电子枪(EBG-203UB6S)纳入调整手册

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1、電子槍（EBG-203UB6S）納入調整手冊日本電子DATUM株式會社産業機器維修部〈注意事項〉因使用高電壓，注意［觸電］事項•在真空槍體内，有大氣時，必須切斷電子槍電源的電流斷路開關。•安裝測定器時，必須切斷電子槍電源的電流斷路開關。•調整電子束時，必須把控制盘安裝在電子槍電源上。電子槍（EBG・203UB6S）、電子槍電源（JST・3F、10F、16F）納入調整時，请按照下列程序，進行操作。（1）電子槍的接線①地線的確認•確認地線與真空槍體的連接情況。•地線的接地電阻值爲［10Q以下（A種）］②確認端子接線部位線圈導線的連接情況•線圈的線色如圖所示「黑、紅・・・x掃描線

2、一蓝、黃…丫掃描線③低壓導入端子和電子槍的連接情況•低壓導入端子的軟管不能阻礙住錨絲的交換或其它機器的正常作業。•使用E圈，把低壓導入雋子的軟管固定在連接部位封套上。•切斷低壓導入端子底部也白色、綠色兩根導線。•低壓導入端子的導線与線圈的導線使其顔色搭配一致。•不要与其它顔色的導線壓着端子或封套接觸。・安裝接線部位的封套時，注意不要夾住封套与電子槍本體間的接線。端子連接圖端子連接圖④高壓導入端子和電子槍的連接•確保高壓導線（銅線）之問的距離爲3mm以上。•確保高壓導線（銅線）与高壓密封套間的距離爲lOnini以上。•儘量保持壓着端子、高壓導線（銅線）与電子槍之間的距離。•連

3、接銅線于高壓導入端子時，使用兩把螺絲鉗使其捋緊。（參照右圖）⑤高壓密封套的確認•高壓密封套是完全覆蓋住高壓導入端子的。※關於高壓密封套的形狀，请參照操作說明書（P4・6）•確認高壓密封套的材質爲非磁性體（SUS、鋁等）•確認電子槍与密封套之間沒有空隙※一旦从空隙間混入垃圾掉進高壓部位（高壓導入端子、銅線），是常導致放電的原因，請注意。•保持高壓部位（高壓導入端子、銅線）与高壓密封套之間有足夠的距離。（10mm以上）•安裝高壓密封套時，確認高壓部位与密封套間無接近部分。（2）電子槍的確認①gridassembly的確認•確認（N18）的搏緊狀況（參照下圖）※为防止由熱帶來的，

4、N18旋轉30度左右最後向反方向回轉。（N18最後稍微回轉）•確認Gridassembly固定用的小螺釘（N14）的扌寧緊情況（參照下圖）※旋緊扭矩爲50N/cm（注意不要旋得過緊）・確認不要傾斜安裝gridassemblyo固定用螺釘（N14）18②磁極片的確認•使用規尺等確認FIL側的磁極片（N61）的平行度。•使用規尺等確認Hearth側的磁極片（N106）的平行度。③磁力的調整•安裝磁性調整棒（以下列數量爲基準）ACC6KV時…安裝@14的磁性調整棒ACC5KV時…安裝011的磁性調整棒ACC10KV時…安裝O7.5的磁性調整棒•磁性調整

5、板維持現狀④冷卻水的倦認•確認冷卻水口左側爲IN,右側爲OUT。（參照下圖）•確認冷卻水的上水道（水溫在30°C以下）、10升/min以上、壓力在0.4Mpa以下。※實際上，根據冷卻水配管徑，冷卻水在10升/min時，無流水現象。通常，即使在6升/min時也沒關係，因燈絲等導致內部加熱時，必須規定冷卻水量爲（10升/min）。（參考：岀力爲1KW時，冷卻水量必須爲1升/min）因燈絲等導致內部加熱，而冷卻水量不足時，O型密封圈会燒焦而漏出水，请注意。・真空槍體排气時，務必放出電子槍的冷卻水。•因燈絲等導致內部加熱時，即使槍體内存有大氣时，也放出電子枪的冷卻水。~IN>OUT

6、①擋板位置的確認・確認擋板的高度比hearth的上面高70mm以上。・確認擋板的材質（非磁性體）②維護保養空間的確認・由於鑰絲的交換，確認从電子槍側面的鑰絲交換口有80mm以上的空間。•確認磁性調整棒有交換的空間。③電子槍周邊的確認•確認電子槍周邊無磁石、鐵等磁性體。•確認在反射電子的情況下，沒有容易溶解的物質。④hearth位置的確認・確認hearth位置的正常性。•Hearth回转軸每回轉一次，確認hearth移動一个位置。⑤放入試用材料到hearth時，確認槍體内的真空。（3）電子槍電源的點檢①停止固定電子槍電源本體。②拆卸電子槍電源的控制板。③加強固定電子枪電源内各

7、組件。•在EB電源左側P部件内，加強扭緊部品（繼電器、電容、二極管等）。•在EB電源左側P部件内，確認安裝部品（二極管、電阻、變壓器等）的支架。•在EB電源内，加強扭緊電力回路部品（繼電器、調節阀、SCR部件等）。•在EB電源下部，加強扭緊高壓冋路部品（變壓器、調節阀、電容等）。•在EB電源下部，確認烘焙板上安裝電阻（10W、1/2W）的支架。•在EB電源下部，加強扭緊天板上固定着的螺絲釘。•在EB電源下部，加強扭緊二極管固定在天板上的螺絲釘。•在EB電源下部，確認二極管与空心電阻器的連接的銅線的安裝情況。•在EB