ME03022-廖辉-内层板料伸缩跟进报告

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1、部门审核:总监审批:编号:致：PROD/PQA/PMC/ME由：ME-廖辉日期：Mar22、2009传：Sub：关于内层板料伸缩跟进报告一、目的：跟进板料在压板前各段工序生产过程中的伸缩，从而提出控制方案。二、跟进方案：1、从前处理选不同厚度的板在四个角打孔，分别测量XI、X2、Yl、Y2的距离作为参考值，前00XIfYIY2▼X2O0处理后、辘板后、显影后、蚀刻后、棕化后分别对XI、X2、Yl、Y2测量，再与之比较，得出各段工序板料伸缩情况（毎种类型的板跟进10PNL）o2、跟进流程：磨板询测量为零点一磨板后测量一辘板后测量一显影后测量一蚀刻后测量一棕化后测量，分别计算各段

2、的变化量。3、对所测数据分别对不同板料、板厚、X方向、Y方向作分析。三、跟进结果统计及分析：1、宏仁板料伸缩统计（单位：mil）前处理变化范围辘板后变化范围显影后变化范围蚀刻后变化范围棕化后变化范围abCabCabCabCabC6X0.1-0.70.1-0.70.31-0.4-1.4-0.5〜0.70.19-0.5〜0.8-0.6-0.1().27-1.5〜2.4-1-1.60.36-0.6〜2.60.2-0.90.66Y0.1-0.50.1-0.50.28・0.7~0.8・0.5~0.30.16-0.4~0.7-0.1-0.30.28-1.6-2.2-1.2-1.50.39

3、-0.8〜2.20.2~0.80.631()X-().2~1.()-0.2-1.00.32-().6~1.()-0.4-00.35-0.3-1.30-0.30.68-1-1.8・0.7~0.50.85-0.4^1.80-0.60.9Y-0.2-0.7-0.2-0.70.24-0.9-0.7-0.7〜00.06-0.5〜0.70-0.40.21-1-1.4・0.5~0.70.340.7-1.50.1-0.70.5412X-0.40.9・0.8〜0.90.1・0.2〜0.60.3〜0.60.1-0.9-1.0-0.7-0.40.1-0.7-1.60.2〜0.60.54・0.7~2

4、.70-0.90.61Y-0.4-0.5-0.4-0.5-0」-0.7-0.8-0.3〜0.3-0.13・0.7~0.70-0.10.1-0.02-1.20.5~0.70.5-0.3-1.70-0.50.5920X0.1-0.6()」~().60.31・0.2~0.5-0.5-00.24-1.4~1.3・0.3~0.50.35-1.2-2.50-1.60.96-1.2~1.90-1.30.92Y0.1-0.80.1-0.80.32・0.3~0.9-0.4-00.31-0.9-1.2・0・2~0.40.33-1・8~2.1-0.9-1.01.36■0.8〜2.60.4〜1.00

5、.4726X0-0.50-0.50.25-0.4〜().7-0.5-00.23-0.4-1.20-0.50.48-1.1-1.8-0.7-1.00.5-0.6〜1.50-1.20.7Y0.1-0.50.1-0.50.28・0.4~0.8-0.6〜()0.2-().3~1」0.1-0.30.4-1.4-2.10-1.30.36-0.6-1.5・0.5~0.8().3839X0.2-1.60.2-1.60.8-0.2-1.41.0-0.30.60」〜2」・0.2~0.80.9-0.6-1.40-1.51-0.4〜1.40〜0.80.8Y0.2-2.80・2~2.80.6-0.1-

6、3.1・0.8~0.20.40.4-2.7・0.3〜0.71.2-0.2-1.00-0.50.3・0」~1.00-0.50.3备a表示以前处理测量值为基准Z变化范围注b表示以上一•岗位测量值为基准之变化范围c表示以前处理测量值为基准之平均变化范围2、合正板料伸缩统计（单位：mil）板厚前处理变化范围辘板后变化范围显影后变化范围蚀刻后变化范围棕化后变化范围abCabCabCabCabC4X()」~1.()().1-1.00.46-0.3-1」-0.5-0.7().3-1.2-1.8-0.6-0.30.25-2.4-1.9()-1.2-0.33-1〜1.7()~1.40.05Y0

7、.1-0.90.1~0.90.38-0」~0.9-0.4-0.20.28-1-0.8-O.8-O.30.04-1.2-1.30-0.5-0.08-1-1.2-0.3~1.00.1310X-O.8-O.8-().8~().80.29-0.5〜().50.36-1.8〜1.1-1.()-0.30.21-1.2-2.1-0.6-1.()-0.39-0.4-1.30-1.5().5Y-0.4-0.8-0.4-0.80」-0.5~0.9-0.3~0.40.19-0.6-1.0-1.1-0.50.05-1.7-2.