;装箱单1份;备附件清单1份。试验方法5.1一般要求

8、的检查泵的一般要求用常规仪器及方法检测。一3一SJ/T10097-915.2体积流率、极限压力和起动时间的测试体积流率、极限压力和起动时间的测试按GB7774规定进行。5.3一压缩比的测试压缩比的测试除按GB7774规定外，测试氮气(Nz)的压缩比时，还应采用具有足够分辨率、质量数为1-100的质谱分压计进行监测。5