PTH工艺指导书

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1、PTH工艺指导书编制：刘长英审核：刘长英批准：刘长英PTH工艺第一节双面板PTH工艺一、目的:本指导书第一节规定PTH工位双面板的工作内容及步骤。二、范围:本指导书第一节内容适用于PTH工位双面板的操作过程。设备：奥图全自动PTH生产线，包括前处理、化学沉铜两部分。生产能力：---挂篮最大生产板尺寸607mm×546mm---每小时最多能生产5.7只挂篮×3.98m2=22.69m2程序:01上料→21去油→20热水洗→19水洗→18微蚀→17水洗→16水洗→15预浸→14活化→13水洗→12水洗→11促化→10水洗→09热水洗→（05～08）沉

2、铜→04水洗→03水洗→02水洗→01下料材料:4.1钻孔及去毛刺后的双面板和后板4.2工艺材料4.2.1去离子水（电导率<10цs/cmPH:5.5～8）4.2.2硫酸（化学纯）H2SO4（C.P）4.2.3去油剂METEXPTHCLEANER9267（19267）4.2.4去油活化剂METEXXD－6190－T（79203）4.2.5微蚀溶液METEXG－5BMICROETCH4.2.6微蚀稳定液METEXG－5SROBUSTNESS4.2.7预浸溶液METEXPREDIPL（79236）4.2.8预浸粉末添加剂METEXPREDIPP（79

3、235）04.2.9活化剂METEXACT1VATORA（79237）4.2.10促化剂METEXACCELERATORA（79240）4.2.11促化添加剂METEXACCELERATORB（79241）4.2.12化学沉铜:①M－COPPER85A②M－COPPER85B③M－COPPER85C④M－COPPER85D⑤M－COPPER85G⑥甲醛HCHO（C.P）37％五、工艺5.1溶液配制与控制（按工艺顺序排列）:---槽21去油配制容积：251L注入50％槽体积去离子水加入15KgMETEXCLEANER9267（19267）搅拌加入5

4、LMETEXXD－6190－T（79203）并搅拌用去离子水注满至所需液位，充分搅拌、加热工作温度：55～65℃时间：4.5～6分钟分析:每周二、五进行分析9267浓度45～65g/LXD－6190－T3～5％每生产50m2板子加料一次，450g。XD－6190－T150ml铜含量大于300ppm换缸。---热水洗容积251L工作温度35－45℃时间2－3分钟每天更换一次---微蚀配制容积：251L注入50％槽体积的去离子水加入G－5B7.5L缓缓加入20L硫酸H2SO4并搅拌待溶液温度至工作温度时，加入G－5S7.5L用去离子水注满至液位，充分

5、搅拌、加热。工作温度：30～45℃时间：1.5～2.5分钟分析：每天分析一次G－5B浓度2～4％H2SO4浓度7～9％（每添加硫酸应相应添加G－5S，添加量为硫酸量的1/3，铜含量<60g/L，每生产50m2板添加一次）G－5B500mlG－5S500mlH2SO41500ml---15预浸配制容积：251L注入50％槽体积的去离子水加入50KgM－PREDIPP（79235）并充分搅拌用去离子水注满至液位、搅拌工作温度：室温时间：1～2分钟分析：每周二、五进行分析Cl-当量浓量2－4N每生产50m2板加料一次加M－PREDIPP1500g当铜含

6、量超过300PPm时更换溶液---14活化配制容积251L注入槽体积50％的去离子水加入50KgM－PREDIPP（79235）搅拌用去离子水注满至液位并搅拌加入2.5LM－ACTIVATORA充分搅拌注：每添加完一种溶液后搅拌几分钟溶液配制完后禁止水进入溶液中，如液面降低可用预浸（15）槽中溶液添加工作温度：25～35℃时间：5.5～6.5分钟分析：每周二、五进行分析Cl-当量浓度2～4NM-ACTIVATORA0.8～1.2%SnCl2浓度>3.8g/L每生产50m2板加料一次加M－ACTIVATORA150ml当铜含量超过1000PPm更换

7、溶液---11促化配制溶液251L注入50％槽体积的去离子水加入2.5KgM－ACCELERATORA搅拌加入2.5KgM－ACCELERATORB搅拌注入去离子水至液面并充分搅拌工作温度：45～55℃时间：2～3分钟分析：每周二、五进行分析M－ACCELERATORB浓度0.8～1.2%每生产50m2板加料一次M－ACCELERATORA60gM－ACCELERATORB60ml铜含量大于300ppm换缸。---09热水洗容积251L工作温度：25～35℃时间1～2分钟每天更换一次---槽05－06或07－08化学沉铜配制容积450L注入50％

8、槽体积的去离子水加入45LM－85B搅拌加入18LM－85A搅拌加入13.5LM-85-D搅拌加入0.9LM-85G搅拌加入2.25L甲