粘晶作业指导书

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1、粘晶作业指导书受控状态实施日期2°1款1硅片生产部试行实施责任者车间主管适用范围适用于硅棒粘晶作业。对象产品晶体使用设备使用材料SGR40-06超声波、电子秤、烘箱、刮刀、配重压块、胶水(Q・BOND・1MR及AD1339-A)、酒精、丙酮、杯托、单面胶带、美工刀片、板刷、直角尺、记号笔。关键参数作业步骤与方法一、玻璃与工件板粘接步骤:检查工件板上是否有螺丝断在里面。（螺丝数《=3颗可以使用）2、用美工刀片清洁工件板上残胶。3、用砂纸在工件板上反复打磨。4、用酒精将工件板面清洁干净。玻璃的选择:1、玻璃表面喷砂均匀、无破损。2、根据棒子尺寸大小选择所

2、需要粘用玻璃的尺寸。3、用纸、酒精清洁玻璃表面污垢，用刷子将玻璃表面纸削处理干净。粘工件板用胶量美国胶与日本胶比例各为：1:1NTC4421件板：1、日本胶2、6、5寸玻璃:13.5'〜14・5g6、25寸玻璃:13・0~13・5g6、0寸玻璃:12・7~13・0gMB265工件板：1、日本胶2、所有类型玻璃：10克左右（9.5〜10・5g）（工件板与玻璃粘接必须在2min以内迅速抹平抹均匀后压上配重）工件板与玻璃粘胶后30分钟后方可取下配重；（备注：所有使用的玻璃需经过超声处理5-10分钟）玻璃与晶体粘接:1、将晶体放置超声池内超至10-15分钟（

3、水面高出晶体上表面20mm)2>=j粘晶面选择：用直角尺选择出最长面放于侧面（即:粘晶用胶量:晶体）线切割的进线端）3、垂直度较好端面放于头部;清洁晶体粘胶面:用水擦拭至纸面无污垢；用酒精反复擦拭至晶体表面洁净;用美纹胶带贴于晶体粘胶面两侧圆弧倒角处。2、n/100x3.5(g)=g(n：总长度6.0-6.25寸n/100x4(g)=g(6.5寸晶体)MB265:1、日本胶2、n/100x5.5(g)=g(6.0-6.25寸晶体)n/100x6.0(g)=g（6.5寸晶体）NTC442：1、美国胶二、粘晶步骤：1、NTC442机型使用美国胶粘晶。2、

4、MB265机型使用日本胶粘晶。3、在粘晶之前自检所粘晶体是否有大的崩边、表面亮点、倒角圆角等不良晶体，及时向上级反映情况。4、必须用尺子测量晶体长度是否与工艺单上所填写的一致。5、用尺子笔将工件板头部距离标准确（3〜5）mm,随后等待粘晶6、用酒精反复擦拭至玻璃表面洁净后，用美纹胶带贴于玻璃两侧棱面。7、将配好的胶快速搅匀后，均匀抹于粘晶面・。（日本胶:时间在2min以内；美国胶：时间控制在30min以内）8、晶体粘好后需确认头部距离相等，晶体放置于玻璃板中（BP：粘胶面晶体两侧倒角需于玻璃两侧棱角相吻合）四、清胶要点:1、日本胶当晶体粘好后，快速清

5、理晶体两侧倒角及两端溢出的胶水，时间控制在3分钟之内。2、美国胶当晶体粘好后，清理两端溢出的胶水，随后相隔25分钟后刮去倒角处的胶水。3、在胶水没有硬化之前不准用酒精擦拭，以免造成在清洗过程中，晶片上的胶印洗不干净。五、当晶体粘好后至胶水凝1小时后取下配重。六、导向条选用垂直较好的贴置于晶体表面。（导向条长度略小于所贴晶体长度，限用于MB265机型）七、接棒粘晶P1-1与P1-2之间间隔距控制在4mm〜6mmpl-1>p2-l;pl-2>p2-2;晶体pl-1与p2-l长度差小于5mm以内。如图：Cl=C2P2-iC2八、烘烤工件板工件板放于烘箱内隔

6、层的中上层。温度设定在175摄氏度。｛冷箱烘烤时烘烤90min；热箱烘烤时需60min｝、用铲刀将玻璃敲下对于断下晶体烘烤，温度设定在190摄氏度，烘烤90min将晶体敲下并将粘胶面胶水清理干净九、工件板类型工件板NTC442MB265工件板265马鞍山晶威电子科技有限公司粘晶作业流程粘晶车间2010.1.20