PECVD_CT设备常见故障手册

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1、《PECVD设备工艺员培训资料》基本内容：<1>PECVD设备常见故障和报警信息描述，及相应解决方法介绍<2>PECVD工艺问题描述及相应的处理方法介绍<3>紧急情况处理措施及设备维护的相关注意事项基本要求：<1>要求能够处理设备常见的基本故障<2>对于不能处理的设备问题，要求能够识别问题的大体原因所在，并能够在第一次时间判断通知车间设备工程师还是外围设备工程师<3>熟悉M125-XXL工艺的基本步骤，能够处理常见的镀膜不良的问题<4>面对紧急情况时，能够合理及时的处理；设备维护时，能够按照规程合理的进行操作注：以下内

2、容如没有进行特别标注均指CentrothermPECVD《PECVD常见设备故障及解决方法》手推车(trolley)加载故障<1>手推车无法被加载检查一下store2和store3位置是否有同时存放石墨舟的情况，如果是则将其中一个手动取下检查一下车上水平方向的感应器上是否有脏污和磨损，如有则用氮气枪进行清理，此时禁止用无尘布之类的东西对反射镜进行擦拭检查水平和垂直方向感应器指示灯是否正常，然后通知当班工程师<2>自动模式下石墨舟无法从设备内拾取到store1检查舟感应器的光线是否照射在了手推车上，正常的在没有石墨舟的情

3、况下，舟感应器的指示灯为开启状态，如果是则将首推车的位置重新调整，使舟感应器指示灯恢复开启状态<3>手动模式下store1位置没有Downward同<2>，检查舟感应器是否正常CMI死机打开CMI界面下的护板，将CMI开关关闭然后开开进行重启《PECVD设备工艺员培训资料》机械臂(Lift)故障<1>在CMI操作完成的情况下，如果出现机械臂无法加载的情况，先检查一下信号灯显示否为指示自动模式的绿色，如果不是，则选定自动模式，不能选定的情况下，再检查一下CMI上方的“AUTO/Handling”开关是否为ＡＵＴＯ位进行选

4、定　<2>在确保自动模式的前提下，如果机械臂仍不能动作，则等待半分钟，如果还不能　　在确保浆和炉门没有或没有即将出现运动的前提下，按下CMI上方的“STOP”，如果机械臂依旧不能运动，则通知当班工程师浆无法进入移出炉管(EFMerror)<1>手动复位“Mannual”→”Service”→”EFM”→”Recovery”→”Handling”<2>检查一下炉门口是否有异物，如果有则用高温手套将异物取出。检查一下actpos=是否到位<3>检查一下进浆传送带是否有堵塞<4>对于捷佳伟创PE，检查一下前后限位开关是否OK

5、，检查一下报警信息栏内是否有堵塞报警<5>对于无法出舟的情况，要观察一下CMI上是否有SLS=undefined的情况注：对进行过Cesar初始化操作的情况，要手动将“Mannual”à“Boat”à“Speed”的值重新进行设置，不然也会出行无法进行手动进舟的操作，一线值为350二线为400高频报警（HFgeneratoroutof1stor2sttolerance）<1>检查报警信息中，是否有NH3或者SiH4outof1st2sttolerance.如有则首先检查是否有三个炉管同时进行沉积工艺depositon，

6、如果是则进行等待，直到其他管内的一舟工艺结束沉积(depositon)步<2>如果在没有三个炉管同时工艺的情况下出现特气报警，则检查一下特气压力表上的压力是否在1-2bar间，如果不是则在第一时间通知外围设备工程师<3>如果不是如上原因，则检查一下CMI上是否同时有压缩空气报警(AlarmCompressairsupply).同时检查一下CDA表上显示是否低于6bar.如果是则在第一时间通知外围设备工程师<4>对于初步判断为掉片造成的高频报警，则检查一下已进行的工艺时间，看是否需要进行补镀工艺，出现工艺没有自动结束的情

7、况，则在2分钟后在CMI主菜中选定“ExitPoc→然后选择“YES”手动结束工艺，此时会提示processterminated报警信息，点击红色报警灯，在弹出的界面里选择第一项“toStore”.对于掉片则将硅片重新插好进行工艺<5>对于相应炉管依旧出现高频报警的情况，则手动打开炉门检查一下炉管内是否碎片太多，是否有翘起的碎片，如有则进行清理《PECVD设备工艺员培训资料》高频报警（HFgeneratoroutof1stor2sttolerance）手动结束高频报警的基本操作：设定炉管内气压“Mannual”→”Ta

8、b”→“vaccum”→”tube”→”pressure”→”Maximum”往炉管内冲氮气“Mannual”→”Gas”→”N2NO”→”Valve”→”Open”等待炉管内气压达到大气压ATMO开启大氮后点击CMI上“Status”等待炉管内气压回升到大气压当炉管下方显示ATMO状态时，关闭大氮“Mannual”→”Gas”→