电子枪EBG203UB6S纳入调整手册.doc

《电子枪EBG203UB6S纳入调整手册.doc》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在应用文档-天天文库。

1、電子槍（EBG-203UB6S）納入調整手冊日本電子DATUM株式會社産業機器維修部〈注意事項〉因使用高電壓，注意[觸電]事項·在真空槍體内，有大氣時，必須切斷電子槍電源的電流斷路開關。·安裝測定器時，必須切斷電子槍電源的電流斷路開關。·調整電子束時，必須把控制盘安裝在電子槍電源上。電子槍（EBG-203UB6S）、電子槍電源（JST-3F、10F、16F）納入調整時，请按照下列程序，進行操作。（1）電子槍的接線1地線的確認·確認地線與真空槍體的連接情況。·地線的接地電阻值爲［10Ω以下（A種）］2確認端子接線部位線圈導線的連接情況·線圈

2、的線色如圖所示黑、紅…X掃描線蓝、黃…Y掃描線3低壓導入端子和電子槍的連接情況·低壓導入端子的軟管不能阻礙住鎢絲的交換或其它機器的正常作業。·使用E圈，把低壓導入端子的軟管固定在連接部位封套上。·切斷低壓導入端子底部的白色、綠色兩根導線。·低壓導入端子的導線与線圈的導線使其顔色搭配一致。·不要与其它顔色的導線壓着端子或封套接觸。·安裝接線部位的封套時，注意不要夾住封套与電子槍本體間的接線。端子連接圖端子連接圖不要夾住不要与其与本體間它顔色的端子接線的連接端子接觸部位4高壓導入端子和電子槍的連接·確保高壓導線（銅線）之間的距離爲3mm以上。

3、·確保高壓導線（銅線）与高壓密封套間的距離爲10mm以上。·儘量保持壓着端子、高壓導線（銅線）与電子槍之間的距離。·連接銅線于高壓導入端子時，使用兩把螺絲鉗使其擰緊。（參照右圖）5高壓密封套的確認高壓導入端子·高壓密封套是完全覆蓋住高壓導入端子的。※關於高壓密封套的形狀，请參照操作說明書（P4-6）·確認高壓密封套的材質爲非磁性體（SUS、鋁等）·確認電子槍与密封套之間沒有空隙※一旦从空隙間混入垃圾掉進高壓部位（高壓導入端子、銅線），是常導致放電的原因，請注意。·保持高壓部位（高壓導入端子、銅線）与高壓密封套之間有足夠的距離。（10mm以

4、上）·安裝高壓密封套時，確認高壓部位与密封套間無接近部分。（2）電子槍的確認1gridassembly的確認·確認(N18)的擰緊狀況（參照下圖）※为防止由熱帶來的，N18旋轉30度左右最後向反方向回轉。（N18最後稍微回轉）·確認Gridassembly固定用的小螺釘（N14）的擰緊情況（參照下圖）※旋緊扭矩爲50N/cm（注意不要旋得過緊）·確認不要傾斜安裝gridassembly。＜Gridassembly＞N18固定用螺釘(N14)2磁極片的確認·使用規尺等確認FIL側的磁極片（N61）的平行度。·使用規尺等確認Hearth側的磁

5、極片（N106）的平行度。規尺規尺磁極片磁極片（N61）（106）平行度的確認平行度的確認3磁力的調整·安裝磁性調整棒（以下列數量爲基準）ACC6KV時…安裝￠14的磁性調整棒ACC5KV時…安裝￠11的磁性調整棒ACC10KV時…安裝￠7.5的磁性調整棒·磁性調整板維持現狀4冷卻水的確認磁性調整棒磁性調整板·確認冷卻水口左側爲IN，右側爲OUT。（參照下圖）·確認冷卻水的上水道（水溫在30℃以下）、10升/min以上、壓力在0.4Mpa以下。※實際上，根據冷卻水配管徑，冷卻水在10升/min時，無流水現象。通常，即使在6升/min時也沒

6、關係，因燈絲等導致內部加熱時，必須規定冷卻水量爲（10升/min）。（參考：出力爲1KW時，冷卻水量必須爲1升/min）因燈絲等導致內部加熱，而冷卻水量不足時，O型密封圈会燒焦而漏出水，请注意。·真空槍體排气時，務必放出電子槍的冷卻水。·因燈絲等導致內部加熱時，即使槍體内存有大氣时，也放出電子枪的冷卻水。INOUT5擋板位置的確認·確認擋板的高度比hearth的上面高70mm以上。·確認擋板的材質（非磁性體）6維護保養空間的確認·由於鎢絲的交換，確認从電子槍側面的鎢絲交換口有80mm以上的空間。·確認磁性調整棒有交換的空間。7電子槍周邊的

7、確認·確認電子槍周邊無磁石、鐵等磁性體。·確認在反射電子的情況下，沒有容易溶解的物質。8hearth位置的確認·確認hearth位置的正常性。·Hearth回转軸每回轉一次，確認hearth移動一个位置。9放入試用材料到hearth時，確認槍體内的真空。（3）電子槍電源的點檢1停止固定電子槍電源本體。2拆卸電子槍電源的控制板。3加強固定電子枪電源内各組件。·在EB電源左側P部件内，加強扭緊部品（繼電器、電容、二極管等）。·在EB電源左側P部件内，確認安裝部品（二極管、電阻、變壓器等）的支架。·在EB電源内，加強扭緊電力回路部品（繼電器、調

8、節阀、SCR部件等）。·在EB電源下部，加強扭緊高壓回路部品（變壓器、調節阀、電容等）。·在EB電源下部，確認烘焙板上安裝電阻（10W、1/2W）的支架。·在EB電源下部，加強扭緊天板上固定着