拉晶作业指导书

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1、文件编号：HNY/TD-WI-CZsi-001文件名称单晶炉作业指导书版本/修改：A01/00Reason(s)forUpdate更新原因：工艺改进PRODUCT产品：单晶硅棒ORIGINATORAPPROVE审WORKSTATIONI序名称：部门编制核QC质量MFG制造真空泵的清理及泵油的更换签名隶属：单晶车间日期PAGE：第1页0F共2页1.目的规范真空泵的清理及泵油的更换操作2.适用范围适用于真空泵的清扫及泵油更换作业3.作业内容一•放油1、准备好专用工貝及纸山置于真空泵位置；关闭主泵球阀；2、将废汕桶置丁•真空泵放汕口下方，打开上腔放汕开关，取下泵尾气管；3、

2、堵严尾气口，缓慢打开下腔放油阀使之缓慢进气进行快慢放油，废油倒入指定废油桶；4、放完油后关闭上、下腔放油阀，然后断开真空泵对应控制柜里的空气开关；5、在控制柜上挂上“禁止操作”牌；注意事项及原由：1、确认关闭主泵球阀是否关闭到位，否则会造成炉内倒吸气；2、放油时应靠下腔放油阀调解泵腔压力，以免泵腔内压力过大，尾气口关闭不严，致使油烟外泄扩散到泵房；3、放完油后,切记关闭上、下腔的放油阀,防止漏油;4、处理废油时注意泵房卫生；5、一定耍断开真空泵真空开关，以防他人不慎触动真空泵开启按钮，造成人身伤害；6、出现异常立刻处理并报告班长；二•清泵1、用板手打开真空泵侧盖，置于

3、适当位置；2、用纸山彻底清理真空泵腔内及侧盖的油污；3、70泵下腔滤汕网要用汽汕进行清洗干净；4、清扫完毕后，先安装好滤网，后安装好侧盖；注意事项及原由1、侧盖在打开、安装时小心操作，防1上损坏侧盖及油封而漏油；2、70泵切记安装滤网，喷油管对准观察窗利于查看真空泵的工作状态；3、泵腔内禁止遗留纸屑或其它异物，不然会造成汕路的堵塞导致真空泵卡死；4、清理真空泵的废弃物放入指定垃圾桶；5、出现异常立刻处理，并报告班长或车间主管；三•注油1、打开真空泵注油口；2、将加汕漏斗放入真空泵注汕口；3、用吸油枪从油桶给油壶开始注油到2/3,用油壶嘴对准漏斗，缓慢地给真空泵注油；4

4、、观察真空泵油位至油位观察窗1/2位置；5、取下漏斗，移至适当位置以防漏油，打开泵侧的油路管道阀门向下腔放油；6、装上尾气管，盖好注油口；文件编号：HNY/TD-WI-CZsi-001文件名称单晶炉作业指导书版本/修改：A01/00Reason(s)forUpdate更新原因：工艺改进PRODUCT产品：单晶硅棒ORIGINATORAPPROVE审WORKSTATIONI序名称：部门编制核QC质量MFG制造真空泵的清理及泵油的更换签名隶属：单晶车间日期PAGE：第2页OF共2页7、开启真空泵工作5min后关闭泵侧的油路管道阀门，察看油位是否处于油位观察窗1/3-1/2

5、位置。若低于下限重复以上操作；注意事项及原由1、加油漏斗保持清洁，防止异物进入泵腔；2、注油时注意注油管掉落且不要超过上限油位以防喷油；3、切记安装好尾气管及注油口，以防开泵时喷油或油气污染泵房；4、注意清理真空泵及周围卫生；5、出现异常立刻处理，并报告班长或车间主管；6、泵油加好后，关闭真空泵控制按钮，取走“禁止操作”牌，做好记录；4.仪器/工具/材料拆泵腔专用工具、棉纱或毛巾、汕桶、漏斗5.相关表格《单晶炉操作记录》文件编号：HNY/TD-WI-CZsi-001文件名称单晶炉作业指导书版本/修改：A01/00Reason(s)forUpdate更新原因：工艺改进P

6、RODUCT产品：单晶硅棒ORIGINATORAPPROVE审WORKSTATIONI序名称：部门编制核QC质量MFG制造拆炉取单晶签名隶属：单晶车间日期PAGE：第1页0F共2页1、目的规范拆炉取单晶工序，确保单晶安全取出并放到指定位置2、适用范围拉晶过程中单晶的取出3、作业内容一•作业准备1、准备好线手套、耐高温手套、纸山；2、准备好钢丝钳、取单品的小车；3、用沾酒精的纸巾将炉体从上到下擦拭干净，并保持整洁；注意事项及原由1、所需物品必须准备齐全而且洁净，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费；2、取单晶前一定要将炉体彻底擦拭一遍，防止交叉污染；3、所有控制接线及开关

7、在彻底清扫炉体吋均不得碰断或碰坏；二•单晶取出1、停炉4.5小时后，待炉内压力到达极限真空后，先关闭主泵球阀，后关闭真空泵电源，然后进行热态检漏并做好相应记录；2、待单晶冷却5.5小时后，然后•提升单晶至副室，从副室观察窗确认单晶升至所需高度；3、若无异常，拧开小副室门四个螺栓，打开副室氟气阀门，流量调至最大，查看副室压力表指针到0位和副室小门可以被打开时，才可以升晶棒到副室腔内并高于副室门，盖上隔离阀，打开液压泵电源，升起副室；4、把安全接盘移到副室底部处，缓慢向左移动副室至90度；5、把取单晶的小车放在副室炉筒止下方，准备接单晶；6、稳定单品，移